基板移送装置的制作方法

本发明涉及一种基板移送装置，其用于向竖直(垂直)方向移送基板。

背景技术：

通常，在制造平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板的工序中，会有移送如玻璃等脆性玻璃基板(以下称为“基板”)的过程。

为了向水平及竖直方向移送基板，会使用各种不同结构的基板移送装置。特别是，向竖直方向移送基板的装置需要向相反于重力方向的方向举起基板，需要具备滑动移动用于把持基板的把持单元的结构。作为滑动移动把持单元的结构可以适用于基板移送装置的结构，可以是使得滚珠螺杆竖直设置并且使得与把持单元连接的滚珠螺母随着滚珠螺杆移动的结构，或者，利用气压或液压将与把持单元连接的连接杆向竖直方向移动的结构。

在竖直设置滚珠螺杆，并沿着滚珠螺杆移动与把持单元连接的滚珠螺母的结构中，需要竖直立设滚珠螺杆，因此，为了设置基板移送装置需要确保预定的高度。

并且，如图1及图2所示，在利用驱动单元23向竖直方向移动与把持单元25连接的连接杆26的基板移送装置20中，容纳连接杆26的驱动单元23具有预定高度，因此，为了设置基板移送装置20需要确保高于从地面到驱动单元23的顶端为止的高度作业空间。

并且，还提出竖直设置可以分别执行如基板加工工序及基板切割工序等处理基板的多个工序的多个装置的方案。与水平设置多个装置的情况相比，多个装置竖直设置可以减少操作空间。多个装置竖直设置时，基板向竖直方向移动而传递至各个装置。为此，必须确保高于基板移送装置的高度的作业空间。但是，建筑物内的作业空间通常是限定的，在作业空间的高度限定的情况下，很难再加大作业空间的高度。因此，存在将装置竖直设置而减小作业空间的宽度的方案实际上很难实现的问题。

技术实现要素：

为了上述现有技术中的问题，本发明的目的在于提供一种基板移送装置，在确保基板的竖直移送距离的同时，减少基板移送装置的设置所需的空间的竖直高度。

为了达到上述目的，本发明提供一种基板移送装置，包括：支撑单元，其设置于支撑基板的装载台上部；第一移送单元，其被所述支撑单元支撑；连接单元，其与所述第一移送单元连接；第二移送单元，其与所述连接单元连接；及把持单元，其与所述第二移送单元连接并把持所述基板。

所述第二移送单元可移动地连接于所述连接单元。

所述第一移送单元包括被所述支撑单元所支撑并竖直延长的第一导向部及沿着所述第一导向部移动的第一移动部，所述第二移送单元包括被所述连接单元所支撑并竖直延长的第二导向部及沿着所述第二导向部移动的第二移动部。

所述连接单元与所述第二导向部之间设置有用于相对于所述连接单元竖直移动所述第二导向部的移动装置。

在所述第一移动部上升至最高高度、所述第二移动部上升至最高高度的状态下，所述第二导向部的上端位于与所述第一导向部的上端相同的位置，或者所述第二导向部的上端位于所述第一导向部的上端的下方位置。

第一移送单元能够使连接单元沿竖直方向移动，第二移送单元能够使把持单元沿竖直方向移动。

连接单元与第二移送单元的第二导向部可移动地连接。

连接单元与第一移送单元的第一移动部连接。

把持单元与第二移送单元的第二移动部连接。

连接单元与第二移送单元的第二导向部固定连接。

发明效果

本发明实施例中的基板移送装置，为了将基板竖直移动，竖直设置的第一移送单元及第二移送单元一同运行，与现有技术中的基板移动装置相比可以减少为最大上升把持单元所需的基板移送装置的最大高度。由此，可以减少基板移送装置的设置所需的空间的高度，从而可以增加基板移送装置的安装自由度。并且，易于实现竖直设置装置而减小作业空间的宽度的方案。

附图说明

图1及图2为概略表示现有技术中的基板移送装置的示意图。

图3为概略表示本发明第一实施例中的基板移送装置的示意图。

图4a-图4c为本发明第一实施例中的基板移送装置的运行顺序示意图。

图5为本发明第一实施例中的基板移送装置与现有技术中的基板移送装置的比较示意图。

图6为概略表示本发明第二实施例中的基板移送装置的示意图。

图7a-图7d为本发明第二实施例中基板移送装置的运行顺序示意图。

图8为本发明第二实施例中的基板移送装置与现有技术中的基板移送装置的比较示意图。

附图标记：

10：装载台200:基板移送装置

210：第一移送单元220：第二移送单元

230：支撑单元240：连接单元

250：把持单元270：移动装置

具体实施方式

以下，参照附图对本发明实施例中的基板移送装置进行说明。

如图3至图5所示，本发明第一实施例中的基板移送装置200包括：支撑单元230，其设置在支撑基板s的装载台10的上方；第一移送单元210，其被支撑单元230所支撑；连接单元240，其与第一移送单元210连接；第二移送单元220，其与连接单元240连接；把持单元250，其与第二移送单元220连接，用于把持基板s。

