基板卡盘的制作方法

本实用新型涉及一种基板卡盘，具体地说，涉及用于剥离被粘接支撑的基板的基板卡盘。

背景技术：

基板处理装置用于对基板进行基板的蚀刻及接合等处理。比如，将两个基板接合的基板处理装置包含用于稳定支撑基板的卡盘。这样的卡盘，根据不同方式可以有多个的种类，具体地说会使用利用静电的方式、利用真空吸附力的方式及利用粘接力的方式等。

在此，当使用静电卡盘或真空卡盘时，为了将基板剥离，阻断静电力或解除真空即可剥离，但是当使用利用粘接力的粘接卡盘时，需用从外部提供的物理力量。

另一方面，在利用粘接卡盘的基板处理装置中剥离基板的现有技术，已经由本申请人申请专利并在已公开的“韩国公开专利公报第2011-0038995号”有记载。

作为现有技术的上述“韩国公开专利公报第2011-0038995号”利用了随着气体的供给及排出而膨胀及收缩的弹性膜，以便将基板从粘接卡盘剥离。随着气体的供给，弹性膜膨胀并向基板提供接触按压力，从而使被粘接支撑于粘接卡盘的基板从粘接卡盘剥离。

但是，以往的弹性膜是单一地配置，并且由于弹性膜从中央区域开始膨胀，使得压力集中于中央区域，进而带来因与基板接触的弹性膜的中央区域而在基板上产生痕迹的问题。具体地说，比如在用于液晶显示装置(LCD， Liquid Crystal Display)的玻璃基板的硬质基板中，即使压力集中在弹性膜的中央区域，也不会在基板上形成痕迹，即使形成痕迹，也会因LCD的结构是内部填充液晶层的缘故，而不会造成很大的问题。相反，在由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET，polyethylene terephthalate)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN，polyethylene naphthalate)、聚碳酸酯(PC，polycarbonate)、聚醚砜(PES， polyethersulfone)、聚亚胺(PI，polyimid)、ActLit等合成树脂材料形成的用于有机发光二极管OLED(Organic Light emitting diode)的柔性基板上，会形成弹性膜的痕迹，并且由于OLED结构是基板位于其元件的正上方，所以在基板上留下的痕迹会造成降低产品品质的问题。

另外，在以往的技术中，当弹性膜从中央区域膨胀时，在剥离基板的过程中，基板会以弹性膜的凸出的顶点为轴而旋转，从而还存在降低工序效率的问题。

现有技术文献

韩国专利公开号第2011-0038995号

技术实现要素：

所要解决的技术问题

本实用新型目的在于，提供一种结构被改进的基板卡盘，以便在剥离基板时，可以阻止在如隔膜一样的弹性膜和基板之间产生的旋转运动力。

另外，本实用新型的其他目的是还提供一种结构被改进的基板卡盘，以便在剥离基板时，可以分散作用于基板上的压力。

解决技术问题的方案

为解决上述问题，提供一种基板卡盘，根据本实用新型所述基板卡盘包含：支撑部；粘接部，配置于所述支撑部并粘接支撑基板；剥离部，由所述支撑部支撑，可膨胀成环形，并借由与所述基板的接触，将所述基板从所述粘接部剥离。

还可以包含连接于所述剥离部的压力调节部，所述压力调节部调节提供到所述剥离部的压力，以便所述剥离部在形成与所述基板的板面平行的板面的相隔位置和与所述基板接触以便从所述粘接部剥离所述基板的剥离位置之间膨胀及收缩。

在此，从所述压力调节部提供到所述剥离部的压力可以包括流体压力。

所述剥离部可以具有借由从所述压力调节部提供的压力而膨胀成环形的弹性膜，在与所述基板接触的所述弹性膜的环形区域，可以形成有N个突出的凸点。

所述弹性膜在所述剥离位置可以具有以环形的截面与所述基板接触的剥离区域，在所述剥离区域，N个所述凸点可以以放射状突出形成。

以放射状突出形成的N个所述凸点可以在所述剥离位置与所述基板接触，从而提供从所述粘接部剥离所述基板的按压力。

所述剥离部还可以包含弹性膜支撑体，所述弹性膜支撑体被支撑于所述支撑部上并分别约束所述弹性膜的中央区域和边缘部，从而引导所述弹性膜在所述剥离位置和所述相隔位置之间改变形状成环形。

