太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材和使用其的太阳能电池模件的制造方法

文档序号:7057378阅读:178来源:国知局
太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材和使用其的太阳能电池模件的制造方法
【专利摘要】未硫化状态的太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材,其特征在于,是将配置在分别具有刚性或可挠性的受光面面板和背面面板之间的多个太阳能电池单元密封的有机硅粘合剂片材,固化后的有机硅粘合剂片材与受光面面板的根据JIS K6256的180度剥离粘接强度为2.5N/cm以上。本发明的硅橡胶组合物制成的粘合剂片材是能够挤出成型、压延成型等的混炼型的粘合剂片材,能够将受光面面板、第1有机硅粘合剂片材、多个太阳能电池单元、第2有机硅粘合剂片材和背面面板层叠,使用真空层压机形成模件。此外,能够在没有使用以往的液体有机硅的情况下简便地得到粘接性也良好、层压结束后单元的密封性高的模件。
【专利说明】太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材和使用其的太阳能电 池模件的制造方法

【技术领域】
[0001] 本发明涉及用于将特别是使用单晶硅、多晶硅形成的太阳能电池可靠性高地密封 的有机硅粘合剂片材和使用了其的太阳能电池模件的制造方法。

【背景技术】
[0002] 近年来,作为利用了太阳光的能源,对于太阳光发电的关心高涨。其中,太阳能电 池的发电元件一般包括硅等半导体,太阳能电池模件是在将各个太阳能电池单元相互电连 接的状态下搭载于受光面玻璃基板等的。
[0003] 此时,对于太阳能电池单元,通过用封入材料将其光照射的表面或背面侧覆盖,从 而保护其以免受外部环境,例如雨、风、雪、灰尘等的影响。作为封入材料,一般地,从以片状 容易处理、低成本等的观点出发,使用作为热塑性树脂的乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)。 使用EVA将太阳能电池形成模件,一般采用如下方法:将受光面/EVA片材/太阳能电池单 元/EVA/背面面板(背板)层叠而成的产物放入真空层压机中,在130-150°C下加压15-30 分钟。
[0004] 但是,使用了 EVA作为密封材料的情况下,特别是高温高湿环境下产生醋酸,因此 该产生的醋酸成为原因,由于腐蚀太阳能电池单元电极等的影响,存在发电性能劣化的问 题。特别地,由于对太阳能电池期待几十年单位的长期使用,因此从确保的观点出发,希望 尽快消除经时劣化。
[0005] 此外,不只是上述问题,EVA的耐UV性低,通过在屋外长期暴露而发生变色,成为 黄色或褐色,因此也存在损害外观的问题。
[0006] 作为不产生这些问题的密封材料,可列举有机硅。例如,使用了有机硅作为密封材 料的情况下,由于不产生醋酸,不仅能抑制电极腐蚀,而且也消除黄色或褐色的变色问题。 此外,不会如EVA那样在低温下弹性模量急剧地上升,电极的连接的可靠性也提高。例如, 非专利文献1中,进行在室外暴露了 29年的有机硅密封太阳能电池模件的再评价,据介绍 具有最大输出的降低仅-〇. 22% /年的非常高的可靠性。