支撑单元230可以是水平方向延长的支撑杆形状。

第一移送单元210及第二移送单元220可竖直设置。第二移送单元220通过连接单元240与第一移送单元210连接。

第一移送单元210可向水平方向移动地设置于支撑单元230。即，第一移送单元210可沿着支撑单元230移动。为此，第一移送单元210与支撑单元230之间设置有驱动装置260，使得第一移送单元210沿着支撑单元230移动。驱动装置260可以是根据气压或液压运行的致动器、根据电磁相互作用运行的直线电机、或如滚珠螺杆装置等直线移动装置。

第一移送单元210将连接单元240及连接于连接单元240的第二移送单元220一同向竖直方向移动。第一移送单元210包括：被支撑单元230支撑并竖直延长的第一导向部211；沿着第一导向部211移动的第一移动部212。例如，第一移送单元210可以是致动器，此时第一导向部211可以为汽缸，第一移动部212可以是根据第一导向部211内的气压或液压沿着第一导向部211移动的连接杆。在这里，第一移动部212可以在竖直方向上较长地延长。另一例，第一移送单元210可以是滚珠螺杆装置，此时其第一导向部211可以是包括滚珠螺杆的导向部，第一移动部212包括与滚珠螺杆连接而与滚珠螺杆相互作用的滚珠螺母。另一例，第一移送单元210可以是一种移送装置，其第一导向部211竖直延长设置，第一移动部212从预定驱动源获得动力而沿着第一导向部211竖直移动。

另外，在图中示出了两个第一移送单元210在水平方向上设置的结构，但本发明并不受限于第一移送单元210的数量及设置方式。即，第一移送单元210的数量可以根据被第一移送单元210竖直移送的对象(即，第二移送单元220、把持单元250及基板s)的重量、大小、形状等来适当设定。

第二移送单元220使得把持单元250向竖直方向移动。第二移送单元220可以与第一移送单元210的运行同步或联动，或者与第一移送单元210的运行独立地运行。并且，第二移送单元220可以与第一移送单元210的运行一同运行。但是，为了便于说明，在图4a-图4c中图示了先运行第一移送单元210再运行第二移送单元220的过程，但本发明并不受限于第一移送单元210及第二移送单元220的运行顺序。即，第二移送单元220可以先于第一移送单元210运行。

第二移送单元220包括：第二导向部221，其被连接单元240支撑并竖直延长；第二移动部222，其沿着第二导向部221移动。例如，第二移送单元220可以是致动器，此时第二导向部221可以为汽缸，第二移动部222可以是根据第二导向部221内的气压或液压沿着第二导向部221移动的连接杆。在这里，第二移动部222可以在竖直方向上较长地延长。另一例，第二移送单元220可以是滚珠螺杆装置，此时其第二导向部221是包括滚珠螺杆的导向部，第二移动部222包括与滚珠螺杆连接而与滚珠螺杆相互作用的滚珠螺母。另一例，第二移送单元220可以是一种移送装置，其第二导向部221竖直延长设置，第二移动部222从预定驱动源获得动力而沿着第二导向部221竖直移动。

另外，在图中示出了一个第二移送单元220连接于两个第一移送单元210的结构，但本发明并不受限于第二移送单元220的数量及设置方式。即，第二移送单元220的数量可以根据被第二移送单元220竖直移送的对象(即，把持单元250及基板s)的重量、大小、形状等来适当设定。

并且，本发明实施例中提示了包括第一移送单元210及第二移送单元220的结构，例如，更多的移送单元可以竖直设置，多个移送单元之间设置有连接单元，使得多个移送单元可以互相连接。根据如上结构，为了竖直移动基板s，有多个移送单元一同运行，从而与现有技术中的基板移送装置20相比，可以降低基板移送装置200为了最高地上升把持单元250所需的最大高度h2。

连接单元240可以是连接第一移送单元210和第二移送单元220的块形状。

连接单元240可以与第一移送单元210的第一移动部212连接。并且，连接单元240可以与第二移送单元220的第二导向部221连接。由此，当第一移送单元210运行时，连接于连接单元240的第二移送单元220可以与连接单元240一同竖直升降。

把持单元250可以是包括夹具的结构，所述夹具在施压于基板s的两面的同时把持基板s，或者把持单元可以具有利用真空来吸附基板s一面的结构。

根据如上结构，如图4a-图4c所示，当第一移送单元210运行，第一移动部212就可以沿着第一导向部211升降。并且，随着第一移动部212的升降，连接单元240及第二移送单元220也会升降。

首先，如图4a及图4b所示，当第一移送单元210的第一移动部212沿着第一导向部211上升，则连接单元240及第二移送单元220也上升。由此，把持单元250及基板s也可以上升至预定高度。并且，如图4b及图4c，当第二移送单元220运行，第二移动部222沿着第二导向部221上升，则把持单元250及基板s可以进一步上升。由此，如图4c所示，通过随第一移送单元210的运行的第二移送单元220的上升及随第二移送单元220的运行的把持单元250的上升，基板s可以大幅上升。

