专利名称：有机el元件的制造方法及其制造装置、有机el元件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种构 成为基材上形成具有电极层和有机层的有机EL膜并从上述有机层发射光的有机EL元件的制造方法及其制造装置、有机EL元件。
背景技术：
近年来，有机EL(场致发光)元件作为使用于下一代的低消耗电力的发光显示装置的元件而受到关注。有机EL元件基本上具有有机层以及一对电极，该有机层包括由有机发光材料构成的发光层。上述有机EL元件因有机发光材料而得到各种颜色的发光，并且为自发光元件，因此作为电视机(TV)等显示器用途而受到关注。这种有机EL元件由基材和有机EL膜构成，该有机EL膜以有机层夹在具有极性相互相反的电极的两个电极层夹持之间的方式构成(夹层结构)。夹在电极层之间的有机层被支承在基材上，在基材上依次层叠阳极层、有机层、阴极层，由此形成有机EL元件。在这种有机EL元件的制造方法中，作为在形成于基材的阳极层上成膜(形成)有机层和阴极层的方法，通常可知真空蒸镀法、涂布法，但是，其中，由于尤其能够提高用于形成有机层的材料(有机层形成材料)的纯度，容易得到高寿命，因此主要使用真空蒸镀法。在上述真空蒸镀法中，通过使用蒸镀装置对基材进行蒸镀来形成有机层和阴极层，其中，该蒸镀装置具备真空室以及与有机层和阴极层分别对应地配置在该真空室内的蒸镀源。具体地说，通过配置于各蒸镀源的加热部对有机层形成材料和阴极层形成材料进行加热而使其气化，从各蒸镀源喷出气化后的有机层形成材料和阴极层形成材料(气化材料)，在形成于基材的阳极层上蒸镀形成有机层，进一步在该有机层上蒸镀形成阴极层。在上述真空蒸镀法中，采用所谓分批工艺(K 〃 f / 口七^ )、辊式工艺(口一>7° 口 。分批工艺是指针对每片形成有阳极层的基材将有机层和阴极层蒸镀在阳极层上的工艺。另外，辊式工艺是指以下工艺连续地送出形成有阳极层并被卷绕成辊状的带状的基材，以进行旋转驱动的冷却辊(X > 口一> )的表面支承所送出的基材并使所送出的基材随该旋转一起进行移动，并且在阳极层上连续地形成有机层和阴极层，将以这种方式形成了有机EL膜的基材卷绕成辊状。其中，从实现低成本化的观点出发，期望使用辊式工艺制造有机EL元件。然而，在像这样真空蒸镀法中采用辊式工艺的情况下，在将形成有有机EL膜的基材卷绕成辊状来进行回收时，形成于基板上的有机EL膜与基材的没有形成有机EL膜的一面侧(非蒸镀面侧)产生摩擦。并且，基材的表面通常具有细微的凹凸，因此由于基材与有机EL膜产生摩擦而损伤有机EL膜，导致漏电、发光不良，进而成品率降低。因此，提出了如下的一种技术在卷绕回收形成有有机EL膜的基材时，使保护膜介于先被卷绕的基材上的有机EL膜与接着被卷绕的基材的非蒸镀面之间并且卷绕基材，由此防止损伤有机EL膜(参照专利文献I)。专利文献I :日本特开2006-294536号公报
发明内容
发明要解决的问题但是，仅单纯地使保护膜介于先被卷绕的基材上的有机EL膜与接着被卷绕的基材的非蒸镀面侧之间，保护膜被夹在上述有机EL膜与基材的非蒸镀面侧之间并且卷绕基材，由此保护膜有可能相对有机EL膜产生位置偏移。并且，由于上述位置偏移而保护膜与有机EL膜产生摩擦，因此尽管使保护膜介于上述有机EL膜与基材的非蒸镀面侧之间，但还是有损伤有机EL膜的可能。在此，为了防止由上述位置偏移产生的有机EL膜的损伤，还考虑使用粘接剂在基材中的蒸镀面侧粘接保护膜。但是，在蒸镀面侧粘接保护膜的情况下，有可能粘接剂附着于有机EL膜，使有机EL膜损伤。