所述弹性膜可以包含：基部，由弹性材质的膜结构构成并可以改变形状成环形；柱部，从所述基部的中央区域突出并被所述弹性膜支撑体约束；侧墙部，从所述基部的边缘区域延伸并被所述弹性膜支撑体约束。

在所述基部，可以形成有剥离区域，所述剥离区域形成有N个所述凸点。

具有剥离区域的所述基部可以与所述压力调节部相互连通。

当所述基部在所述剥离位置形成环形的形状时，剥离区域的N个所述凸点在从所述粘接部剥离所述基板时，可以阻止所述基板的旋转运动。

所述压力调节部可以包含：多个连通管，贯通配置于所述弹性膜支撑体并形成提供到所述弹性膜的压力的流路；调节管，连接于所述连通管并形成从外部供给到所述连通管的压力的流路；缓冲腔，配置在所述连通管和所述调节管之间并将通过所述调节管供给及排出的压力分配到多个所述连通管。

所述压力调节部还可以包含：中央连通部，贯通形成于所述柱部；中央调节部，形成于所述弹性膜支撑体并与所述中央连通部连通；辅助调节部，连接于所述中央调节部，以调节连接于所述缓冲腔的所述调节管及所述中央连通部的内部压力；吸气部，连接于所述中央调节部，以形成大气压流入的流路。

所述缓冲腔可以根据所述连通管与所述调节管之间的压力变化，起到缓冲作用。

其他的实施例的具体事项包含在说明书及附图中。

有益效果

根据本实用新型的基板卡盘具有如下效果。

第一，由于在与基板接触并改变形状成环形的弹性膜的接触区域形成有突出形成的N个凸点，所以在将基板从粘接部剥离时，可以阻止相对于弹性膜的接触区域的基板的旋转运动，因此可以提升产品的工序效率。

第二，由于分散了为剥离基板而提供的压力，所以可以防止在弹性膜和基板的接触区域形成痕迹，因此可以提升产品的品质。

附图说明

图1是表示包含根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的基板处理装置的部分剖面图。

图2是表示图1所示的基板卡盘的剖面透视图。

图3是表示包含根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的基板处理装置的部分第一操作剖面图。

图4是表示包含根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的基板处理装置的部分第二操作剖面图。

图5是表示根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有 N个凸点的第一平面图。

图6是表示根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有 N个凸点的第二平面图。

图7是表示根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有 N个凸点的第三平面图。

图8是表示包含根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的基板处理装置的部分剖面图。

图9是表示图8所示的基板卡盘的剖面透视图。

图10是表示包含根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的基板处理装置的第一操作剖面图。

图11是表示包含根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的基板处理装置的第二操作剖面图。

图12是表示根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有 N个凸点的第一平面图。

图13是表示根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有 N个凸点的第二平面图。

图14是表示根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有N个凸点的第三平面图。

图15是表示关于根据本实用新型的实施例的基板卡盘的剥离方法的流程图。

附图标记

10：基板卡盘 100：支撑部

300：粘接部 500：剥离部

520：弹性膜支撑体 540：弹性膜

542：基部 544：柱部

546：侧墙部 700：压力调节部

E：剥离区域 P：凸点

具体实施方式

以下，将参考附图对根据本实用新型的实施例的基板卡盘进行详细的说明。

在进行说明之前声明，根据本实用新型的实施例的基板卡盘是包含在基板处理装置的构成要素。并且声明，从根据本实用新型的实施例的基板卡盘剥离的基板可以将LCD工序用基板及OLED工序用基板都包含在内。

另外，在此声明，在根据本实用新型的第一及第二实施例的基板处理装置中，对于同样的构成要素使用了同样的符号来记载。

<第一实施例>

图1是表示包含根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的基板处理装置的部分剖面图，图2是表示图1所示的基板卡盘的剖面透视图，图3是表示包含根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的基板处理装置的部分第一操作剖面图，而图4是表示包含根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的基板处理装置的部分第二操作剖面图。

如图1至图4所示，基板处理装置1包含定盘3、密封部件5及根据本实用新型的实施例的基板卡盘10。

定盘3构成为支撑基板S及基板卡盘10。密封部件5被配置，以便维持定盘3和基板卡盘10之间的气密，更加详细地说明的话，是用于维持配置于将在后面说明的弹性膜支撑体520和定盘3之间的缓冲腔750的气密。

