专利名称：基板缓冲单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种使被沿基板输送路径输送的、例如用于平板显示器(FPD)的玻璃基板暂时自基板输送路径退避的基板缓冲单元，特别是涉及一种能够高效率地对缓冲装置内空间进行空气清洗的基板缓冲单元。
背景技术：
在FPD的制造过程中，为了在FPD用的玻璃基板上形成电路图案而采用光刻技术。
利用光刻法形成电路图案以这样的步骤进行在玻璃基板上涂敷抗蚀液而形成抗蚀剂膜，
与电路图案相对应地将抗蚀剂膜曝光，对其进行显影处理。电路图案的形成采用沿着输送
线路(基板输送路径)设置有进行抗蚀液涂敷、显影处理等处理的各处理单元的生产线。在
沿输送线路输送玻璃基板的过程中在各处理单元对玻璃基板实施规定的处理。 但是，在上述生产线中，为了调整在各处理单元之间接收及递交基板的时机，通常
设置有使玻璃基板自输送线路暂时退避并保管玻璃基板的缓冲装置。 作为这样的缓冲装置，本案申请人在专利文献1中公开了通过使能够载置多层玻璃基板的架部升降来搬入或搬出基板的升降机式的缓冲装置(以下称作升降机缓冲装置)。 根据图9简单说明专利文献1中公开的升降机缓冲装置的基板退避动作。图9(a) 图9(c)所示的升降机缓冲装置200设置在输送线路上，包括具有呈多层设置的基板的载置部202a 202f的架部205和能够升降移动地支承该架部205的升降机构206。
在需要使基板退避到升降机缓冲装置200时，停止驱动X方向下游侧的辅助传送机构210。并且，在如图9(a)所示的、从X方向上游侧输送来的第一个基板G1通过壳体201的搬入口 201a且整个基板被载置于载置部202a上时，传送机构250a停止。由此，形成将基板Gl载置在载置部202a上的状态。 接着，在从X方向上游侧输送来下一个基板G2时，解除传送机构250a与其驱动源的连接。 然后，利用升降机构206使架部205上升，以使载置部202b 202f中的任一个、例如图9(b)所示的载置部202b与输送线路的高度平齐，将载置部202b的传送机构250b连接于其驱动部而驱动传送机构250b。在此，成为基板Gl连同载置部202a —起自输送线路退避的状态。然后，在整个基板G2载置于载置部202b上时，停止驱动传送机构250b。
通过重复该工序，直到解除基板输送的待机状态为止，沿输送线路输送来的后续的基板G3、G4、...分别被载置在载置部202c、202d、...上且被保管(参照图9 (c))。
但是，上述升降机缓冲装置200与其他单元一起被设置在净化室内。在净化室的顶棚部设有被称作FFU(风机过滤器单元)的清洁空气供给装置，由此，形成有空气向下方流动的垂直层流(下降流)。 以往，利用该下降流确保室内的清洁度以及收容基板的架部205内的清洁度。
使用图10的缓冲装置的剖视图具体说明用于将以往的升降机装置内清洁化的构造。另外，在图10中，与在图9中具有同等功能的构件使用相同的附图标记进行说明。
在图10中，在作为外装面板的壳体201内设有能够以多层收容多个基板的架部205和从下方能够升降移动地支承该架部205的升降机构206。另外，对于架部205来说，在图中朝向纸面来看，从跟前侧(纸外)向纸里侧搬入基板。 在壳体201的顶板201a上形成有用于供自上方向下方流动的清洁空气进入到壳体201内的狭缝(未图示)，在壳体201的下部侧面形成有用于排气的狭缝(未图示)。因此，在壳体201内，如箭头所示地从上方吹到架部205的上表面的清洁空气蔓延到架部205的周围、并向下方流动而被排出。 在此，蔓延到架部205周围的上述清洁空气从作为基板收容部的架部205的一个侧面(空气导入面205a)导入到该架部205内，并被通过与上述侧面相对侧表面排出，将架部205内清洁化。 专利文献1 :日本特开2007-250671号公报 但是，为了高效率地利用自净化室的顶棚降下来的下降流，FFU需要位于升降机缓冲装置200的正上方，在设置生产线时，这有可能受到净化室内的设备配置的制约。