[0007] 为了得到有机硅密封太阳能电池,目前为止研究了各种密封方法。特表 2007-527109号公报(专利文献1)中提出了在基板上涂布的液体的有机硅材料上或有机 硅材料中,利用多轴机器人配置连接的太阳能电池,然后通过使有机硅材料固化而没有裹 挟气泡地密封。此外,特表2011-514680号公报(专利文献2)中提出了使用具有可移动的 板的电池压机,通过在真空下将太阳能电池单元配置在固化或半固化的有机硅上,从而没 有裹挟气泡地密封。另一方面,国际公开2009/091068号(专利文献3)中提出了下述方 法:在玻璃基板配置密封剂、太阳能电池元件、有机硅液体物质,最后将背面保护基板重叠 而制成临时层叠体,在室温的真空下使其加压密合,进行密封,但该方法中,认为太阳能电 池模件向实用尺寸的发展困难。但是,所有这些方法在太阳能电池单元密封工序中都包括 将液体有机硅涂布或封装的复杂的工序。现状是这些对于现今将EVA片材用于太阳能电池 的形成模件的制造商根本无法接受。此外,使用了最适合涂布、封装的低粘度的有机硅的 固化物与EVA相比,物理强度弱,而且粘接强度也低,因此长期的屋外暴露或加速劣化试验 (85°C /85% RH)中的密封可靠性的确保成为课题。
[0008] 现有技术文献
[0009] 专利文献
[0010] 专利文献1 :特表2007-527109号公报
[0011] 专利文献2 :特表2011-514680号公报
[0012] 专利文献3 :国际公开2009/091068号
[0013] 非专利文献
[0014] 非专利文献1 :
[0015] 非专利文献
[0016]【非专利文献1】伊藤厚雄,大和田寛人,降簇智欣,金享培,山川直樹,柳沼篤,今 瀧智雄,渡邊百樹,阪本貞夫:第9回次世低〇太陽光発學i 7 9 A i ^ ? Λ予稿集, 2014, ρ.54


【发明内容】

[0017] 发明要解决的课题
[0018] 本发明鉴于上述实际情况而完成,目的在于提供通过特别是将与受光面面板的粘 接强度高的硅橡胶组合物加工成片状,经由该片材将太阳能电池单元密封,从而处理容易 且密封性高的太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材和使用了其的太阳能电池模件的制造 方法。
[0019] 用于解决课题的手段
[0020] 本发明人为了实现上述目的而反复深入研究,结果发现,通过将固化物对于受光 面面板的粘接强度为2. 5N/cm以上的硅橡胶组合物加工成片状,形成有机硅粘合剂片材, 将受光面面板、第1有机硅粘合剂片材、多个太阳能电池单元(太阳能电池串)、第2有机硅 粘合剂片材、背面面板层叠,在真空、加热下挤压,在没有使用以往的液体有机硅的情况下 得到太阳能电池模件,完成了本发明。
[0021] 即,本发明提供下述的太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材和使用了其的太阳能 电池模件的制造方法。
[0022] [1]未硫化状态的太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材,其特征在于,是将配置在 分别具有刚性或可挠性的受光面面板和背面面板之间的多个太阳能电池单元密封的有机 硅粘合剂片材,固化后的有机硅粘合剂片材与受光面面板的根据JIS K6256的180度剥离 粘接强度为2. 5N/cm以上。
[0023] [2] [1]所述的有机硅粘合剂片材,其由硅橡胶组合物制成,该硅橡胶组合物含 有:
[0024] ㈧由式⑴表示、聚合度为100以上的有机聚硅氧烷100质量份,
[0025] R1aSiO(嫌(I)
[0026] (式中,R1表示相同或不同的未取代或取代的1价烃基,a为1. 95?2. 05的正 数。)
[0027] (B)比表面积为50m2/g以上的补强性二氧化硅 10?150质量份,
[0028] (C) -分子中含有至少2个与硅原子键合的氢原子、不含烷氧基、环氧基、(甲基) 丙烯酰基的有机氢聚娃氧烧 0. 1?30质量份,
[0029]
[0030] (D)氢化硅烷化反应催化剂 催化量,
[0031] (E)粘接赋予剂 0?10质量份。
[0032] [3] [2]所述的太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材,其中,(E)成分的配合量相 对于(A)成分100质量份,为0. 01?10质量份,(E)成分含有1个以上的下述基团中的任 一种:烷氧基、环氧基、丙烯酰(甲基丙烯酰)基。