根据本实用新型的第一实施例的的基板卡盘10包含支撑部100、粘接部 300及剥离部500。另外，根据本实用新型的第一实施例的的基板卡盘10还包含压力调节部700。

支撑部100设置在面向基板S的定盘3的一面。支撑部100形成有暴露在定盘3的一面并用于支撑基板S的支撑面。支撑部100形成有用于支撑剥离部500的设置区域。这样的设置区域具有像台阶一样的凸台，从而可以阻止剥离部500向重力方向脱离，并坚固地支撑剥离部500。

粘接部300配置在支撑部100的支撑面上以粘接支撑基板S。由于粘接部 300使用于多种多样的基板处理装置1且为已公开的技术，所以以下将省略对此的说明。

以下，图5是表示根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有N个凸点的第一平面图，图6是表示根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有N个凸点的第二平面图，图7是表示根据本实用新型的第一实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有N个凸点的第三平面图。

剥离部500由支撑部100支撑，并且根据供给及排出的压力，与基板S 接触并将基板S从粘接部300剥离。作为本实用新型的一个实施例，剥离部 500包含弹性膜支撑体520及弹性膜540。

弹性膜支撑体520被支撑于支撑部100上并分别约束弹性膜540的中央区域和边缘区域。弹性膜支撑体520支撑弹性膜540，以便弹性膜540在形成与基板S的板面平行的板面的相隔位置和与基板S接触以便将基板S从粘接部300剥离的剥离位置之间改变形状。

弹性膜540膨胀成环形，并通过与基板S接触将基板S从粘接部300剥离。即，如图4所示，弹性膜540借由从压力调节部700供给的压力而膨胀，并改变形状成环形。弹性膜540在剥离位置膨胀成环形，并从剥离位置向相隔位置收缩。弹性膜540在剥离位置形成与基板S以环形的剖面接触的剥离区域E。在剥离区域E，N个凸点P以放射状突出形成。作为本实用新型的一个实施例，弹性膜540包含基部542、柱部544及侧墙部546。

基部542构成为弹性材质的膜结构。基部542包含根据由压力调节部700 所调节的压力而膨胀及收缩并将基板S从粘接部300剥离的剥离区域E及以放射状突出形成的N个凸点P。即，基部542借由从压力调节部700供给的压力而膨胀成环形，膨胀成环形的基部542成为剥离区域E。

剥离区域E是与压力调节部700连通，以便从压力调节部700得到压力的供给或供给到的压力被解除的区域。弹性膜540的柱部544和侧墙部546 由弹性膜支撑体520约束，基部542根据压力的调节而膨胀及收缩。剥离区域E是随着柱部544和侧墙部546被弹性膜支撑体520约束，而在供给压力时膨胀并改变形状成环形的区域。借着从压力调节部700所提供的压力，在基部542形成环形的剥离区域E，而环形的剥离区域E分散地向基板S提供按压力，从而在将基板S从粘接部300S剥离时，具有不形成痕迹的优点。

另一方面，在与基板S直接接触的剥离区域E，形成有N个凸点P。N 个凸点P在剥离区域E以放射状突出形成。即，剥离区域E和基板S接触时，实质上是以放射状突出形成的N个凸点P与基板S接触，从而可以减少可能发生于基板S和剥离区域E之间的基板S的旋转运动力。

详细地说，环形的剥离区域E在与基板S剥离时不会形成痕迹，但是在没有配置N个凸点P的时候，因面接触而会容许基板S的旋转运动。相反，形成于剥离区域E的N个凸点P不仅不会在与基板S剥离时形成痕迹，还会分别与基板S的板面形成点接触，从而阻止基板S旋转运动。

另一方面，如图6及图7所示，以放射状突出形成于剥离区域E的N个凸点P可以具有各种形状。即，本实用新型的第二及第三平面图的N个凸点 P，其在剥离区域E以一定间隔沿圆周方向配置的数量可以不同。当然，N个凸点P的配置形状也可以不同，可以不被此限定并配置成多种多样的凸点P。

柱部544从基部542的中央区域突出并被弹性膜支撑体520约束。侧墙部546从基部542的边缘区域延伸并被弹性膜支撑体520约束。随着这样的柱部544和侧墙部546被弹性膜支撑体520约束，在板状的基部542形成环形的剥离区域E。