并且，即使使保护膜如上所述那样介于有机EL膜与非蒸镀面侧之间，在保护膜与有机EL膜之间也会因振动等产生细微摩擦，由此也可能发生有机EL膜损伤。本发明是鉴于上述问题点而完成的，目的在于提供一种能够防止形成于基材上的有机EL膜损伤并且卷绕形成有该有机EL膜的基材的有机EL元件的制造方法及其制造装置、有机EL元件。用于解决问题的方案为了解决上述问题，本发明所涉及的有机EL元件的制造方法，提供带状的基材并且通过在该基材的一面侧至少依次蒸镀有机层和电极层来在上述基材上形成有机EL膜，将形成有上述有机EL膜的上述基材进行卷绕，由此制造有机EL元件，其中，该有机层包括发光层，该有机EL元件的制造方法的特征在于，在上述卷绕过程中，还提供比上述基材软的带状的保护膜，使上述保护膜粘接在上述基材的非蒸镀面侧并且将上述基材与上述保护膜一起进行卷绕。根据上述结构，使保护膜粘接在基材的非蒸镀面侧并且卷绕该基材，由此能够防止粘接剂等附着于有机EL膜，而且，能够防止保护膜在被夹在基材的非蒸镀面侧与有机EL膜之间时相对于有机EL膜产生位置偏移。由此，能够防止附着粘接剂等来防止有机EL膜损伤，并且减轻保护膜与有机EL膜之间的摩擦来防止有机EL膜的损伤。另外，通过使用比基材软的保护膜，即使在有机EL膜与保护膜之间产生了一些摩擦的情况下，也能够防止由与保护膜接触引起的有机EL膜的损伤。因而，能够防止形成于基材上的有机EL膜损伤并且卷绕形成有该有机EL膜的基材。另外，在本发明所涉及的有机EL元件的制造方法中，优选提供一面侧形成有第一电极层的上述基材并且在该第一电极层上依次蒸镀上述有机层和第二电极层，该第二电极层为与上述第一电极层极性相反的电极。另外，在本发明所涉及的有机EL元件的制造方法中，优选上述保护膜的弹性模量为4. 2GPa以下。由此，能够更可靠地防止形成于基材上的有机EL膜的损伤。另外，在本发明所涉及的有机EL元件的制造方法中，优选上述基材由金属材料形成。由此，特别是在使用表面凹凸大并且较硬的基材的情况下，也能够防止形成于基材上的有机EL膜的损伤并且卷绕形成有该有机EL膜的基材，因此更有效。
另外，在本发明所涉及的有机EL元件的制造方法中，优选上述保护膜的一面侧具有能够粘接到上述基材以及从上述基材剥离的粘接剂层，通过该粘接剂层使上述保护膜粘接在上述基材的非蒸镀面侧。由此，能够将上述保护膜粘接到上述基材以及从上述基材剥离，因此能够防止保护膜与基材之间的偏移。另外，本发明所涉及的有机EL元件的制造装置具备蒸镀部，其被提供带状的基材并且通过在该基材的一面侧至少依次蒸镀有机层和电极层来在上述基材上形成有机EL膜，该有机层包括发光层；以及回收部，其将通过该蒸镀部形成有上述有机EL膜的基材进行卷绕，该有机EL元件的制造装置的特征在于，还具备保护膜提供部，其提供比上述基材软的带状的保护膜，其中，上述回收部构成为使从上述保护膜提供部提供的上述保护膜粘接在上述基材的非蒸镀面侧并且将上述基材与上述保护膜一起进行卷绕。另外，在本发明所涉及的有机EL元件的制造装置中，上述蒸镀部构成为被提供一 面侧形成有第一电极层的上述基材并且在该第一电极层上依次蒸镀上述有机层和第二电极层，该第二电极层为与上述第一电极层极性相反的电极。另外，本发明所涉及的有机EL元件，在基材的一面侧具备有机EL膜，该有机EL膜具有第一电极层、包括发光层的有机层以及第二电极层，该第二电极层为与上述第一电极层极性相反的电极，该有机EL元件的特征在于，在上述基材的与上述有机EL膜相反的一面侧粘接有比上述基材软的保护膜。发明的效果如上所述，根据本发明，能够防止形成于基材上的有机EL膜的损伤并且卷绕形成有该有机EL膜的基材。
