耐压终端环结构与功率器件的制作方法

文档序号:12478659阅读:来源:国知局
技术总结
本申请提供了一种耐压终端环结构与功率器件。该耐压终端环结构包括衬底、多个场环、多个场板与介质膜,其中,多个场环间隔设置在衬底内且靠近第二表面设置,各场环的导电类型与衬底的导电类型相反,多个场环中包括至少一个耐压环与两个等位环,两个等位环沿远离耐压环的方向依次设置;场板与场环一一对应地设置,且各场板设置在各第一部分表面上,各耐压环对应的平行段向靠近第三表面的方向延伸,各等位环对应的平行段向远离第三表面的方向延伸;介质膜设置在第二部分表面以及部分第一部分表面上。包括该结构的功率器件的反向击穿电压较稳定,器件的可靠性更高。

技术研发人员:义夫;华国安
受保护的技术使用者:丽晶美能(北京)电子技术有限公司
文档号码:201611256021
技术研发日:2016.12.29
技术公布日:2017.05.31

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1