另外，即使在缓冲装置200的正上方设置FFU，在下降流的风量到达升降机缓冲装置时也已大幅度减弱，在壳体201内无法获得向架部205内尽量充分地供给清洁空气的风 因此，以往通过设置如图10所示的、用于将大量的清洁空气吸入到架部205内、并将其排出到缓冲装置200外的排气装置220来应对上述问题。 但是，在设有排气装置220时，需要设置用于自排气装置220向净化室外排气的配管设备，存在设备成本升高这样的课题。 另外，架部205利用升降机构206在壳体201内进行升降移动，随之架部205下方的空间容积发生变化。因此，架部205每次升降移动时，升降机构206周围的空间都被压縮或膨胀，有可能由升降机构206巻起灰尘，会有灰尘进入到架部205内。
对于该课题，以往，如图所示地用外壳212包围升降机构206，利用排气装置220吸引外壳212内的空气而进行排气处理。 但是，在这种情况下，也需要在净化室设置配管设备，存在成本升高这样的课题。
并且，在以往的架部205的构造中，自空气导入面205a导入的清洁空气通过作为基板输送驱动部的输送驱动机构213，被从排气装置220排出。 但是，在排气装置220的排气动作停止后，架部205内成为负压状态而使空气逆流，存在自输送驱动机构213产生的灰尘流入到载置部这样的课题。
发明内容
本发明即是在上述情况下做成的，其目的在于提供一种使在基板输送路径中向一个方向输送的基板暂时退避的基板缓冲单元，该基板缓冲单元能够高效率地用空气来清洗缓冲空间，而且能降低成本。 为了解决上述课题，本发明的基板缓冲单元用于暂时收容在基板输送路径中输送的基板，使该基板自上述基板输送路径退避，其特征在于，该基板缓冲单元包括箱状的架部，其设置在上述基板输送路径上，具有用于载置基板的载置部，并且能够将该基板移动到脱离上述基板输送路径的规定位置；清洁空气供给部件，其设置在上述箱状的架部的上表 面或者侧面，用于供给被净化后的清洁空气；通风路径，其用于将上述清洁空气供给部件和 上述架部的一侧面连接起来；自上述清洁空气供给部件供给来的清洁空气被从设置于上 述箱状的架部的一侧面上的空气导入口供给到上述载置部，并被从设置在上述箱状的架部 的、与上述空气导入口相对侧的侧面上的空气导出口排出。 通过这样地构成，即使不在架部的下游侧设置排气装置，也能够在各层的载置部 形成足够流量的清洁空气的流动，确保架部内的清洁度。 因而，也可以不像以往那样考虑FFU在净化室中的配置方式，能够不受净化室侧 的制约地设置生产线。 另外，由于不必设置排气装置，因此，能够抑制设备成本的增加，而且，能够使位于 清洁空气供给部件的下游的架部内为正压状态，因此，能够消除因设置排气装置而产生的 问题(运转停止时的逆流等)。 还优选为，上述箱状的架部具有在内部以多层设有多个上述载置部的箱状的外
壳，在上述外壳的一侧面上，与以多层设置的各载置部相对应地设有多个上述空气导入口 ，
在上述通风路径中设有用于将清洁空气分配到上述多个空气导入口的分配整流构件。 通过设置该分配整流构件，能够使向各层空气导入口导入的分流量均匀化。 还优选为，该基板缓冲单元包括扩张整流构件，该扩张整流构件设置于上述空气
导入口，用于将从该空气导入口供给到上述载置部上的清洁空气扩展为扇形。 通过设置该扩张整流构件，能够做成将被导入到各载置部的清洁空气扩展为扇
形、不会在载置部滞留气流的状态。 另外，利用扩展为扇形的气流，不仅能够抑制空气从基板搬入搬出口流入，也能够 从基板搬入搬出口排气。 还优选为，在上述箱状的架部的、与上述空气导入口相对侧的侧面上形成有多个
