QLED空穴注入层的制备方法、QLED及其制备方法与流程

文档序号:12474398阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种QLED空穴注入层的制备方法,包括以下步骤:提供一含有底电极的衬底;在所述衬底的底电极面沉积金属氧化物,得到金属氧化物薄膜;将沉积有金属氧化物薄膜的衬底置于可密闭的加热炉中,在还原气氛下进行退火处理,得到含氢化还原氧化物的空穴注入层,其中,所述还原气氛为惰性气体和含氢元素的还原气体组成的混合气体,且以所述混合气体的总体积为100%计,所述含氢元素的还原气体的体积百分比为0.5‑10%。

技术研发人员:王宇;曹蔚然;杨一行;钱磊
受保护的技术使用者:TCL集团股份有限公司
文档号码:201610814007
技术研发日:2016.09.09
技术公布日:2016.12.21

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