图I是示意性地表示在本发明的一个实施方式所涉及的有机EL元件的制造方法中使用的一个实施方式所涉及的有机EL元件的制造装置的概要侧视截面图。图2是放大表示用图I的虚线表示的S区域的概要截面图。图3是示意性地表示在真空室内设置了多个蒸镀源的状态的概要侧视截面图。图4A是示意性地表示在基材的一面侧形成有机EL膜而在另一面侧粘接保护膜而成的有机EL元件的层结构的概要侧视截面图，是表示有机层为一层的情况的图。图4B是示意性地表示在基材的一面侧形成有机EL膜而在另一面侧粘接保护膜而成的有机EL元件的层结构的概要侧视截面图，是表示有机层为三层的情况的图。图4C是示意性地表示在基材的一面侧形成有机EL膜而在另一面侧粘接保护膜而成的有机EL元件的层结构的概要侧视截面图，是表示有机层为五层的情况的图。附图标记说明I :有机EL兀件的制造装置；5 :基材提供装置；6 :回收装置(回收部)；7 :冷却棍；8 :保护膜提供装置(保护膜提供部)；9 :蒸镀源(蒸镀部)；9a :第一蒸镀源；9b :第二蒸镀源；19 :有机EL膜；20 :有机EL元件；21 :基材；23 :阳极层(第一电极层)；25a :发光层(有机结构层、有机层)；27:阴极层(第二电极层)；30:保护膜；30a:粘接剂层。
具体实施例方式下面，参照
本发明所涉及的有机EL元件的制造方法、该有机EL元件的制造装置以及有机EL元件。如图1、2所示，有机EL元件的制造装置I具备基材提供装置5，其作为基材提供部，提供带状的基材21 ;冷却辊7，其作为输送部，与从该基材提供装置5提供的基材21的非蒸镀面侧相抵接并且随着该基材21的移动而进行旋转驱动；蒸镀源9，其作为蒸镀部，喷出气化后的有机层形成材料22和阴极层形成材料28，在形成于与冷却辊7相抵接的基材21的阳极层23上依次蒸镀包括发光层的有机层和阴极层，从而在基材21上形成有机EL膜19 ;回收装置6，其作为回收部，将通过该蒸镀源9形成了有机EL膜19的基材21依次进行卷绕；以及保护膜提供装置8，其作为保护膜提供部，提供保护膜30。另外，回收装置6构成为使从保护膜提供装置8提供的保护膜30粘接在基材21的非蒸镀面侧并且将该基材21与保护膜30 —起进行卷绕。
另外，该制造装置I还具备真空室3，在真空室3内配置有上述基材提供装置5、冷却辊7、多个蒸镀源9、保护膜提供装置8以及回收装置6。关于该真空室3，通过未图示的真空产生装置使其内部形成减压状态，从而能够在内部形成真空区域。 作为上述基材提供装置5而具备基材提供辊5，该基材提供辊5送出被卷绕成辊状的带状的基材21。作为上述回收装置6而具备卷绕辊6，该卷绕辊6将所送出的基材21与保护膜一起进行卷绕。即，从基材提供辊5送出的基材21被提供给冷却辊7之后，被卷绕辊6卷绕。另外，作为上述保护膜提供装置8而具备保护膜提供辊8，该保护膜提供辊8送出被卷绕成辊状的带状的保护膜30，如后文所述，从该保护膜提供辊8送出的保护膜30粘接在基材21的非蒸镀面侧，并且被卷绕辊6卷绕。冷却辊7由圆筒状的不锈钢形成，并进行旋转驱动。将上述冷却辊7配置在使从基材提供辊5送出(提供)并被卷绕辊6卷绕的基材21被以规定的张力卷挂的位置，以冷却辊7的周面(表面)支承基材21的非蒸镀面侧(具体地说，与设置有阳极层的一侧相反的一侧)。另外，冷却辊7进行旋转(绕图I的逆时针旋转)，由此能够使被卷挂(支承)的基材21与冷却辊7 —起沿旋转方向移动。优选上述冷却辊7的内部具有冷却机构等温度调整机构，由此，在后述的基材21上的有机层的成膜过程中，能够使基材21的温度稳定。例如能够将冷却辊7的外径设定为300mnT2000mmo并且，当冷却辊7旋转时，与该旋转相应地依次从基材提供辊5送出基材21，所送出的基材21与冷却辊7的周面相抵接而被支承并且沿其旋转方向移动，并且离开冷却辊7的基材21被卷绕辊6卷绕。能够使用即使卷挂在冷却辊7上也不损伤的具有挠性的材料来作为基材21的形成材料。作为这种材料例如能够举出金属材料和非金属材料，但是，其中还优选基材21由金属材料形成。由此，尤其是在使用表面凹凸大并且较硬的基材21的情况下，也能够防止形成于基材21上的有机EL膜19损伤并且卷绕形成有该有机EL膜19的基材21，因此更有效。