[0033] [4] [1]?[3]的任一项所述的有机硅粘合剂片材,其中,厚度为0. 3?2. 5mm。
[0034] [5] [1]?[4]的任一项所述的有机硅粘合剂片材,其通过压延辊或挤出成型加工 形成。
[0035] [6]有机硅密封太阳能电池模件的制造方法,该有机硅密封太阳能电池模件是用 第1和第2有机硅粘合剂片材的固化物密封太阳能电池而成,其特征在于,通过将受光面面 板、[1]?[5]的任一项所述的第1有机硅粘合剂片材、多个太阳能电池单元、[1]?[5]的 任一项所述的第2有机硅粘合剂片材、背面面板层叠后,使用真空层压机在真空下加热挤 压,从而形成模件。
[0036] [7]采用[6]所述的制造方法得到的有机硅密封太阳能电池模件。
[0037] 发明的效果
[0038] 本发明的由硅橡胶组合物制成的粘合剂片材是能够挤出成型、压延成型等的混炼 型的粘合剂片材,将受光面面板、第1有机硅粘合剂片材、多个太阳能电池单元、第2有机硅 粘合剂片材和背面面板层叠,使用真空层压机能够形成模件。此外,能够在没有使用以往的 液体有机硅的情况下简便地得到粘接性也良好、层压结束后单元的密封性高的模件。

【专利附图】

【附图说明】
[0039] 图1是表示根据本发明的有机硅密封太阳能电池模件的一例的剖面图。
[0040] 图2是表示根据本发明的放置在真空层压机中的层叠体的一例的剖面图。
[0041] 图3是表示将掩蔽带贴于粘接试验用被粘附体玻璃的实例的平面图。
[0042] 图4是粘接试验片的剖面图。
[0043] 图5是表示粘接试验的中途状态的剖面图。
[0044] 附图标记的说明
[0045] 1 :受光面面板
[0046] 2 :背面面板
[0047] 3:太阳能电池单元串
[0048] 10 :固化后的有机娃粘合剂片材
[0049] l〇a、IOb :未固化的有机娃粘合剂片材

【具体实施方式】
[0050] 本发明涉及的有机硅粘合剂片材用于将多个太阳能电池单元(将该多个单元相 互连接而成的太阳能电池串)密封。太阳能电池单元密封的有机硅粘合剂片材被受光面面 板和背面面板夹持而形成太阳能电池模件。
[0051] 图1表不这样的有机娃密封太阳能电池模件的一例,图中1为受光面面板,2为背 面面板,3为太阳能电池串,10为有机硅粘合剂片材。
[0052] 其中,太阳能电池串已密封状态的有机硅粘合剂片材是硫化(固化)的产物(固 化片材),本发明涉及的有机硅粘合剂片材是由未硫化的硅橡胶组合物制成的有机硅粘合 齐U片材(未固化片材),其固化后的有机硅粘合剂片材(固化片材)与受光面面板的180度 剥离粘接强度采用根据JIS K6256的测定法,为2. 5N/cm以上,优选为3. ON/cm以上。对其 上限并无特别限制,通常为lON/cm以下。
[0053] 这种情况下,硅橡胶组合物的固化型可以是任何类型,可列举有机过氧化物固化 型、紫外线固化型、缩合反应固化型等,在不必担心反应副产物产生的变色的方面,特别优 选加成反应固化型的硅橡胶组合物。
[0054] 作为该加成固化型的硅橡胶组合物,优选含有:
[0055] (A)由式⑴表示、聚合度为100以上的有机聚硅氧烷100质量份,
[0056] R1aSiOi4^72 (I)
[0057] 式中,R1表示相同或不同的未取代或取代的1价烃基,a为1. 95?2. 05的正数,
[0058] (B)比表面积为50m2/g以上的补强性二氧化硅 10?150质量份,
[0059] (C) -分子中含有至少2个与硅原子键合的氢原子、不含烷氧基、环氧基、(甲基) 丙烯酰基的有机氢聚娃氧烧 0. 1?30质量份,
[0060]
[0061] (D)氢化硅烷化反应催化剂 催化剂量,
[0062] (E)粘接赋予剂 0?10质量份。
[0063] 上述的硅橡胶组合物中,(A)成分为由下述平均组成式(I)表示的聚合度为100以 上的有机聚硅氧烷。
