一种用于集成电路制造的电镀槽结构的制作方法

本实用新型涉及集成电路制造相关设备技术领域，具体为一种用于集成电路制造的电镀槽结构。

背景技术：

电镀槽是电镀设备中最基础的设备，主要功能是装置溶液。镀槽的使用方式有按手工操作的工艺流程生产线直线排列，也有因地制宜的根据现场空间分开镀种排列，如果是机械自动生产线，则基本上是按工艺流程排列的。槽子主要构件包括槽体、溶液加热及冷却装置、导电装置和搅拌装置等，槽体有时直接盛装溶液如热水槽等,有时作衬里的基体或骨架如钢槽的基本要求是不渗漏和具有一定的刚度与强度，以免由于槽体变形过大造成衬里层的破坏，钢槽底面应离地面10mm-12mm，以防腐蚀严重，电镀过程中搅拌装置不仅能加快电镀速度，而且使得电镀更加均匀，但是现有的电解槽使用电机作为驱动，一般朝向同一旋转方向不停搅拌电镀液，无法确保电镀的均匀度，同时搅拌装置并不需要在整个电镀过程中使用，现有的搅拌装置在拆卸和维修时都十分不便，鉴于此，我们提出一种用于集成电路制造的电镀槽结构。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于集成电路制造的电镀槽结构，以解决上述背景技术中提出的电镀槽内搅拌装置不便于安装和搅拌不均匀的问题问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于集成电路制造的电镀槽结构，包括槽体，所述槽体两侧均紧密焊接有支架，所述支架上安装有气缸，每个所述气缸的输出端均设有固定块，每个所述固定块上设有螺栓，且所述固定块通过所述螺栓与所述气缸的输出端螺纹连接，每个所述固定块的一侧均设有连接杆，所述连接杆远离所述固定块的一端设有螺纹套筒，所述螺纹套筒内设有螺旋装置；

所述螺旋装置包括顶盖、螺杆和卡接座，所述螺杆的顶面设有螺孔，且所述顶盖通过所述螺孔与所述螺杆螺纹连接，所述螺杆的底端设有卡接块，所述卡接块与所述螺杆的底端紧密焊接，所述卡接块上套设有限位盖，且所述螺杆通过所述限位盖与所述卡接座螺纹连接，位于所述卡接座的中心位置处设有卡槽，所述卡接座的底部紧密焊接有搅拌桨。

优选的，所述搅拌桨两侧紧密焊接有若干桨叶，所述搅拌桨的底部设有轴承，且所述轴承与所述槽体的底壁紧密焊接。

优选的，所述螺纹套筒通过所述螺杆与所述螺旋装置螺纹连接。

优选的，每个所述连接杆均呈15-30度角向上倾斜设置，所述连接杆的一端与所述固定块紧密焊接，所述连接杆的另一端与所述螺纹套筒紧密焊接。

优选的，所述卡接块与所述卡槽的尺寸相适配，且所述卡接座通过所述卡槽与所述卡接块卡接配合。

优选的，所述槽体的上表面设有进液口，所述槽体底部两侧均设有排液口，且所述进液口和所述排液口均贯穿所述槽体的内壁与外界连通。

优选的，所述桨叶设有2-4个，且呈环形等间距排列。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

该用于集成电路制造的电镀槽结构通过螺旋装置和螺纹套筒配合实现壳体内液体的搅拌，使用螺旋装置时，只需将螺杆底部的卡接块与卡接座上的卡槽对齐后旋紧限位盖，再将气缸输出端上的固定块与连接杆通过螺栓旋紧，气缸工作时，气缸上下伸缩的同时能带动连接杆末端的螺纹套筒在螺杆上活塞运动，使得螺杆不停的正反旋转，搅拌槽体内的电镀液，螺杆带动槽体内的搅拌桨不断翻转，使得搅拌更加均匀，旋转装置与槽体内的搅拌桨是分离设置的，便于安装和拆卸，结构巧妙，使用方便，解决电镀槽内搅拌装置不便于安装和搅拌不均匀的问题。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的整体结构剖视图；