作为上述金属材料例如能够举出不锈钢(SUS)、铁(Fe)、铝(Al)等。另外，从刚性的观点出发，上述金属材料优选为不锈钢。作为上述的非金属材料，例如可以例举出玻璃薄膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等。此外，从阻气性的观点出发，上述非金属材料优选为玻璃薄膜。通过溅镀在该基材21表面预先形成阳极层23 (参照图2)。作为用于形成阳极层23的材料，可以使用氧化铟锡(ITO)、氧化锌铟(IZO)、氧化锌(ZnO)、镓掺杂氧化锌(GZO)、锑掺杂氧化锌(AZO)等氧化锌类材料。再有，除此以外，也可以构成为在使用了能够利用蒸镀源进行蒸镀的材料作为阳极层23的材料的情况下，在真空室3内配置阳极层23用的蒸镀源，将阳极层23蒸镀在基材21上，由此形成阳极层23。蒸镀源9用于形成包括发光层25a的有机层(参照图2、图4A 4C)以及阴极层27。 另外，蒸镀源9由用于形成有机层的第一蒸镀源9a以及用于形成阴极层27的第二蒸镀源9b构成。此外，根据要形成的有机层而设置一个以上的第一蒸镀源9a，在本实施方式中，由于形成一层发光层25a(参照图2、图4A)作为有机层，因此设置一个第一蒸镀源9a。另外，在与冷却辊7的周面中的基材21的支承区域相对的位置处，在基材21的移动方向上游侧配置有第一蒸镀源9a，在下游侧配置有第二蒸镀源％。并且，第一蒸镀源9a和第二蒸镀源％分别构成为能够向基材21喷出通过加热等气化后的有机层形成材料22和阴极层形成材料28。并且，通过第一蒸镀源9a使有机层形成材料22蒸镀到形成于基材21上的阳极层23上，由此在该阳极层23上形成发光层25a(参照图2、图4A 4C)，通过第二蒸镀源％使阴极层形成材料28蒸镀到发光层25a上，由此在发光层25a上形成阴极层27。这样，在形成于基材21上的阳极层23上依次连续地蒸镀发光层25a和阴极层27，由此在基材21上形成具有阳极层23、发光层25a以及阴极层27的有机EL膜19，由此形成有机EL元件20。有机层由一个有机结构层构成或者为多个有机结构层层叠而构成。在有机层由一个有机结构层构成的情况下，该有机结构层为上述发光层25a。在有机层由多个有机结构层构成的情况下，该多个有机结构层由发光层25a以及发光层25a以外的有机结构层构成。另外，作为发光层25a以外的有机结构层例如可举出空穴注入层25b、空穴输送层25d、电子注入层25c以及电子输送层25e。此外，例如，在如图4B所示那样将有机层设为三层层叠体的情况下，也能够如图3所示那样设为沿冷却辊7的旋转方向设置三个第一蒸镀源9a的结构。在这样沿冷却辊7的旋转方向设置多个第一蒸镀源9a的情况下，能够通过配置在相对于该旋转方向最上游侧的第一蒸镀源9a在阳极层23上蒸镀第一层有机结构层，之后依次通过下游侧的第一蒸镀源9a在第一层有机结构层上蒸镀第二层之后的有机结构层，从而进行层叠。这样，有机层只要包括发光层则不另外特别限定，能够构成为根据需要层叠形成多个有机结构层。例如图4B所示，也可以按空穴注入层25b、发光层25a以及电子注入层25c的顺序将它们进行层叠，将有机层设为三层层叠体。另外，还能够根据需要，将空穴输送层25d(参照图4C)夹在上述图4B示出的发光层25a与空穴注入层25b之间或者将电子输送层25e(参照图4C)夹在发光层25a与电子注入层25c之间，由此将有机层设为四层层叠体。并且，如图4C所示，还能够将空穴输送层25d夹在空穴注入层25b与发光层25a之间，并将电子输送层25e夹在发光层25a与电子注入层25c之间，由此将有机层设为五层层叠体。