[0064] R1aSiO(嫌(I)
[0065] (式中,R1表示相同或不同的未取代或取代的1价烃基,a为1. 95?2. 05的正 数。)
[0066] 上述平均组成式(I)中,R1表示相同或不同的未取代或取代的1价烃基,通常优选 碳原子数1?12、特别是碳原子数1?8的1价烃基,具体地,可列举甲基、乙基、丙基、丁基、 己基、半基等烧基,环戊基、环己基等环烧基,乙稀基、稀丙基、丙稀基等稀基,环稀基,苯基、 甲苯基等芳基,苄基、2-苯基乙基等芳烷基,或者这些基团的氢原子的一部分或全部被卤素 原子或氛基等取代而成的基团,优选甲基、乙稀基、苯基、二氣丙基,特别优选甲基、乙稀基。 再有,不含(甲基)丙烯酰基。
[0067] 具体地,该有机聚硅氧烷的主链由二甲基硅氧烷单元的重复组成的有机聚硅氧 烷,或者在构成该主链的二甲基硅氧烷单元的重复组成的二甲基聚硅氧烷结构的一部分中 导入了具有苯基、乙稀基、3, 3, 3-二氣丙基等的_苯基娃氧烧单兀、甲基苯基娃氧烧单兀、 甲基乙烯基硅氧烷单元、甲基-3, 3, 3-三氟丙基硅氧烷单元等而成的有机聚硅氧烷等适 合。
[0068] 特别地,有机聚硅氧烷优选在1分子中具有2个以上的烯基、环烯基等脂肪族不 饱和基团的有机聚硅氧烷,特别优选为乙烯基。这种情况下,优选全部R1中0. Ol?20摩 尔%、特别地〇. 02?10摩尔%为脂肪族不饱和基团。再有,该脂肪族不饱和基团可在分子 链末端与硅原子键合,也可与分子链的中途的硅原子键合,还可以与这两种硅原子键合,但 优选至少与分子链末端的硅原子键合。此外,a为1. 95?2. 05、优选地1. 98?2. 02、更优 选地1. 99?2. 01的正数。
[0069] (A)成分的有机聚硅氧烷,可优选列举分子链末端用三甲基甲硅烷氧基、二甲基苯 基甲娃烧氧基、-甲基轻基甲娃烧氧基、-甲基乙稀基甲娃烧氧基、甲基-乙稀基甲娃烧氧 基、二乙稀基甲娃烧氧基等二有机甲娃烧氧基封端的有机聚娃氧烧。
[0070] 作为特别优选的有机聚硅氧烷,可列举甲基乙烯基聚硅氧烷、甲基苯基乙烯基聚 娃氧烧、甲基二氣丙基乙稀基聚娃氧烧等。
[0071] 这样的有机聚硅氧烷,能够通过使例如有机卤代硅烷的1种或2种以上(共)水 解缩合,或者使用碱性或酸性的催化剂将环状聚硅氧烷(硅氧烷的3聚体、4聚体等)开环 聚合而得到。这些是基本上直链状的二有机聚硅氧烷,作为(A)成分,可以是分子量(聚合 度)、和/或分子结构不同的2种或3种以上的混合物。
[0072] 再有,上述有机聚硅氧烷的聚合度为100以上,优选为100?100, 000,特别优选为 3, 000?20, 000。再有,该聚合度能够作为采用凝胶渗透色谱(GPC)分析得到的聚苯乙烯 换算的重均聚合度而测定。
[0073] (B)成分的BET比表面积50m2/g以上的补强性二氧化硅是为了得到硫化前后的机 械强度优异的橡胶组合物而添加的。这种情况下,为了提高硅橡胶组合物的透明性,BET比 表面积优选为200m 2/g以上,更优选为250m2/g以上。如果BET比表面积不到200m2/g,有时 固化物的透明性差。再有,其上限没有特别限制,通常为500m 2/g以下。不过,对于背面面 板侧的粘合剂片材,不需要透明性的情况下,BET比表面积为50m2/g以上就足够了。
[0074] 作为这样的(B)成分的补强性二氧化硅,可列举热解二氧化硅(干式二氧化硅或 气相法二氧化硅)、沉淀二氧化硅(湿式二氧化硅)等。此外,将这些的表面用氯硅烷、烷氧 基硅烷、六甲基二硅氮烷等疏水化处理的产物也适合使用。特别地,采用六甲基二硅氮烷的 处理,透明性提高而优选。为了提高透明性,优选使用热解二氧化硅作为补强性二氧化硅。 补强性二氧化硅可1种单独使用,也可将2种以上并用。