上述空气导出口 ，并且，多个上述空气导出口的截面为中空构造，上述箱状的架部包括基
板输送部件，其用于相对于上述载置部搬入搬出基板；输送驱动部件，其设置在被供给到上
述载置部上的清洁空气的下游侧，用于驱动上述基板输送部件；驱动系统排气部件，其与上
述中空构造的空气导出口分离开，仅排出被供给到上述输送驱动部件的清洁空气。 通过将空气导出口做成这样的中空构造，管内相对于排气的下游侧成为正压状
态，能够防止被排出的空气逆流以及空气从架部外流入。 另外，通过将排气路径分离而进行整流，能够防止自输送驱动部件产生的灰尘流 入到载置部。 还优选为，在上述多个空气导出口分别设有用于限制在该空气导出口中流动的空 气流量的流量节流部件。 通过在各空气导出口处调整上述流量节流部件，能够使自所有空气导出口排出的 空气的排气量均匀化。 还优选为，该基板缓冲单元包括至少覆盖上述架部的外壳的壳体，在上述壳体与 上述架部的外壳之间的间隙空间中，在上述壳体的内壁或者外壳的外壁上设有分隔构件， 该分隔构件用于分别独立地形成上述架部的、形成有上述空气导入口和上述空气导出口的 一侧面和与该一侧面相对的上述壳体的内侧面之间的间隙空间。
通过设置该分隔构件，来自空气导出口的排气不会蔓延到外壳的另一侧面，能够 防止排气从基板搬入搬出口流入到载置部。 采用本发明，能够获得使在基板输送路径中向一个方向输送的基板暂时退避的基 板缓冲单元，并且该基板缓冲单元能够高效率地对缓冲空间进行空气清洗，而且能降低成 本。
图i是本发明的基板缓冲单元的侧剖视图。 图2是图1中的A-A向视剖视图(单元壳体内的俯视图)。 图3是图2中的B-B向视剖视图。 图4是图2中的C-C向视剖视图。 图5是图1中的D-D向视剖视图。 图6是分配整流构件的剖视图。 图7是扩张整流构件的立体图。 图8是流量限制构件的剖视图。 图9是用于说明升降机缓冲装置的基板退避动作的图。 图10是用于说明用于将以往的升降机缓冲装置内清洁化的构造的剖视图。
具体实施例方式
下面，根据附图详细说明本发明的基板缓冲单元的实施方式。本发明的基板缓冲 单元例如设置在利用光刻工序形成电路图案的生产线上，暂时收容作为被处理基板的FPD 用的玻璃基板而使该玻璃基板退出生产线。 另外，本发明的基板缓冲单元能够适合用于以图9为例说明的升降机式的缓冲装 置。在以下的实施方式中，说明应用于升降机缓冲装置的例子。 图1是本发明的基板缓冲单元的侧剖视图，图2是图1中的A-A向视剖视图(单 元壳体内的俯视图)，图3是图2中的B-B向视剖视图，图4是图2中的C-C向视剖视图，图 5是图1中的D-D向视剖视图。 图示的基板缓冲单元100包括在单元壳体1内能够以多层(图中为6层)载置 作为被处理基板的玻璃基板G的、箱状的架部2 ;从下方支承该架部2并使该架部2升降移 动的升降机构3。 玻璃基板G被从例如图3、图4所示的单元壳体1的搬入口 la搬入到该基板缓冲 单元100内，并被收容于架部2上，然后适当地从相对侧的搬出口 lb被搬出。
上述壳体1的搬入口 la及搬出口 lb设置为与设置在缓冲单元100的上游及下游 的所谓平流方式的基板输送线路(基板输送路径)的高度位置平齐。 如图l所示，架部2具有箱状的外壳20，在该外壳20内设有例如6层基板G的载 置部6(6a 6f)。如图3、图4所示，在外壳20内，在上述壳体1的与搬入搬出口 la、lb相 对的侧面，与各层的载置部6相对应地设有多个基板搬入口 2a和搬出口 2b。
由于架部2(外壳20)能够利用升降机构3在壳体1内升降移动，因此，在相对于 规定层的载置部6搬入搬出玻璃基板G时，架部2利用升降机构3升降移动，使得该规定层的载置部6位于上述搬入口 la及搬出口 lb的高度。 另外，在将基板G载置于规定的载置部6上之后，利用升降机构3使架部2升降移 动至脱离基板输送线路的规定位置，从而能够使该基板G自基板输送线路退避。