另外，通常，将各层的膜厚设计成几nnT几十nm左右，但是根据有机层形成材料22、发光特性等来适当地设计上述膜厚，而不特别限定上述膜厚。作为用于形成发光层25a的材料，可以使用例如，三(8_羟基喹啉)铝(Alq3)、[2-叔丁基-6-[2-(2，3，6，7-四氢-1，1，7，7-四甲基-1H，5H-苯并[i j]喹嗪-9-基)乙烯基]-4H-吡喃-4-亚基]丙二腈(DCJTB)等。作为用于形成空穴注入层25b的材料，可以使用例如，铜酞菁(CuPc)、N，N’ - 二(I-萘基)_N，N’ - 二苯基-1，I’ -联苯-4，4’ -二胺(a-NPD)等。作为用于形成空穴传输层25d的材料，可以使用例如，N，N’ - 二(I-萘 基)-N，N’ - 二苯基-1，I’ -联苯-4,4’ -二胺(a-NPD)、N，N，N’，N’ -四苯基-4，4’ -二氨基苯、N，N’ - 二苯基-N，N，-双(3-甲基苯基)-[1，I，-联苯]-4，4，-二胺(TPD)等。作为用于形成电子注入层25c的材料，可以使用例如，氟化锂(LiF)、氟化铯(CsF)
坐寸o作为用于形成电子传输层25e的材料，可以使用例如，三(8_羟基喹啉)铝(Alq3)
坐寸O作为阴极层27，可以使用铝(Al)、镁银(Mg/Ag)、ITO、IZO等。在本实施方式中，如图I以及图2所示，卷绕辊6构成为以形成有有机EL膜19的基材21中的形成有有机EL膜19的一面侧(蒸镀面侧)配置于外侧而非蒸镀面侧配置于内侧的方式卷绕该基材21。另外，卷绕辊6使从上述保护膜提供辊8送出的保护膜30粘接在该基材21的非蒸镀面侧，并且将该基材21与保护膜30 —起进行卷绕。另外，从上述保护膜提供辊8送出的保护膜30构成为比基材21软，由此能够防止由与保护膜30接触引起的有机EL膜19损伤。另外，保护膜30只要构成为比基材21软，则不另外特别限定，但是例如保护膜30的弹性模量优选在4. 2GPa以下，更优选在4. OGPa以下。该弹性模量在4. 2GPa以下，由此能够更可靠地防止有机EL膜19损伤。另外，作为保护膜30的形成材料优选比基材21平滑的材料。由此，能够进一步防止由与保护膜30接触引起的有机EL膜19损伤。关于保护膜30的平滑性，优选例如轮廓算术平均偏差粗糙度(Ra)在2nm以下,并且轮廓最大高度粗糙度(Rmax)在15nm以下。由此，保护膜30变得足够平滑，因此能够进一步防止上述有机EL膜19损伤。作为这样的保护膜30的形成材料，可以例举出聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亚胺(PI)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)等。在本实施方式中，保护膜30构成为一面侧具有能够粘接到上述基材21以及从上述基材21剥离的粘接剂层30a，构成为从保护膜提供辊8送出的保护膜30的粘接剂层30a粘接在基材21的非蒸镀面侧。即，构成为保护膜30通过粘接剂层30a粘接在基材21的非蒸镀面侧。这样，保护膜30的一面侧具有能够粘接到基材21以及从基材21剥离的粘接剂层30a，通过该粘接剂层30a将保护膜30粘接在基材21的非蒸镀面侧，由此能够防止保护膜30与基材21之间的偏移。
