显示装置的阵列基板的返工方法和通过其形成的阵列基板的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种用于显示装置的阵列基板的返工（rework)方法和一种由该返工 方法所形成的阵列基板。特别地，本发明涉及一种阵列基板的返工方法，其能够防止在返工 工艺时由于阵列基板的缺陷而损坏用于互连公共电极层（Vcom ΙΤ0)和非有效区域的公共 电极（Vcom)金属线的跳接（jumping)钝化孔（PAS孔）区域中的公共电极层。
【背景技术】
[0002] 随着信息社会的发展，对显示图像的显示装置的各种类型的要求在提高。近来，诸 如液晶显示器（LCD)、等离子体显示面板（PDP)以及有机发光二极管显示装置（OLED)的各 种显示装置正被使用。
[0003] 在那些显示装置之中，液晶显示器（LCD)装置包括：阵列基板，该阵列基板包括作 为用于控制每个像素区域的开/关的开关装置的薄膜晶体管；上基板，该上基板包括滤色 器和/或黑矩阵；显示面板，该显示面板包括形成在阵列基板与上基板之间的液晶层；以及 驱动单元，该驱动单元用于控制薄膜晶体管。在LCD装置中，根据在像素区域处设置的像素 (PXL)电极和公共电压（Vcom)电极之间施加的电场来控制液晶层的配向，以便调整光的透 射比并且从而形成图像。
[0004] 在阵列基板中，定义了包括一个或多个像素的有效区域（AA)和非有效区域（NA)。 此外，多条选通线（GL)和多条数据线（DL)彼此交叉以在阵列基板（其通常被称作下基板） 的有效区域AA的内表面上定义像素（P)，并且在选通线与数据线之间的每个交叉部被设置 有薄膜晶体管T，其与每个像素 P中的透明像素电极（未示出）具有一一对应的关系并且被 连接到每个像素 P中的透明像素电极（未示出）。
[0005] 在阵列基板上，多个层（诸如栅金属层、半导体层、源/漏金属层、像素电极层以及 公共电极层）被形成以创建如上面所描述的这样的薄膜晶体管和电线，并且可以在每个层 之间形成中间层绝缘层和保护层。
[0006] 同时，存在扭曲向列（TN)方案，其中液晶被注入在彼此分离的其上形成有像素电 极的阵列基板和其上形成有公共电压电极的上基板之间，并且在与基板垂直的方向上驱动 处于向列相的液晶分子。然而，如上面所描述的扭曲向列方案的液晶显示装置的缺陷在于 它具有约90度的窄视角。
[0007] 在这点上，存在在与基板平行的方向上驱动液晶分子以从而将视角提高至170度 或更大的面内切换（IPS)型液晶显示装置。IPS型液晶显示装置基本上包括同时地形成于 下基板或阵列基板上的像素电极和公共电压电极。然而，存在两种类型的IPS型液晶显示 装置，包括其中像素电极和公共电压电极两者都形成于相同层上的一个类型以及边缘场切 换（FFS)类型，在FFS类型中，两个电极被形成为在它们之间有一个或多个绝缘层的情况下 水平地与彼此间隔开并且电极中的一个具有手指的形状。
[0008] 此外，可以在在阵列基板的有效区域（AA)外的非有效区域（NA)的一部分上形成 用于连接到布置在基板的内部或外部处的驱动单元的连接垫、用于施加参考电压和参考信 号的信号施加垫以及用于测量的各种垫。
[0009] 同时，在阵列基板的非有效区域上形成用于施加公共电压（Vcom)的公共电压金 属线，并且这个公共电压金属线应该被连接到布置在有效区域中的公共电极。
[0010] 如上面所描述的，形成了用于电互连非显示区域的公共电压金属线和公共电极层 的跳接钝化孔（PAS孔），并且公共电极和像素电极在跳接钝化孔区域中与彼此接触并且堆 叠于彼此上。
[0011] 同时，当在作为阵列基板的最高电极层的像素电极层中发生缺陷时，返工工艺被 执行以去除并且然后重建像素电极层，即最高电极层。在返工工艺中，可以同时地去除如上 面所描述的跳接钝化孔中的公共电极和像素电极以在经重建的（返工的）像素电极层与公 共电极层之间引起接触故障。
【发明内容】
[0012] 本发明的一个方面在于提供阵列基板返工方法和由该返工方法形成的阵列基板， 其能够在其中跳接像素电极图案是最高层的用于显示装置的阵列基板中在其返工工艺中 防止在跳接像素电极图案中发生缺陷。
[0013] 本发明的另一方面在于提供阵列基板返工方法和由该返工方法形成的阵列基板， 其能够在用于电互连形成在显示面板的非有效区域处的公共电压金属线和公共电极层的 跳接钝化孔区域中在返工工艺期间防止跳接像素电极图案和公共电极层的去除，以便最小 化由于跳接像素电极图案返工工艺而导致的故障。
[0014] 本发明的另一方面在于提供阵列基板返工方法和由该返工方法形成的阵列基板， 其在返工跳接像素电极图案（阵列基板的最高层）的工艺中使用具有与跳接钝化孔区域相 对应的光阻挡图案的返工掩模，使得能够在返工工艺之后维持在跳接钝化孔区域中的跳接 像素电极图案与公共电极层之间的电接触。
[0015] 根据本发明的实施方式，可以在其中跳接像素电极图案被形成为最高层的用于显 示装置的阵列基板中在其返工工艺中防止在跳接像素电极图案中发生缺陷。