另外，如图1、图5所示，在各载置部6上并列设有用于输送基板的多个辊状输送轴 13(基板输送部件)，在各轴13的一端部设有用于旋转驱动各轴13的由电动机等构成的轴 旋转驱动机构14 (输送驱动部件)。 在该缓冲单元100中，如图2所示，在架部2的外壳20上表面设有多个(图中为 4台)FFU (风机过滤器单元)4a 4d (总称为FFU4)。这些FFU4是这样的单元分别具有 向规定方向旋转驱动的风扇，利用风扇的旋转从上方吸入空气，借助过滤器生成被净化过 的空气(清洁空气)并将该净化后的空气吹向下方。即，FFU4起到清洁空气供给部件的作 用。 在各FFU4的下方设有作为被吹向下方的清洁空气的流路的通风路径5(5a、5b、 5c、5d)，该通风路径5在架部2中连通于与设有上述基板搬入搬出口 la、lb的侧面正交的 一侧面上。 更具体地说明，自图3所示的、形成在上述通风路径5所连通的上述架部2的一侧 面上的多个空气导入口 7(空气导入口 )向架部2导入清洁空气。这些空气导入口7例如 设有在纵向上与载置部的层数相同的6层、在横向上为6个、共计36个。S卩，对于1层载置 部6，在其侧方设有6个空气导入口 7。 在该实施方式的情况下，全部36个空气导入口 7与设置在架部2上部的FFU4的 数量相应地被分为4个组。S卩，如图3所示，与上3层的载置部6a、6b、6c相对应的空气导 入口 7被分为组7A、7B这左右2个组，与下3层的载置部6d、6e、6f相对应的空气导入口 7 被分为组7C、7D这左右2个组。 其中，由FFU4a供给的清洁空气从组7A的9个空气导入口 7供给，由FFU4b供给 的清洁空气从组7B的9个空气导入口 7供给。另外，由FFU4c供给的清洁空气从组7C的 9个空气导入口 7供给，由FFU4d供给的清洁空气从组7D的9个空气导入口 7供给。
在此，从各FFU4分别向纵向3层的空气导入口 7供给清洁空气，为了使其分流量 更加均匀，在通风路径5中的导入口跟前设有如图6所示的、与3层导入口 7相应地分配气 流的分配整流构件IO。 另外，如图6所示，该分配整流构件10的分配壁10a、10b设置为其位置能沿图中 箭头所示的方向自由移动，利用其位置调整来调整被导入到3层空气导入口 7中的清洁空 气的流量，以使该流量更加均匀化。 并且，从FFU4供给来的清洁空气的气流期望为在被从空气导入口7导入到载置部 后，如图5中箭头所示地以扇形展开、使清洁空气到达载置部6的各个角落的状态。
因此，对于各载置部6，在左右两端侧的空气导入口 7中设有例如图7的立体图所 示的、用于向左右方向扩展气流流向的扩张整流构件12。通过设置该扩张整流构件12，被 导入到各载置部6上的清洁空气成为如图5所示地以扇形展开、在载置部6不会滞留气流 的状态。 利用以扇形扩展的空气流动，不仅能够抑制空气从基板搬入搬出口 2a、2b流入， 也能够自基板搬入搬出口 2a、2b进行排气。
另一方面，在外壳20上，在与形成有上述多个空气导入口 7的侧面相对侧的侧面 上、与每层载置部6相对应地设置用于排出被供给到各载置部6的空气的空气导出口 8。 即，如图4所示，设有在纵向上与载置部6的层数相同的6层、在横向上为6个的空气导出 口 8 (对于各载置部6设置6个空气导出口 8)。 其中，在图4中左右两端列的空气导出口 8a是在架部2的侧壁上开设扁平状的孔 而形成的。 另外，设于上述左右两端列的空气导出口 8a之间的4列空气导出口 8b如图1、图 2所示地在排气方向上延伸规定的长度，其截面为中空构造(例如扁平状的管构造)。