作为用于形成上述粘接剂层30a的材料(粘接材料)可举出橡胶类、丙烯类、硅类的粘接剂。另外，粘接剂层30a的剥离强度优选在5N/m以上。由此，能够防止保护膜30与基材21粘接之后被从该基材21剥离。另外，该粘接剂层30a的剥离强度优选在100N/m以下，更优选在60N/m以下。该粘接剂层30a的剥离强度在100N/m以下，由此防止剥离强度变得过强，从而能够防止从基材21剥离保护膜30时基材21变形。这种一面侧具有粘接剂层30a的保护膜30能够通过对保护膜涂布粘接剂的涂敷来形成。例如能够使用逗点涂布机、凹版涂布机、狭缝涂布机等来进行上述涂敷。在本实施方式所涉及的有机EL元件的制造方法中，提供带状的基材21并且通过至少将包括发光层25a的有机层和阴极层(电极层)27依次蒸镀在该基材21的一面侧来在基材21上形成有机EL膜19，将形成有有机EL膜19的基材21依次进行卷绕，从而制造有机EL元件，在上述卷绕过程中，还提供比基材21软的带状的保护膜30，使该保护膜30粘接在基材21的非蒸镀面侧并且将基材21与保护膜30 —起进行卷绕。 另外，在本实施方式中，设为提供一面侧形成有阳极层(第一电极层)23的基材21，并且在该阳极层23上依次蒸镀发光层25a以及与阳极层23极性相反的电极即阴极层(第二电极层)27。再有，除此以外，还能够提供没有预先形成阳极层的基材并且通过用于形成阳极层的蒸镀源在基材上形成阳极层，在这样形成的阳极层上依次形成上述发光层25a和阴极层27。在本实施方式中，具体地说，例如首先通过溅镀等在一面侧预先形成阳极层23，并且从基材提供辊5送出被卷绕成辊状的基材21。接着，使所送出的基材21的非蒸镀面侧与冷却辊7的表面相抵接而进行移动，并且通过第一蒸镀源9a在被冷却辊7支承的基材21上的阳极层23上形成作为有机层的发光层25a，通过第二蒸镀源9b在该发光层25a上形成阴极层27，由此在基材21上形成有机EL膜19。另外，从保护膜提供辊8送出保护膜30，通过粘接剂层30a使该保护膜30粘接在形成有有机EL膜19的基材21的非蒸镀面侧，并且通过卷绕辊6将基材21与保护膜30 —起进行卷绕。通过上述制造方法，在带状的基材21的一面侧形成有机EL膜19，在与该有机EL膜19相反的一面侧(非蒸镀面侧)粘接保护膜30，并且能够制造被卷绕的有机EL元件20。另外，根据上述制造方法，使保护膜30粘接在基材21的非蒸镀面侧，由此能够防止保护膜30因被夹在基材21的非蒸镀面侧与有机EL膜19之间而相对于有机EL膜19产生位置偏移。由此，能够减轻保护膜30与有机EL膜19之间的摩擦，从而防止有机EL膜19损伤。另外，通过使用比基材21软的保护膜30，即使在有机EL膜19与保护膜30之间产生了一些摩擦的情况下，也能够防止由与保护膜30接触引起的有机EL膜19的损伤。因而，能够防止形成于基材21上的有机EL膜19损伤并且卷绕形成有该有机EL膜19的基材21。进而，能够通过防止产生上述损伤来提高成品率。另外，在基材21上形成了有机EL膜19之后，使保护膜30与基材21的非蒸镀面侧相抵接而将保护膜30粘接在基材21的非蒸镀面侧，因此能够避免保护膜30对发光层25、阴极层27的形成带来的影响。此外，能够如上所述那样送出被卷绕辊6卷绕的有机EL元件20，并对其进行切断等，从而形成片状的有机EL元件20。即，能够形成如下结构的有机EL元件20 :在基材21的一面侧具备有机EL膜19，该有机EL膜具有阳极层23、至少包括一层的发光层25a的有机层以及阴极层27，能够在基材21中的与有机EL膜19相反的一面侧(非蒸镀面侧)粘接比基材21软的保护膜。在像这样通过切断等来将有机EL元件20形成为片状的情况下，如上所述，被卷绕辊6卷绕的有机EL元件20防止有机EL膜19损伤，因此形成为片状的有机EL元件20也防止有机EL膜19损伤。本发明的有机EL元件的制造方法及其制造装置、有机EL元件如上所述，但本发明并不限定于上述各实施方式，能够在本发明所意图的范围内适当地进行设计变更。例如，在上述实施方式中，将基材提供辊5配置在真空室3内，但是只要能够将基材21送出到冷却辊7，则还能够将基材提供辊5配置于真空室3外。另外，在上述实施方式中，将保护膜提供装置8和回收装置6配置于真空室3内，但是只要能够将结束了蒸镀工序的基材21如上所述那样使保护膜30与该基材21粘接并且进行卷绕，则还能够将它们配置于真空室3外。