[0075] 作为⑶成分的补强性二氧化娃,能够使用市售品,可列举例如7二口'130、 了 工口 夕卟 200、了 工口 y' 卟 300、了 工口'R-812、了 工口'R-972、了 工口'R-974 等7工口'系列(日本7工口'(株)制)、Cabosil MS-5、MS-7 (今V卜社制)、 b才口 ;一> QS-1〇2、i〇3、MT-10(卜々\ 7社制)等表面未处理或表面疏水化处理的 (即,亲水性或疏水性的)气相法二氧化硅,卜々;一>US-F(卜々\ 7社制)、NIPSIL-SS、 NIPSIL-LP(日本i U力(株)制)等表面未处理或表面疏水化处理的沉淀二氧化硅等。
[0076] (B)成分的补强性二氧化硅的配合量,相对于(A)成分的有机聚硅氧烷100质量 份,为10?150质量份,优选为30?120质量份,更优选为50?100质量份。(B)成分的 配合量过少的情况下,未获得硫化前后的补强效果,此外,有机硅粘合剂的固化后的透明性 降低。配合量过多的情况下,有可能二氧化硅在有机硅聚合物中的分散变得困难,同时向片 状的加工性变差。
[0077] 本发明的硅橡胶组合物的(C)成分的有机氢聚硅氧烷,在1分子中含有至少2个 与硅原子键合的氢原子(SiH基),能够适用下述平均组成式(II)所示的以往公知的有机氢 聚硅氧烷。
[0078] R2bHcSiO(4_b_c)/2 (II)
[0079] (式中,R2为碳原子数1?6的未取代或取代的一价烃基,优选地,不具有脂肪族 不饱和键。作为具体例,为甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基等烧基,环己基,环己稀基,苯 基等未取代的一价烃基,上述一价烃基的氢原子的至少一部分被卤素原子、氰基取代的取 代烷基等取代的一价烃基,如3, 3, 3-三氟丙基、氰基甲基等。应予说明,不含有烷氧基、环 氧基、(甲基)丙烯酰基。b用满足0. 7?2. 1,c用满足0. 01?1. 0,并且b+c满足0. 8? 3. 0的正数表示,优选地b用满足0. 8?2. 0, c用满足0. 2?1. 0,并且b+c满足I. 0?2. 5 的正数表示。)
[0080] 此外,有机氢聚硅氧烷的分子结构,可以是直链状、环状、分支状、三维网状的任何 结构。这种情况下,优选使用一分子中的硅原子的数(或聚合度)为2?300个、特别地 4?200个左右的室温下为液体的有机氢聚娃氧烧。再有,与娃原子键合的氢原子(SiH基) 可以位于分子链末端,也可以位于侧链,也可位于这两者,使用一分子中含有至少2个(通 常2?300个)、优选地3个以上(例如3?200个)、更优选地4?150个左右的SiH基 的有机氢聚硅氧烷。
[0081] 作为上述的(C)成分的有机氢聚硅氧烷,具体地,可列举1,1,3, 3-四甲基二硅氧 烷、1,3, 5, 7-四甲基环四硅氧烷、甲基氢环聚硅氧烷、甲基氢硅氧烷-二甲基硅氧烷环状 共聚物、二(-甲基氧甲娃烧氧基)甲基娃烧、二(-甲基氧甲娃烧氧基)苯基娃烧、两末 端三甲基甲硅烷氧基封端的甲基氢聚硅氧烷、两末端三甲基甲硅烷氧基封端的二甲基硅 氧烷-甲基氢硅氧烷共聚物、两末端二甲基氢甲硅烷氧基封端的二甲基聚硅氧烷、两末端 二甲基氢甲硅烷氧基封端的二甲基硅氧烷-甲基氢硅氧烷共聚物、两末端三甲基甲硅烷 氧基封端的甲基氢硅氧烷-二苯基硅氧烷共聚物、两末端三甲基甲硅烷氧基封端的甲基 氢硅氧烷-二苯基硅氧烷-二甲基硅氧烷共聚物、环状甲基氢聚硅氧烷、环状甲基氢硅氧 烷-二甲基硅氧烷共聚物、环状甲基氢硅氧烷-二苯基硅氧烷-二甲基硅氧烷共聚物、由 (CH 3)2HSi01/2单元和Si04/2单元组成的共聚物、由(CH 3)2HSiOv2单元和Si04/2单元和(C6H 5) Si03/2单元组成的共聚物等,上述各例示化合物中甲基的一部分或全部被乙基、丙基等其他 烷基、苯基等芳基替代的产物等。
[0082] 该有机氢聚娃氧烧的配合量,相对于(A)成分的有机聚娃氧烧100质量份,优选为 0. 1?30质量份,更优选为0. 1?10质量份,进一步优选为0. 3?10质量份。
