晶体管的制造方法与流程

文档序号:12598965阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶体管的制造方法,其特征在于,包含:

提供一基板,包含一绝缘层;

形成一疏水层于该绝缘层上;

转移一石墨烯层至该疏水层上,其中该转移的石墨烯层具有一第一载子迁移率;以及

转移该石墨烯层之后,执行一退火制程,其中该退火的石墨烯层具有一第二载子迁移率大于该第一载子迁移率。

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