另外，在本实施方式中，为了使保护膜30粘接在基材21的非蒸镀面侧，设为该保护膜30具有粘接剂层30a的结构，但是使保护膜30与基材21粘接的方法不特别限定于上 述实施方式。例如，还能够保护膜30构成为一面侧具有粘接到基材21后不容易剥离的粘接剂层，构成为通过该粘接剂层使保护膜30粘接在基材21的非蒸镀面侧。另外，在上述实施方式中，示出了以下结构，以基材21中的形成有有机EL膜19的一面侧配置于外侧而非蒸镀面侧配置于内侧的方式通过卷绕辊6卷绕基材21，但是，除此以外，还能够设为以下结构以基材21中的形成有有机EL膜19的一面侧配置于内侧而非蒸镀面侧配置于外侧的方式卷绕基材21，。[实施例]接着，例举实施例更详细说明本发明，但是本发明并不限定于这些。<有机EL元件的制造>使用与上述图I示出的有机EL元件的制造装置I相同的制造装置。另外，作为基材使用辊状的SUS 304(宽度50mm、长度1000m、厚度0. 05mm)。另外，通过在基材的一面侧涂敷丙烯树脂(JSR公司制，JEM-477)并进行干燥、硬化来形成(成膜)绝缘层之后，通过在该绝缘层上溅镀IZO来预先形成厚度IOOnm的阳极层。另一方面，如表I所示，使用PFT膜以及该膜的一面侧具有丙烯类粘接剂层的带粘接剂的膜作为保护膜。即，在实施例I中使用E-MASK TP-300 (日东电工株式会社制)，在实施例2中使用Masking Tape (工> ^ >今 > 夕'' )ALS 101 (日东电工株式会社制)，在实施例3中使用外观性金属板用表面保护材料SPV-364CK(日东电工株式会社制)。这三种带粘接剂的膜的弹性模量分别如表I所示。另外，上述保护膜的包括粘接剂层的厚度均为60 u m0然后，提供形成有阳极层的基材，并且在该阳极层上依次蒸镀厚度25nm的铜酞菁(CuPc)来作为空穴注入层，蒸镀45nm的a -NPD来作为空穴输送层，蒸镀厚度60nm的Alq3来作为发光层，蒸镀厚度0. 5nm的LiF来作为电子注入层，蒸镀厚度IOnm的Al来作为阴极层，由此在基材上形成有机EL膜。另外，分别使上述三种保护膜的粘接剂层粘接在形成有有机EL膜的基材的非蒸镀面侧，由此使该保护膜与该基材粘接，并且以该基材的非蒸镀面侧配置于外侧、蒸镀面侧配置于内侧的方式将基材与保护膜一起卷绕到卷绕辊，由此形成实施例广3的有机EL元件。另一方面，除了不使用保护膜而卷绕基材以外其余与实施例I相同来形成比较例I的有机EL元件。另外，除了以下情况以外其余与上述实施例I相同来形成比较例2的有机EL元件使用与基材相同的辊状的SUS 304作为保护膜，一边对该保护膜涂布丙烯类粘接剂一边通过该粘接剂使保护膜粘接在基材的非蒸镀面侧，并且通过卷绕辊将基材与保护膜一起进行卷绕。并且，除了以下情况以外其余与上述实施例I相同来形成比较例3的有机EL元件使用PI膜作为保护膜，不在保护膜中形成粘接剂层，不使该保护膜粘接在基材的非蒸镀面侧而仅使该保护膜与该基材相抵接，并且将基材与保护膜一起进行卷绕。<评价方法>关于实施例f 3以及比较例f 3中分别卷绕的有机EL元件，从开始卷绕基材起每隔IOOm采样共计10个宽50mmX长Im的样本，使用光学显微镜(奥林巴斯公司制，STM6-LM)测量长度IOOiim以上的擦伤的数量，算出10个擦伤平均值。另外，关于各样本， 对阳极层与阴极层之间施加电场，检查是否存在发光。<评价基准>将擦伤数的平均值小于三个的情况设为〇，将擦伤数的平均值大于等于三个且小于五个的情况设为A，将擦伤数的平均值大于等于五个的情况设为X。另外，关于是否存在发光，将整面没有发光的个数小于等于一个的情况设为〇，将整面没有发光的个数大于一个且小于等于三个的情况设为A，将整面没有发光的个数大于三个的情况设为X。在表I中示出评价结果。如表I所示，在使用弹性模量小于基材的保护膜并通过粘接剂使保护膜与基材粘接的实施例广3中，擦伤少且发光也良好。与此相对，在没有使用保护膜的比较例I、使用了弹性模量大于基材的保护膜的比较例2以及使用弹性模量小于基材的保护膜但没有使保护膜与基材粘接的比较例3中，均为擦伤多且发光不良。[表 I]