[0083] 此外,该有机氢聚硅氧烷优选以下述量配合:(C)成分中的与硅原子键合的氢原 子(即,SiH基)与(A)成分中的与硅原子键合的烯基的摩尔比(以下称为SiH/SiVi的摩 尔比)成为0.5?15摩尔/摩尔、优选地3?12摩尔/摩尔、更优选地4?10摩尔/摩 尔。
[0084] (D)成分的氢化硅烷化反应催化剂能够应用公知的催化剂,可列举例如钼黑、氯化 钼、氯钼酸、氯钼酸与1元醇的反应物、氯钼酸与烯烃类的络合物、双乙酰乙酸钼等钼系催 化剂,钯系催化剂,铑系催化剂等。再有,该氢化硅烷化反应催化剂的配合量能够为催化剂 量,通常,换算为钼族金属质量,相对于(A)成分和(C)成分的合计,优选5?IOOppm的范 围。如果不到Ippm,加成反应无法充分地进行,有可能成为固化不足,添加超过1,OOOppm的 量不经济。
[0085] (E)成分是为了提高与太阳能电池面板、太阳能电池单元或者表面由氟树脂形成 的背板的粘接力而添加的,优选是包含烷氧基、环氧基、丙烯酰(甲基丙烯酰)基中的任1 种的1个以上的化合物,更优选除此以外还具有SiH基的化合物。(E)成分的添加量,相对 于⑷成分100质量份,优选为〇?10质量份,配合的情形下,为〇. 01?10质量份,优选 为0. 01?8质量份,更优选为0. 2?5质量份。
[0086] (E)成分具体地可例示下述所示的化合物。
[0087]

【权利要求】
1. 未硫化状态的太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材,其是将配置在分别具有刚性或 可挠性的受光面面板和背面面板之间的多个太阳能电池单元密封的有机硅粘合剂片材,特 征在于,固化后的有机娃粘合剂片材与受光面面板的根据JIS K6256的180度剥离粘接强 度为2. 5N/cm以上。
2. 权利要求1所述的有机硅粘合剂片材,其由硅橡胶组合物制成,该硅橡胶组合物含 有: (A) 由式(I)表示、聚合度为100以上的有机聚硅氧烷100质量份, d# (I) 式中,R1表示相同或不同的未取代或取代的1价烃基,a为1. 95?2. 05的正数, (B) 比表面积为50m2/g以上的补强性二氧化硅 10?150质量份, (C) 一分子中含有至少2个与硅原子键合的氢原子、不含烷氧基、环氧基、(甲基)丙烯 酰基的有机氢聚硅氧烷 0. 1?30质量份, (D) 氢化硅烷化反应催化剂 催化量, (E) 粘接赋予剂 0?10质量份。
3. 权利要求2所述的太阳能电池密封用有机硅粘合剂片材,其中,(E)成分的配合量相 对于(A)成分100质量份,为0. 01?10质量份,(E)成分含有1个以上的下述基团中的任 一种:烷氧基、环氧基、丙烯酰(甲基丙烯酰)基。
4. 权利要求1所述的有机硅粘合剂片材,其中,厚度为0. 3?2. 5_。
5. 权利要求1所述的有机硅粘合剂片材,其通过压延辊或挤出成型加工形成。
6. 有机硅密封太阳能电池模件的制造方法,该有机硅密封太阳能电池模件是用第1和 第2有机硅粘合剂片材的固化物密封太阳能电池而成,其特征在于,通过将受光面面板、权 利要求1?5的任一项所述的第1有机娃粘合剂片材、多个太阳能电池单兀、权利要求1? 5的任一项所述的第2有机硅粘合剂片材、背面面板层叠后,使用真空层压机在真空下加热 挤压,从而形成模件。
7. 采用权利要求6所述的制造方法得到的有机硅密封太阳能电池模件。
【文档编号】H01L31/048GK104419335SQ201410444214
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2014年9月3日 优先权日:2013年9月3日
【发明者】山川直树, 五十岚实, 柳沼笃, 降簱智欣, 大和田宽人, 塚田淳一, 伊藤厚雄 申请人:信越化学工业株式会社
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