如图5所示，这样的中空构造的空气导出口 8b设置在分别旋转驱动各载置部6中 的多个轴13的轴旋转驱动机构14的附近。 更详细地说明，多个轴旋转驱动机构14被盖构件15(驱动系统排气部件)覆盖， 如图5所示，上述中空构造的空气导出口 8b以穿过该盖构件15内的方式穿插设置。如图 1 、图4所示，在盖构件15的下部设有向下方延伸的排气管16 (驱动系统排气部件)，排气管 16的前端在升降机构3附近开放。 S卩，通过了载置部6的清洁空气主要在中空构造的空气导出口 8b中流动，不通过 轴旋转驱动机构14就被排出。另外，流经轴旋转驱动机构14的清洁空气被从排气管16排 出。通过这样地分开排气路径而进行整流，能够防止自轴旋转驱动机构14产生的灰尘流入 到载置部6。 另外，如上所述，空气导出口 8b为扁平状，做成规定长度的中空构造，并且，如图8 的剖视图所示，在各导出口 8b的前端部分设有作为用于限制空气流量的节流部件的板状 的流量节流构件ll。 由此，上述中空构造内相对于排气的下游侧成为正压状态，能防止被排出的空气 逆流以及空气从架部2外流入其中。 另外，通过在各导出口 8b处调整流量节流构件11的倾斜角度，能够使自所有空气 导出口 8排出的空气的排气量更加均匀。 另外，在将这样的缓冲单元100设置在净化室内、利用下降流从其顶棚供给清洁 空气的情况下，如图1所示，由于在壳体1的上表面形成有用于导入空气的狭缝lc，因此，从 壳体1的上方向壳体1内供给清洁空气。另外，由于在壳体1的下部形成有排气狭缝ld，因 此，供给来的清洁空气蔓延到架部2的周围，被从壳体1下部的排气狭缝ld排出。
在此，如图2所示，在壳体1内的四角附近的内壁面(或者也可以是外壳20的外壁 面)上设有用于对架部2的各侧面与壳体1的内表面相对的各空间进行分隔的隔板12(分 隔构件)。 通过设置该分隔构件12，来自空气导出口8的排气不会流动到外壳20的另一侧面 侧，能够防止排气从基板搬入搬出口 2a、2b流入到载置部6。 另外，从空气导入口 7被导入到架部2内的清洁空气也被从设置于外壳20上的基 板搬入搬出口 2a、2b排出。该排气流在壳体1与外壳20之间的间隙空间中流动，被从壳体 1下部的排气狭缝ld排出。因此，与仅是从净化室供给的清洁空气相比，能够更高效率地对 壳体1内进行空气清洗。 另外，在相对于各载置部6搬入搬出基板G时，如果利用升降机构3使架部2在壳体l内升降移动，则升降机构3的周围空间发生压縮膨胀，因此，会产生巻起空气。但是，由
于即使产生该巻起空气，也会有足够流量的清洁空气在FFU4的作用下也在各载置部6处流
动，被从壳体1下部的排气狭缝ld排出，因此，灰尘不会流入到架部2内。 另夕卜，即使FFU4停止运转，位于FFU4的下游的架部2内也是正压状态，因此，能防
止灰尘流入。 如上所述，采用本发明的实施方式，在缓冲单元100中，利用FFU4的动作生成清洁 空气，清洁空气通过通风路径5而从空气导入口 7被供给到架部2的各载置部6，供给来的 清洁空气主要从设置于各层的空气导出口 8被排出。 利用该构造，即使不在下游侧设置排气装置，也能在各层的载置部6中形成足够 流量的清洁空气的流动，能够确保架部2内的清洁度。 因而，也可以不像以往那样考虑FFU在净化室中的配置的方式，能够不受净化室 的制约地设置制造生产线。 另外，由于不必设置排气装置，因此，能够抑制设备成本的增加，而且，能够消除因 设置排气装置而产生的问题(运转停止时的逆流等)。 另外，在上述实施方式中，表示了作为清洁空气供给部件的FFU4设置在架部2的 (外壳20的)上表面的例子，但本发明的基板缓冲单元并不限定于该方式。例如，作为清洁 空气供给部件的上述FFU4也可以设置在架部2的(外壳20的)侧面。
另外，表示了将本发明应用于多层式的升降机缓冲装置的例子，但本发明并不限 定于该方式。例如，也可以不是多层式而是一层的基板缓冲装置，另外，也可以应用于不采 用架部2的升降机构3、而利用机器人手臂等搬入搬出多个基板的缓冲装置。