权利要求
1.一种有机EL元件的制造方法，提供带状的基材并且通过在该基材的一面侧至少依次蒸镀有机层和电极层来在上述基材上形成有机EL膜，将形成有上述有机EL膜的上述基材进行卷绕，由此制造有机EL元件，其中，该有机层包括发光层，该有机EL元件的制造方法的特征在于， 在上述卷绕的过程中，还提供比上述基材软的带状的保护膜，使上述保护膜粘接在上述基材的非蒸镀面侧并且将上述基材与上述保护膜一起进行卷绕。
2.根据权利要求I所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于， 提供一面侧形成有第一电极层的上述基材并且在该第一电极层上依次蒸镀上述有机层和第二电极层，该第二电极层为与上述第一电极层极性相反的电极。
3.根据权利要求I所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于， 上述保护膜的弹性模量为4. 2GPa以下。
4.根据权利要求I所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于， 上述基材由金属材料形成。
5.根据权利要求I所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于， 上述保护膜的一面侧具有能够粘接到上述基材以及从上述基材剥离的粘接剂层， 通过该粘接剂层使上述保护膜粘接在上述基材的非蒸镀面侧。
6.一种有机EL元件的制造装置，具备 蒸镀部，其被提供带状的基材并且通过在该基材的一面侧至少依次蒸镀有机层和电极层来在上述基材上形成有机EL膜，该有机层包括发光层；以及 回收部，其将通过该蒸镀部形成有上述有机EL膜的基材进行卷绕， 该有机EL元件的制造装置的特征在于， 还具备保护膜提供部，其提供比上述基材软的带状的保护膜， 其中，上述回收部构成为使从上述保护膜提供部提供的上述保护膜粘接在上述基材的非蒸镀面侧并且将上述基材与上述保护膜一起进行卷绕。
7.根据权利要求6所述的有机EL元件的制造装置，其特征在于， 上述蒸镀部构成为被提供一面侧形成有第一电极层的上述基材并且在该第一电极层上依次蒸镀上述有机层和第二电极层，该第二电极层为与上述第一电极层极性相反的电极。
8.—种有机EL兀件,在基材的一面侧具备有机EL膜,该有机EL膜具有第一电极层、包括发光层的有机层以及第二电极层，该第二电极层为与上述第一电极层极性相反的电极，该有机EL元件的特征在于， 在上述基材的与上述有机EL膜相反的一面侧粘接有比上述基材软的保护膜。
全文摘要
本发明提供一种有机EL元件的制造方法及其制造装置、有机EL元件，该有机EL元件的制造方法的特征在于，具备以下步骤提供带状的基材并且通过在该基材的一面侧至少依次蒸镀包括发光层的有机层和电极层来在上述基材上形成有机EL膜；以及将通过上述蒸镀形成有上述有机EL膜的上述基材依次进行卷绕，在上述卷绕过程中，还提供比上述基材软的带状的保护膜，使上述保护膜粘接在上述基材的非蒸镀面侧并且将上述基材与上述保护膜一起进行卷绕。
文档编号H01L51/52GK102779952SQ20121014747
公开日2012年11月14日 申请日期2012年5月11日 优先权日2011年5月13日
发明者中井孝洋, 市枝直子, 根岸伸和, 森田成纪, 细川和人, 长濑纯一 申请人:日东电工株式会社