专利名称：基板承载夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池制造领域，更具体地涉及一种太阳能电池制造过程中 的基板承载夹具。
背景技术：
随着人们对能源的需求量日益增大，太阳能电池作为新兴的环保资源，其应用越 来越广泛。相应地，太阳能电池制造产业也因其广阔的应用前景而不断发展壮大。在太阳能电池的制造过程中，经清洗后的基板在加热、沉积镀膜以及冷却过程中 都必须采用专门的基板承载夹具夹持，以防止被其他物质刮花。其中，在所述基板被加热后 送进等离子增强化学气相沉积炉中进行沉积镀膜过程中，基板将随着镀膜转盘高速旋转， 因此，为了固定所述基板，保证沉积镀膜的质量，一般需采用与所述基板尺寸严密配合的夹 具。目前，在太阳能电池制造过程中所用到的基板承载夹具一般包括上下重叠的两块基板 以及固定装置，两块所述基板之间形成缝隙以夹持所述基板。由于所述基板固定于所述基 板承载夹具的两块基板之间，因此所述基板与所述基板承载夹具之间的接触面积较大，这 样会造成较大的污染，影响了太阳能电池后续制造工艺，因而影响了太阳能电池的质量。另 外，采用上述基板承载夹具夹持所述基板时，需要先将所述基板放入所述基板承载夹具之 间，再通过所述基板承载夹具的固定装置将所述基板固定，操作比较复杂，工作效率较低。因此，有必要提供一种改进的基板承载夹具来克服上述缺陷。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种基板承载夹具，以减少太阳能电池制造过程中对基 板的污染，所述基板承载夹具操作简单，工作效率较高。为实现上述目的，本实用新型提供了一种基板承载夹具，用于太阳能电池制造过 程中夹持和容置基板。其中，所述基板承载夹具包括一框体，所述框体的一内壁上向外凸伸 有至少两个第一凸块，所述框体的垂直于所述内壁的另一内壁上向外凸伸有至少两个第二 凸块，所述至少两个第一凸块与第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，所述至少两个第 一凸块之间和第二凸块之间形成间隙，所述基板的两侧壁分别插入所述间隙。在本实用新型的一优选实施例中，所述第一凸块所在的内壁上还凸伸有至少一个 第一突起，所述第一突起与所述第一凸块在同一直线上，所述至少一个第一突起的排布方 向垂直于所述基板的厚度方向。在本实用新型的另一优选实施例中，所述第二凸块所在的另一内壁上还凸伸有至 少一个第二突起，所述第二突起与所述第二凸块在同一直线上，所述至少一个第二突起的 排布方向垂直于所述基板的厚度方向。具体地，所述第一凸块、第二凸块、第一突起和第二突起的顶端均呈曲线状。较佳地，所述至少两个第一凸块和第二凸块的顶端形成山脊状。较佳地，所述第一凸块、第二凸块、第一突起和第二突起均由具有伸缩性质的材料制成。较佳地，所述第一凸块、第二凸块、第一突起和第二突起均由硅橡胶制成。这样的 设计可以使得所述基板承载夹具满足不同形状和尺寸的基板的夹持要求，节省了传统的基 板承载夹具更换时所耗费的工时，提高了工作效率，且操作简单，成本低廉。与现有技术相比，由于本实用新型的基板承载夹具的框体相互垂直的两内壁上的 至少两个第一凸块和第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，且所述基板的两侧壁分别插 入所述至少两个第一凸块和第二凸块之间形成的间隙，减少了传统的基板承载夹具大面积 夹持所述基板而造成的污染。另外，所述基板承载夹具结构简单，操作方便，提高了工作效 率，成本也比较低廉。通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本 实用新型的实施例。
图1为本实用新型基板承载夹具的第一实施例的结构示意图。图2为图1所示基板承载夹具夹持基板的示意图。图3为本实用新型基板承载夹具的第二实施例的结构示意图。图4为图3所示基板承载夹具夹持基板的示意图。图5为本实用新型基板承载夹具第三实施例的结构示意图。图6为图5所示基板承载夹具夹持基板的示意图。
具体实施方式
现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如上所述，本实用新型提供了一种基板承载夹具，由于所述基板承载夹具的框体相互 垂直的两内壁上的至少两个第一凸块和第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，且所述基 板的两侧壁分别插入所述至少两个第一凸块和第二凸块之间形成的间隙，减少了传统的基 板承载夹具大面积夹持所述基板而造成的污染。另外，所述基板承载夹具结构简单，操作方 便，提高了工作效率，成本也比较低廉。请参考图1和图2，描述了本实用新型基板承载夹具的第一实施例。如图所示，所 述基板承载夹具100包括一框体10，所述框体10的一内壁101上向外凸伸有两个第一凸块 20，所述框体10的垂直于所述内壁101的另一内壁102上向外凸伸有两个第二凸块22，所 述两个第一凸块20与第二凸块22均沿所述基板30的厚度方向H排布，所述两个第一凸块 20之间和第二凸块22之间形成间隙21，所述基板30的两侧壁分别插入所述间隙21。具体地，所述第一凸块20和第二凸块22的顶端呈曲线状，且所述第一凸块20和 第二凸块22的顶端形成山脊状。具体地，所述第一凸块20和第二凸块22均由具有伸缩性质的材料制成。