权利要求
一种基板缓冲单元，其用于暂时收容在基板输送路径中输送的基板，使该基板自上述基板输送路径退避，其特征在于，该基板缓冲单元包括箱状的架部，其设置在上述基板输送路径中，具有用于载置基板的载置部，并且能够将上述基板移动到脱离上述基板输送路径的规定位置；清洁空气供给部件，其设置在上述箱状架部的上表面或者侧面，用于供给被净化后的清洁空气；通风路径，其用于将上述清洁空气供给部件和上述架部的一侧面连接起来；自上述清洁空气供给部件供给来的清洁空气被从设置于上述箱状的架部的一侧面上的空气导入口供给到上述载置部，并被从设置在上述箱状的架部的、与上述空气导入口相对侧的侧面上的空气导出口排出。
2. 根据权利要求1所述的基板缓冲单元，其特征在于， 上述箱状的架部具有在内部以多层设置多个上述载置部的箱状的外壳； 在上述外壳的一侧面，与以多层设置的各载置部相对应地设有多个上述空气导入口 ； 在上述通风路径中设有用于将清洁空气分配到上述多个空气导入口的分配整流构件。
3. 根据权利要求1或2所述的基板缓冲单元，其特征在于，该基板缓冲单元包括扩张整流构件，该扩张整流构件设置于上述空气导入口 ，用于将 从该空气导入口供给到上述载置部上的清洁空气扩展为扇形。
4. 根据权利要求1或2所述的基板缓冲单元，其特征在于，在上述箱状的架部的、与上述空气导入口相对侧的侧面上形成有多个上述空气导出 口 ，并且多个上述空气导出口的截面为中空构造； 上述箱状的架部包括基板输送部件，其用于相对于上述载置部搬入搬出基板；输送驱动部件，其设置在被供给到上述载置部上的清洁空气的下游侧，用于驱动上述 基板输送部件；驱动系统排气部件，其与上述中空构造的空气导出口分离开，仅排出被供给到上述输 送驱动部件的清洁空气。
5. 根据权利要求4所述的基板缓冲单元，其特征在于，在上述多个空气导出口分别设有用于限制在该空气导出口中流动的空气流量的流量 节流部件。
6. 根据权利要求1或2所述的基板缓冲单元，其特征在于，该基板缓冲单元包括至少覆盖上述架部的外壳的壳体，在上述壳体与上述架部的外壳 之间的间隙空间中，在上述壳体的内壁上设有分隔构件，该分隔构件用于分别独立地形成 上述架部的、形成有上述空气导入口和上述空气导出口的一侧面和与该一侧面相对的上述 壳体的内侧面之间的间隙空间。
7. 根据权利要求1或2所述的基板缓冲单元，其特征在于，该基板缓冲单元包括至少覆盖上述架部的外壳的壳体，在上述壳体与上述架部的外壳 之间的间隙空间中，在上述外壳的外壁上设有分隔构件，该分隔构件用于分别独立地形成 上述架部的、形成有上述空气导入口和上述空气导出口的一侧面和与该一侧面相对的上述壳体的内侧面之间的间隙空间'
全文摘要
本发明提供使在基板输送路径中向一个方向输送的基板暂时退避的基板缓冲单元，其能够高效率地进行缓冲空间的空气清洗，且能降低成本。该基板缓冲单元包括箱状的架部(2)，设置在基板输送路径上，具有载置基板的载置部(6)，且能够将基板移动到脱离上述基板输送路径的规定位置；清洁空气供给部件(4)，设置在上述箱状的架部的上表面或者侧面，用于供给净化后的清洁空气；通风路径(5)，将上述清洁空气供给部件和上述架部的一侧面连接起来；自上述清洁空气供给部件供给来的清洁空气被从形成于上述箱状的架部的一侧面的空气导入口(7)供给到上述载置部，并被从设置在上述箱状的架部的与上述空气导入口相对侧的侧面的空气导出口(8)排出。
文档编号H01L21/677GK101794720SQ20101000342
公开日2010年8月4日 申请日期2010年1月15日 优先权日2009年2月3日
发明者井本直树, 宫崎一仁 申请人:东京毅力科创株式会社