压力调节部700与剥离部500连接，并调节提供到剥离部500的压力，以便使剥离部500可以在形成与基板S的板面平行的板面的相隔位置和与基板S接触以便将基板S从粘接部300剥离的剥离位置之间膨胀及收缩。详细地说，压力调节部700调节弹性膜540内部的压力。为了调节弹性膜540内部的压力，压力调节部700使用流体压力。作为本实用新型的一个实施例，压力调节部700使用气体来调节弹性膜540内部的压力。更具体地说，为了剥离被支撑于粘接部300的基板S，压力调节部700向弹性膜540内部供给气体并使弹性膜540相对于支撑部100的支撑面向外侧突出。为了使基板S被粘接支撑于粘接部300，压力调节部700吸入弹性膜540内部的气体并使弹性膜540位于支撑部100的支撑面内侧。本实用新型的压力调节部700包含连通管710、调节管730及缓冲腔750。

连通管710贯通弹性膜支撑体520并配置于弹性膜540的中央部和边缘部之间。连通管710以与形成剥离区域E的基部542连通的方式配置有多个。调节管730连接于连通管710并形成从外部供给压力即气体的供给路及从弹性膜540将气体排出的排气路。在此，调节管730和连通管710之间形成有缓冲腔750。缓冲腔750使通过调节管730供给及排出的气体分配到连通管 710，并且起到可以缓冲通过连通管710带来的随着弹性膜540内部压力巨变而形成的冲击的作用。

<第二实施例>

图8是表示包含根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的基板处理装置的部分剖面图，图9是表示图8所示的基板卡盘的剖面透视图，图10是表示包含根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的基板处理装置的第一操作剖面图，而图11是表示包含根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的基板处理装置的第二操作剖面图。

如图8至图11所示，根据本实用新型的第二实施例的基板处理装置1包含定盘3、密封部件5及基板卡盘10。在此，由于定盘3及密封部件5与本实用新型的第一实施例的定盘3及密封部件5相同，所以省略具体的说明。

根据本实用新型的第二实施例的的基板卡盘10包含支撑部100、粘接部 300及剥离部500。另外，根据本实用新型的第二实施例的的基板卡盘还包含压力调节部700。

由于支撑部100及粘接部300与上述的本实用新型的第一实施例的支撑部100及粘接部300为同样的构成，所以在此省略具体的说明。

以下，图12是表示根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有N个凸点的第一平面图，图13是表示根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有N个凸点的第二平面图，图14是表示根据本实用新型的第二实施例的基板卡盘的弹性膜和配置有N个凸点的第三平面图。

剥离部500由支撑部100支撑，并且根据供给及排出的压力，与基板S 接触并将基板S从粘接部300剥离。作为本实用新型的一个实施例，剥离部 500包含弹性膜支撑体520及弹性膜540。

弹性膜支撑体520被支撑于支撑部100上并分别约束弹性膜540的中央区域和边缘区域。弹性膜支撑体520支撑弹性膜540，以便弹性膜540在形成与基板S的板面平行的板面的相隔位置和与基板S接触以便将基板S从粘接部300剥离的剥离位置之间改变形状。

弹性膜540膨胀成环形，并通过与基板S接触将基板S从粘接部300剥离。即，弹性膜540借由从压力调节部700供给的压力而膨胀，并改变形状成环形。弹性膜540借由供给及排出的压力，在剥离位置膨胀成环形，并从剥离位置向相隔位置收缩。弹性膜540在剥离位置形成与基板S以环形的剖面接触的剥离区域E。在剥离区域E，N个凸点P以放射状突出形成。作为本实用新型的一个实施例，弹性膜540包含基部542、柱部544及侧墙部546。

基部542及侧墙部546与本实用新型的第一实施例相同。但是与本实用新型的第一实施例的柱部544不同，本实用新型的第二实施例的柱部544的内部为中空。即，因将在后面说明的压力调节部700的中央连通部760的存在，柱部544的内部形成中空。本实用新型的第二实施例的柱部544与侧墙部546一样，被支撑在弹性膜支撑体520上。

剥离区域E是与压力调节部700连通，以便从压力调节部700得到压力的供给或供给到的压力被解除的区域。剥离区域E是随着柱部544和侧墙部 546被弹性膜支撑体520约束，而在供给压力时膨胀并改变形状成环形的区域。剥离区域E执行与在本实用新型的第一实施例中说明的剥离区域E相同的功能。