在这里，第一导向部211及第二导向部221配置为在第一移动部212上升至最高高度、第二移动部222上升至最高高度的状态下，第二导向部221的上端e2位于与第一导向部211的上端e1相同的位置或者位于第一导向部211上端e1的下方位置。即，第一导向部211及第二导向部221配置为在基板s上升至最大高度的状态下，第二导向部221的上端e2位于与第一导向部211的上端e1相同的位置，或者位于第一导向部211上端e1的下方位置。为此，第二导向部221的长度可以第一导向部211的长度为基准设计。根据如上结构，在基板s上升至最大高度的状态下第二导向部221的上端e2不会超出第一导向部211上端e1的高度，因此，无需在增加基板移送装置200的设置高度。

如图5所示，为了升降基板s，第一移送单元210及第二移送单元220一同运行，从而当把持单元250上升至最高位置时基板移送装置200的最大高度h2，低于只有连接杆26上升至最大高度的现有技术中的基板移送装置20的最大高度h1。即，假设现有技术中的把持单元25的竖直移动高度h与把持单元250的竖直移动高度h相同时，本发明中第一移送单元210的最大高度h2低于现有技术中的驱动单元23的最大高度h1。

由此，根据本发明结构，可以减少设置基板移送装置200所需的空间的高度。

以下，参照图6至图8，对本发明第二实施例中的基板移送装置进行说明。与上述第一实施例中相同的部分将使用相同的幅图标记，并省略其详细说明。

如图6及图8所示，根据本发明第二实施例中的基板移送装置200，第二移送单元220可竖直移动地连接于连接单元240。为此，在连接单元240与第二导向部221之间设置有竖直移动第二导向部221的移动装置270。由此，随着移动装置270竖直移动第二导向部221，把持单元250可以相对于连接单元240竖直移动。

移动装置270可以是根据气压或液压云顶的致动器、电磁相互作用运行的直线电机、或如滚珠螺杆装置等直线移动装置。

并且，第二移送单元220被移动装置270升降的过程可以与第一移送单元210的运行同时执行，或者可以另行执行。但，为了便于说明，在图7a-图7d中图示了先运行第一移送单元210，在运行第二移送单元220后运行移动装置270的过程，但本发明并不受限于第一移送单元210、第二移送单元220及移动装置270的运行顺序。即，第一移送单元210、第二移送单元220及移动装置270可以同时运行，或移动装置270可以先于第一移送单元210或第二移送单元220运行。第一移送单元210、第二移送单元220及移动装置270可以相互同步或联动运行，或者相互独立地运行。

如图7a-图7d及图8所示，第二移送单元220可以相对于连接单元240升降，因此可以更准确自由地调整把持单元250的高度。并且，第二移送单元220可以相对于连接单元240升降，因此可以进一步增加把持单元250的竖直移动高度h。

根据如上结构，如图7a及图7b所示，第一移送单元210的第一移动部212沿着第一导向部211上升，则连接单元240及第二移送单元220上升。由此，把持单元250及基板s可以上升至预定高度。并且，如图7b及图7c所示，当第二移送单元220运行而第二移动部222沿着第二导向部221上升，则把持单元250及基板s可以进一步上升。并且，如图7c及图7d所示，移动装置270运行而第二移送单元220上升，则把持单元250及基板s可以再进一步上升。由此，如图7d所示，随着因第一移送单元210、第二移送单元220及移动装置270的运行的把持单元250的上升，基板s可以大幅度上升。

如本发明第一实施例，在第一移动部212上升至最高高度、第二移动部222上升至最高高度的状态下，第一导向部211及第二导向部221可以配置为第二导向部221的上端e2置于与第一导向部211上端e1的位置相同的位置，或位于第一导向部211上端e1下方的位置。由此，在基板s上升至最大高度的状态下，第二导向部221上端e2高度不会超出第一导向部211上端e1的高度，因此，基板移送装置200的设置高度不会进一步增加。

如图8所示，为了升降基板s，第一移送单元210、第二移送单元220、及移动装置270一同运行，因此，当把持单元250上升至最高位置时的基板移送装置200的最大高度h2低于只有连接杆26上升至最大高度的现有技术中的基板移送装置20的最大高度h1。即，假设现有技术中的把持单元25的竖直移动高度h与把持单元250的竖直移动高度h相同时，本发明的第一移送单元210的最大高度h2低于现有技术中的驱动单元23的最大高度h1。

因此，根据本发明结构，可以减少基板移送装置200的设置所需的空间高度。

如上所述的本发明实施例中的基板移送装置200，为了将基板s竖直移动，竖直设置的第一移送单元210及第二移送单元220一同运行，与现有技术中的基板移动装置20相比可以减少为最大上升把持单元250所需的基板移送装置200的最大高度h2。由此，可以减少基板移送装置200的设置所需的空间的高度，从而可以增加基板移送装置200的安装自由度。并且，易于实现竖直设置装置而减小作业空间的宽度的方案。

虽然示例说明了本发明的优选实施例，然而本发明的范围并不限于这样的特定实施例，可在权利要求书所记载的范围内进行适当变更。