图3为本实用新型中螺旋装置的结构示意图；

图4为本实用新型中螺纹套筒的结构示意图。

图中：1、槽体；11、支架；12、进液口；13、排液口；2、气缸；21、固定块；211、螺栓；22、连接杆；23、螺纹套筒；3、螺旋装置；31、顶盖；32、螺杆；321、螺孔；322、卡接块；323、限位盖；33、卡接座；331、卡槽；4、搅拌桨；41、桨叶；42、轴承。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

一种用于集成电路制造的电镀槽结构，如图1、图2和图4所示，包括槽体1，槽体1两侧均紧密焊接有支架11，支架11上安装有气缸2，每个气缸2的输出端均设有固定块21，每个固定块21上设有螺栓211，且固定块21通过螺栓211与气缸2的输出端螺纹连接，每个固定块21的一侧均设有连接杆22，连接杆22远离固定块21的一端设有螺纹套筒23，螺纹套筒23内设有螺旋装置3。

本实施例中，槽体1整体采用不锈钢材质，该材质具有良好的耐磨和耐腐蚀性，且便于清洁，质量较轻，便于搬运。

进一步的，气缸2的型号为MAL32X500，该型号气缸具有输出稳定，行程较长，且成本较低等优点。

除此之外，每个连接杆22均呈15-30度角向上倾斜设置，实施例中的连接杆22优选为向上23度倾斜，延长螺纹套筒23的行程距离，连接杆22的一端与固定块21紧密焊接，连接杆22的另一端与螺纹套筒23紧密焊接，提高装置的稳固性。

如图2和图3所示，螺旋装置3包括顶盖31、螺杆32和卡接座33，螺杆32的顶面设有螺孔321，且顶盖31通过螺孔321与螺杆32螺纹连接，螺杆32的底端设有卡接块322，卡接块322与螺杆32的底端紧密焊接，卡接块322上套设有限位盖323，且螺杆32通过限位盖323与卡接座33螺纹连接，位于卡接座33的中心位置处设有卡槽331，卡接座33的底部紧密焊接有搅拌桨4。

本实施例中，螺旋装置3整体采用钢质材料制成，该材料具有良好的刚性和韧性，且使用寿命较长。

值得说明的是，螺纹套筒23通过螺杆32与螺旋装置3螺纹连接，使得气缸2活塞运动，带动螺杆32正反转，提高搅拌的均匀度。

进一步的，卡接块322与卡槽331的尺寸相适配，且卡接座33通过卡槽331与卡接块322卡接配合，并与将搅拌装置3与搅拌桨4固定连接，使其带动搅拌桨4转动。

如图2所示，搅拌桨4两侧紧密焊接有若干桨叶41，搅拌桨4的底部设有轴承42，且轴承42与槽体1的底壁紧密焊接。

值得说明的是，桨叶41设有2-4个，且呈环形等间距排列本实施例中的桨叶41优选为2个，使得搅拌更加均匀。

如图1和图2所示，槽体1的上表面设有进液口12，槽体1底部两侧均设有排液口13，且进液口12和排液口13均贯穿槽体1的内壁与外界连通。

本实施例中，进液口12和排液口13的直径优选为15cm，便于输液和排液，提高工作效率。

本实施例的用于集成电路制造的电镀槽结构在使用时，通过螺旋装置3和螺纹套筒23配合实现壳体1内液体的搅拌，具体为：将电解液从进液口12灌入，使用螺旋装置3时，只需将螺杆32底部的卡接块322与卡接座33上的卡槽331对齐后旋紧限位盖323，再将气缸2输出端上的固定块21与连接杆通过螺栓211旋紧，连接气缸2与外界电源连接而成的闭合回路，使其工作，气缸2上下伸缩的同时能带动连接杆22末端的螺纹套筒23在螺杆32上活塞运动，使得螺杆32不停的正反旋转，搅拌槽体1内的电镀液，螺杆32带动槽体1内的搅拌桨4不断翻转，使得搅拌更加均匀，同时旋转装置3与槽体1内的搅拌桨4是分离设置的，便于安装和拆卸，结构巧妙，使用方便，解决电镀槽内搅拌装置不便于安装和搅拌不均匀的问题，便于普及和推广。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。