另一方面，如图12至图14所示，以放射状突出形成于剥离区域E的N 个凸点P可以具有各种形状。在此，与图5至图7的本实用新型的第一实施例的弹性膜540不同，本实用新型的第二实施例的弹性膜540的中央区域形成中空。即，本实用新型的第二实施例的弹性膜540的中央区域形成有中央连通部760。

压力调节部700与剥离部500连接，并调节提供到剥离部500的压力，以便使剥离部500可以在形成与基板S的板面平行的板面的相隔位置和与基板S接触以便将基板S从粘接部300剥离的剥离位置之间膨胀及收缩。压力调节部700包含连通管710、调节管730及缓冲腔750。并且，本实用新型的第二实施例的压力调节部700还包含中央连通部760、中央调节部770，辅助调节部780及吸气部790。在此，由于连通管710、调节管730及缓冲腔750 与本实用新型的第一实施例相同，所以省略对其的说明。

中央连通部760贯通形成于柱部544。中央调节部770形成于弹性膜支撑体520并与中央连通部760连通。另外，辅助调节部780连接于中央调节部 770以调节连接于缓冲腔750的调节管730及中央连通部760的内部压力。吸气部790连接于中央调节部770并形成大气压流入的流路。

在此说明的是中央调节部770与辅助调节部780连接，当气体由调节管 730向基板S和弹性膜540之间供给时，会解除基板S和弹性膜540之间的真空。作为其他的实施例，如果在剥离基板S时，吸气部790会引入大气压的话，辅助调节部780的构成可以省略。

最后，图15是表示关于根据本实用新型的实施例的基板卡盘的剥离方法的流程图。

首先，当加载基板S，以便使基板S支撑在定盘3上时，压力调节部700 会使弹性膜540的内部压力变成负压。即，压力调节部700会吸入弹性膜540 内部的气体。当基板S由于定盘3的升降驱动或基板S的升降驱动而接触到粘接部300时，基板S会被粘接支撑于粘接部300。

如此，当基板被支撑于粘接部300上时，为了对基板S进行如基板S的接合的工序处理或卸载处理完的基板S，剥离部500会将被粘接支撑于粘接部 300的基板S从粘接面剥离。

利用压力调节部700向剥离部500供给压力(S10)。在本实用新型的第一实施例中，当通过调节管730从外部供给压力即气体后，被引入到缓冲腔 750的气体通过多个连通管710被供给到剥离部500。而在本实用新型的第二实施例中，通过调节管730流入的气体及通过中央调节部770供给到中央连通部760的气体使弹性膜540膨胀成环形，并且可以解除可能形成于基板S 和接触面之间的真空压。

如此，如上述的本实用新型的第一及第二实施例，借由供给到弹性膜540 内部的气体，弹性膜540内部的压力上升，弹性膜540以环形膨胀并与基板S 接触S30。

在S30阶段，借由弹性膜540的环形膨胀，基板S从粘接部300剥离(S50)。在此，本实用新型的第一及第二实施例的弹性膜540的剥离区域E形成有N 个凸点。以环形膨胀的弹性膜540和以放射状突出形成的N个凸点P不仅可以将压力分散以防止在基板S上留下痕迹，还可以在粘接部300和基板S剥离时，防止基板S相对地旋转。

如此，由于形成有在与基板接触并改变形状成环形的弹性膜的接触区域上突出形成的N个凸点，所以在将基板从粘接部剥离时，可以阻止相对于弹性膜的接触区域的基板的旋转运动，因此可以提升产品的工序效率。

另外，由于分散了为剥离基板而提供的压力，所以可以防止在弹性膜和基板的接触区域形成痕迹，因此可以提升产品的品质。

以上参照附图对本实用新型的实施例进行了说明，但拥有本实用新型所属技术领域的常识的技术人员应该理解，本实用新型可以在不改变其技术思路和必备特征的前提下，以其他具体的形式实施。因此应该理解，以上记述的实施例在所有的方面都是示例性的，而非限定性的。本实用新型的范围将在权利要求书中得以体现，而非上述的说明，并且由权利要求中的意义及范围并从与之均等的概念得出的所有变更或是变形的形态，都应解释为属于本实用新型的范畴。