[0016] 更具体地，可以在阵列基板的最高跳接像素电极图案的返工工艺期间防止用于电 互连公共电极层和形成在显示面板的非有效区域处的公共电压金属线的跳接钝化孔区域 的跳接像素电极图案和公共电极层的去除，以便最小化由于返工工艺而导致的故障。
[0017] 进一步地，本发明的实施方式在返工跳接像素电极图案（阵列基板的最高层）的 工艺中采用具有与跳接钝化孔区域相对应的光阻挡图案的返工掩模，使得能够在返工工艺 之后维持在跳接钝化孔区域中的跳接像素电极图案与公共电极层之间的电接触。
【附图说明】
[0018] 本发明的上述和其它目的、特征以及优点从结合附图进行的以下详细描述将是更 显而易见的，在附图中：
[0019] 图1的㈧和⑶例示了根据本发明的实施方式的显示面板的阵列基板，其中，图 1的（A)是阵列基板的平面图并且图1的（B)是阵列基板的截面图；
[0020] 图2的（A)和（B)是使用七个掩模的7掩模基板制造工艺的流程图和由该工艺所 形成的阵列基板的一部分的截面图；
[0021] 图3的（A)和（B)是使用六个掩模的6掩模基板制造工艺的流程图和由该工艺所 形成的阵列基板的一部分的截面图；
[0022] 图4是图1的（A)中的左圆圈部分的放大截面图，其例示了由栅金属层所形成的 公共电压金属线和透明公共电极（Vcom ΙΤ0)的跳接结构；
[0023] 图5的㈧和⑶是图1的㈧中的右圆圈部分的放大截面图，其例示了由数据 金属层或源/漏金属层所形成的公共电压金属线和透明公共电极层（Vcom ΙΤ0)的跳接结 构；
[0024] 图6的㈧至（C)是在本发明的实施方式能够被应用于的像素电极返工工艺中的 阵列基板的截面图；
[0025] 图7是例示了根据本发明的实施方式的返工方法的流程图；
[0026] 图8的（A)和（B)例示了在本发明的实施方式中使用的返工掩模的示例；
[0027] 图9的（A)至（C)是例示了根据本发明的实施方式的返工工艺的基板的截面图； 以及
[0028] 图10的（A)和（B)是根据本发明的实施方式的经返工的阵列基板的截面图。
【具体实施方式】
[0029] 在下文中，将参照附图对本发明的示例性实施方式进行描述。在通过附图标记指 明图的元素时，尽管它们在不同的图中被示出，但是相同的元素将由相同的附图标记指明。 此外，在本发明的以下描述中，并入在本文中的已知功能和构造的详细描述将在它使本发 明的主题变得非常不清楚时省略。
[0030] 此外，可以在描述本发明的组件时使用诸如第一、第二、A、B、（a)、（b)等的术语。 这些术语仅仅被用来区分一个元素和另一元素，并且不限制对应元素的真实性质、顺序、次 序、编号等。应该注意的是，如果在本说明书中描述了一个组件被"连接"、"耦合"或者"接 合"到另一组件，则第三组件可以被"连接"、"耦合"以及"接合"在第一和第二组件之间，但 是第一组件可以被直接地连接、耦合或者接合到第二组件。
[0031] 图1的㈧和⑶例示了根据本发明的实施方式的显示面板的阵列基板，其中，图 1的（A)是阵列基板的平面图并且图1的（B)是阵列基板的截面图。
[0032] 本发明的实施方式能够被应用于的液晶显示装置的阵列基板包括：有效区域 (AA) 11，该有效区域（AA) 11包括分别形成在多条选通线13和多条数据线14彼此交叉的区 域处的像素15 ;以及设置在有效区域外的非有效区域（NA) 12。
[0033] 每个像素15包括形成在其中的至少一个薄膜晶体管15'和像素电极，所述像素电 极由透明导电材料制成并且被连接到包括在薄膜晶体管中的漏电极。
[0034] 同时，如上面简要地描述的那样，液晶显示装置的模式根据调整液晶层的配向的 方案包括扭曲向列（TN)模式、垂直配向（VA)模式、面内切换（IPS)模式以及边缘场切换 (FFS)模式。在各模式之中，IPS模式和FFS模式是其中像素电极和公共电极被设置在下基 板上以通过在像素电极与公共电极之间的电场来调整液晶层的配向的模式。
[0035] 在IPS模式下，像素电极和公共电极交替地平行布置以通过在两个侧面的电极之 间产生面内电场来调整液晶层的配向。在IPS模式下，不可能调整液晶层在公共电极和像 素电极的上部的配向，这使光在上部的透射比降低。
[0036] FFS模式是发明来解决IPS模式的缺点的模式。在FFS模式下，像素电极和公共电 极用它们之间的绝缘层加以间隔开，其中，两个电极中的一个被形成呈板或图案状，而另一 个电极被形成呈手指状以便通过在两个电极之间产生的边缘场来调整液晶层的配向。
[0037] 本发明的实施方式被应用于的显示装置可以是FFS模式的液晶显示装置，而不将 本发明限于此。
[0038] 此外，本发明的实施方式被应用于的显示装置包括：背光单元和驱动电路单元，以 用于将光提供到液晶面板，以及阵列背板，其中，驱动电路单元包括定时控制器（T-con)、数 据驱动器（D-IC)、选通驱动器（G-IC)、背光驱动单元以及将电力提供到驱动电路的电源单 元。此外，可以根据玻璃上芯片（COG)或柔性印刷电路上芯片或膜上芯片（