较佳地，所述第一凸块20和第二凸块22均由硅橡胶制成，以满足不同形状和尺寸 的基板的要求，节省了传统的基板承载夹具更换时所耗费的工时，提高了工作效率，且操作 简单，成本低廉。在太阳能电池制造过程中，当所述基板30经清洗后需进行加热、镀膜以及冷却时，机械手将会把所述基板送入所述基板承载夹具100。如图2所示，所述基板30的两侧壁 分别插入所述两个第一凸块20之间和第二凸块22之间所形成的间隙21中，以被所述基板 承载夹具100夹持和容置。在本实施例中，所述基板承载夹具100只容置了一个基板30。 由于所述基板30仅与所述基板承载夹具100内壁上的第一凸块20和第二凸块22的间隙 21接触，减少了接触面积，因而减少了污染，且所述基板承载夹具100结构简单，操作方便， 成本低廉。请参考图3和图4，描述了本实用新型基板承载夹具的第二实施例。如图所示，在 本实施例中，所述基板承载夹具100的框体10的一内壁101上向外凸伸有九个第一凸块 20 (图示角度仅有八个第一凸块20)，另一内壁102上向外凸伸有九个第二凸块22，所述九 个第一凸块20和第二凸块22均沿所述基板30的厚度方向H排布，所述九个第一凸块20 之间和所述九个第二凸块22之间形成七个间隙22，所述基板30的两侧壁分别插入所述七 个间隙22中。如图4所示，本实施例中的基板承载夹具100可容置七个基板30，提高了工 作效率。可理解地，本实施例中的其它部件之间的连接关系以及工作原理与第一实施例相 同或类似，在此不做赘述。请参考图5，描述了本实用新型基板承载夹具的第三实施例。如图所示，在本实施 例中，所述基板承载夹具100的框体10的内壁101上向外凸伸有九个第一凸块20和九个 第一突起24(图示角度仅有六个第一凸块20和第一突起24)，另一内壁102上向外凸伸有 九个第二凸块22和第二突起26 (图示角度仅有七个第二突起26)，所述九个第一凸块20和 第二凸块20均沿所述基板30的厚度方向H排布，每个所述第一突起24均与每个所述第一 凸块20在同一直线上，每个所述第二突起26均与每个所述第二凸块22在同一直线上，所 述九个第一凸块20和第二凸块22均沿所述基板30的厚度方向H排布，所述九个第一突起 24和第二突起26均沿垂直于所述基板的厚度方向排布。所述九个第一凸块20之间和所述 九个第二凸块22之间形成七个间隙22，所述九个第一突起24和所述九个第二突起之间也 形成多个间隙，所述基板30的两侧壁分别插入多个间隙中。如图所示，本实施例中的基板 承载夹具100可容置七个基板30，提高了工作效率。另外，所述基板30的两侧壁分别插入 所述第一凸块20之间、第二凸块22之间、第一突起24之间以及第二突起26之间所形成的 间隙中，因而使得所述基板30与所述基板承载夹具100之间有多个接触点，增强了夹持的 稳定性。可理解地，本实施例中的其它部件之间的联系关系以及工作原理与第一实施例相 同或类似，在此不做赘述。以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种基板承载夹具，用于太阳能电池制造过程中夹持和容置基板，其特征在于所述基板承载夹具包括一框体，所述框体的一内壁上向外凸伸有至少两个第一凸块，所述框体的垂直于所述内壁的另一内壁上向外凸伸有至少两个第二凸块，所述至少两个第一凸块与第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，所述至少两个第一凸块之间和第二凸块之间形成间隙，所述基板的两侧壁分别插入所述间隙。
2.如权利要求1所述的基板承载夹具，其特征在于所述第一凸块所在的内壁上还凸 伸有至少一个第一突起，所述第一突起与所述第一凸块在同一直线上，所述至少一个第一 突起的排布方向垂直于所述基板的厚度方向。
3.如权利要求2所述的基板承载夹具，其特征在于所述第二凸块所在的另一内壁上 还凸伸有至少一个第二突起，所述第二突起与所述第二凸块在同一直线上，所述至少一个 第二突起的排布方向垂直于所述基板的厚度方向。
4.如权利要求1-3中任意一项所述的基板承载夹具，其特征在于所述第一凸块、第二 凸块、第一突起和第二突起的顶端均呈曲线状。
5.如权利要求1所述的基板承载夹具，其特征在于所述至少两个第一凸块和第二凸 块的顶端形成山脊状。
6.如权利要求4所述的基板承载夹具，其特征在于所述第一凸块、第二凸块、第一突 起和第二突起均由具有伸缩性质的材料制成。
7.如权利要求6所述的基板承载夹具，其特征在于所述第一凸块、第二凸块、第一突 起和第二突起均由硅橡胶制成。
专利摘要本实用新型公开了一种基板承载夹具，用于太阳能电池制造过程中夹持和容置基板，其包括一框体，框体的一内壁上向外凸伸有至少两个第一凸块，垂直于所述内壁的另一内壁上向外凸伸有至少两个第二凸块，至少两个第一凸块与第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，至少两个第一凸块之间和第二凸块之间形成间隙，基板的两侧壁分别插入间隙。由于本实用新型的基板承载夹具的框体相互垂直的两内壁上的至少两个第一凸块和第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，且基板的两侧壁分别插入所述至少两个第一凸块和第二凸块之间形成的间隙，减少了传统的基板承载夹具大面积夹持所述基板而造成的污染。
文档编号H01L31/18GK201629344SQ20102010885
公开日2010年11月10日 申请日期2010年1月29日 优先权日2010年1月29日
发明者范振华 申请人:东莞宏威数码机械有限公司