专利名称：硅片传输导向装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及流水线传输中用于对被传输物进行导向的传输导向装置。
背景技术：
目前硅片生产或者LED面板生产过程中，因为被传输物在输送过程中会发生偏 转，所以需要利用导向装置进行校正，流水线上所用的导向装置有两种，一种采用气缸夹片 方式，其缺点是容易将被传输物夹碎，第二种是采用导向条，其缺点是容易在导向条表面摩 擦出凹槽，导致卡片。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片传输导向装置，解决传输过程 中采用气缸夹片而导致破片的问题；或者普通导轨因导向条边缘摩擦出槽而导致卡片的问 题。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种硅片传输导向装置，包括 左侧导向和右侧导向，左侧导向和右侧导向安装在传输线的两侧，左侧导向和右侧导向与 传输线上被传输物的接触的部位设置多个滚动轴承构成的辊轴式导向轨道。辊轴式导向轨道的滚动轴承的轴心与被传输物的传输方向垂直。本实用新型的有 益效果是该导向装置除可用于硅片外还可以用于LCD面板的传输，采用普通的导轨校正， 因传输过程为线摩擦接触，很容易将导轨磨出槽，而使用滚动轴承作为轨道，硅片等的边缘 与轨道的接触为点接触，从而避免了卡片现象。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；
图1是本实用新型的结构示意图；图中，1.左侧导向，2.右侧导向3.被传输物，4.滚动轴承，5.辊轴式导向轨道。
具体实施方式
如图1所示，一种硅片传输导向装置，包括左侧导向1和右侧导向2，左侧导向1和 右侧导向2安装在传输线的两侧，左侧导向1和右侧导向2内侧与传输线上被传输物3的 接触的部位设置多个滚动轴承4构成的辊轴式导向轨道5。辊轴式导向轨道的滚动轴承4 的轴心与被传输物3的传输方向垂直。
权利要求1.一种硅片传输导向装置，包括左侧导向(1)和右侧导向O)，左侧导向(1)和右侧导 向(2)安装在传输线的两侧，其特征是所述的左侧导向(1)和右侧导向O)内侧与传输线 上被传输物(3)的接触的部位设置多个滚动轴承(4)构成的辊轴式导向轨道(5)。
2.根据权利要求1所述的硅片传输导向装置，其特征是所述的辊轴式导向轨道的滚 动轴承的轴心与被传输物的传输方向垂直。
专利摘要本实用新型涉及流水线传输中用于对被传输物进行导向的传输导向装置。该硅片传输导向装置，包括左侧导向和右侧导向，左侧导向和右侧导向安装在传输线的两侧，左侧导向和右侧导向与传输线上被传输物的接触的部位设置多个滚动轴承构成的辊轴式导向轨道。该导向装置除可用于硅片外还可以用于LCD面板的传输，采用普通的导轨校正，因传输过程为线摩擦接触，很容易将导轨磨出槽，而使用滚动轴承作为轨道，硅片等的边缘与轨道的接触为点接触，从而避免了卡片现象。
文档编号H01L21/677GK201927589SQ20102069670
公开日2011年8月10日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者卫志敏 申请人:常州天合光能有限公司