一种准各向同性磁芯膜的制备方法与流程

文档序号:12128878阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种准各向同性磁芯膜的制备方法,包括以下步骤:

步骤1:将靶材A与靶材B装入溅射室内,将基片放置于基片架上,所述基片架与靶材水平面成α角;

步骤2:将基片架移动至靶材A的位置,采用溅射法在基片上溅射第一磁性薄膜层,然后将基片架移动至靶材B的位置,采用溅射法在第一磁性薄膜层上溅射绝缘层;

步骤3:将基片架移动至靶材A的位置,并且将基片架旋转180度,此时,基片架与靶材水平面的夹角仍然为α,采用溅射法形成第二磁性薄膜层,即可得到第一磁性薄膜/绝缘层/第二磁性薄膜的三明治结构;

步骤4:将基片架移动至靶材B的位置,采用溅射法形成隔离层;

步骤5:将基片架旋转90度,然后重复步骤2、步骤3的过程,即可得到下一个三明治结构;

步骤6:多次重复步骤2至步骤5的操作,即可得到多个三明治结构形成的三明治结构/隔离层/三明治结构的磁芯膜。

2.根据权利要求1所述的准各向同性磁芯膜的制备方法,其特征在于,步骤1所述靶材A为NiFe、FeCo、CoNb、FeCoHf、FeCoZr、FeCoAl、FeCoTi、FeCoTa、CoFeB、CoZrTa合金或者非晶金属靶材或者Fe、Co、NiFe、FeCo与SiO2、Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2组成的复合靶材,所述靶材B为SiO2、Al2O3、HfO2、ZrO2或TiO2绝缘靶材。

3.根据权利要求1所述的准各向同性磁芯膜的制备方法,其特征在于,步骤1所述α角可根据实际需求的各向异性场的大小进行调节,具体为10~55度。

4.根据权利要求1所述的准各向同性磁芯膜的制备方法,其特征在于,步骤2所述第一磁性薄膜为NiFe、FeCo、CoNb、FeCoHf、FeCoZr、FeCoAl、FeCoTi、FeCoTa、CoFeB、CoZrTa合金薄膜或者非晶金属薄膜或者Fe、Co、NiFe、FeCo与SiO2、Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、Ta2O5组成的复合薄膜,其厚度为100~300nm;步骤3所述第二磁性薄膜为NiFe、FeCo、CoNb、FeCoHf、FeCoZr、FeCoAl、FeCoTi、FeCoTa、CoFeB、CoZrTa合金薄膜或者非晶金属薄膜或者Fe、Co、NiFe、FeCo与SiO2、Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2组成的复合薄膜,其厚度为100~300nm。

5.根据权利要求1所述的准各向同性磁芯膜的制备方法,其特征在于,步骤2所述绝缘层为SiO2、Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2或Ta2O5,其厚度为1~10nm。

6.根据权利要求1所述的准各向同性磁芯膜的制备方法,其特征在于,步骤4所述隔离层为SiO2、Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、Ta2O5或Si3N4,其厚度为20nm以上。

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