一种基板表面液体去除装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片清洗干燥的处理领域，尤其涉及用于在清洗设备和湿法处理设备中工件表面上的药液或水的去除装置。
【背景技术】
[0002]在太阳能清洗设备和湿法处理设备中，尤其是链式太阳能清洗设备和湿法处理设备中，生产加工的每一道工序后往往需要把工件上的药液或水去除。现有技术一般采用压缩空气将工件上的一体吹掉，但是，使用压缩空气吹干硅片存在一定缺陷，如:浪费资源，吹干硅片需要耗费大量的压缩空气，增加了生产成本；还会加速药液的挥发，生产中使用的很多化学处理品都具有挥发性，使用压缩空气吹干硅片会使药液的消耗加大；压缩空气气压大，容易造成碎片，既要能吹干硅片又不能吹碎硅片，控制难度大，容易造成生产中的产品损失。为解决这一所述问题，一般采用赶水棍，将硅片上的药液或水往硅片传输相反的方向赶，使得硅片表面没有明显药液或水珠。现有方法是，采用整体泡棉材质的赶水辊来除去液体，此种赶水辊存在容易变形、不便清洁、使用寿命短等缺陷。
[0003]因此，如何提供一种生产成本底、使用寿命长和工作效率高的液体去除装置是业界亟待解决的问题。
【发明内容】
[0004]本实用新型是要解决现有技术中存在的问题，提出一种生产成本底、使用寿命长和工作效率高的液体去除装置。
[0005]本实用新型提供的一种基板表面液体去除装置，其包括输送辊，该输送辊上方设有至少一根赶水棒，赶水棒与正下方的输送棍配合构成一对输送工件的棍子；所述赶水棒通过弹性挡圈穿套于一保持轴上，该保持轴的一端设有一驱动齿轮。
[0006]较优的，所述的赶水棒两端面设有沉孔，该沉孔中设有弹性挡圈，所述的保持轴穿过该弹性挡圈与所述的赶水棒连接。
[0007]较优的，所述的赶水棒两端面设有沉孔，沉孔的台阶上四周均布有轴向槽，该沉孔中设有弹性挡圈，弹性挡圈的一端面轴向延伸出与赶水棒中所述轴向槽适配的限位爪，所述的保持轴穿过该弹性挡圈并由弹性挡圈的限位爪插入所述赶水棒的轴向槽与赶水棒进行连接。
[0008]较优的，所述弹性挡圈的限位爪与赶水棒的轴向槽采用间隙配合连接。
[0009]所述的保持轴可以为空心轴。
[0010]所述的保持轴可以由玻璃纤维制作；所述的赶水棒和弹性挡圈可以由塑胶制作。
[0011]所述的保持轴的两端和/或赶水棒之间还设有支撑轮，该支撑轮的直径小于赶水棒的直径。
[0012]本实用新型在输送辊的正上方设置一赶水棒，两构件配合形成一对输送工件的辊子。赶水棒利用本身的重力紧贴于工件的上表面，旋转工作时与工件产生的相对运动，利用本身的重量和水的表面张力，将液体挤压、牵引移除于基板表面。即可以将工件上的液体往工件传输相反的方向赶，可得到非常理想的表面液体去除效果。本实用新型不需要使用压缩空气，可以减少化学处理品的消耗，降低生产成本，节约资源。同时避免了由于使用压缩空气，易于造成工件损坏的缺陷，提高了工件的加工质量。本实用新型的使用寿命长、便于清洁。
【附图说明】
[0013]下面结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明，其中:
[0014]图1为本实用新型较佳实施例的工作示意图；
[0015]图2为本实用新型较佳实施例的赶水棒连接结构示意图；
[0016]图3和图4为赶水棒的剖视图和侧视图；
[0017]图5和图6为本实用新型较佳实施例的弹性挡圈的剖视图和侧视图。
【具体实施方式】
[0018]如图1和图2所示，本实用新型较佳实施例提供的一种硅板表面液体液体去除装置，其包括输送辊1，该输送辊I上方设有三根赶水棒2，该赶水棒2与正下方的输送辊I配合构成一对输送工件3的辊子。赶水棒2穿套于一保持轴4上，该保持轴4由一对支撑座11采用简支梁的结构支撑，而保持轴的左端设有一驱动齿轮5。根据硅板输送线宽度的需要，保持轴4上可以设置一根或多根赶水棒2。赶水棒外表面的轴向长度尺寸不小于被赶水物件同方向尺寸。
[0019]请参考图2~图4所示，赶水棒2两端面可以设有沉孔6，该沉孔中设有弹性挡圈，保持轴4穿过该弹性挡圈并通过弹性挡圈的外圆与赶水棒2的沉孔6过盈配合进行连接。根据需要，赶水棒的一端面可以设置所述的沉孔6。
[0020]请见图2~图6所示，本实用新型较佳实施例，所述的赶水棒2两端面分别设有沉孔6，沉孔6的台阶上沿圆周方向均布有四条轴向槽8 (详见图3、图4)。该沉孔中设有弹性挡圈7，弹性挡圈7的一端面轴向延伸出与赶水棒中轴向槽8适配的限位爪9(详见图5、图6)，保持轴4穿过该弹性挡圈7并由弹性挡圈的限位爪9插入赶水棒2的轴向槽8以致与赶水棒2进行连接。优选的是，弹性挡圈7的限位爪9与赶水棒2的轴向槽8采用间隙配合连接，如此可以使得赶水棒2除了旋转运动外，仍然可以上下浮动，具有一定的让位柔性，即可保证赶水棒2利用自身重量压贴于工件3的表面上，而避免对工件造成挤压损伤。保持轴4可采用空心结构并由轻质韧性好的玻璃纤维材料制作。赶水棒2和弹性挡圈7由塑胶材料，如，灰色的PP塑胶来制作。
[0021]请参阅图1~图6，本实用新型在输送辊I的正上方设置一赶水棒2，两构件配合形成一对输送工件3的棍子。一般工况下赶水棒2处于自由旋转状态，赶水棒2利用本身的重力压贴于工件3的上表面，工作时输送辊I旋转带动赶水棒2反向转动，同时与工件3产生相对运动，即赶水棒2利用本身的重量将工件上的液体往工件传输相反的方向驱赶，以实现去除工件表面液体的功能。
[0022]当赶水棒2与输送辊I之间的摩擦力不够时，再联动驱动齿轮5，以致带动保持轴4进行旋转，再通过穿套于保持轴上的弹性挡圈7传动，即由弹性挡圈端面的限位爪9拨动赶水棒2转动，以达到去除工件表面液体的目的。
[0023]保持轴4采用空心结构和轻质韧性材料制作，赶水棒2和弹性挡圈7采用塑胶材料，可以减轻赶水棒轴系的重量以及运转的冲击力，以防止对工件造成挤压的损伤。对于较长的保持轴4，为保证其刚度，保持轴的两端设置支撑轮10，或者在赶水棒2之间再加装支撑轮，该支撑轮的直径略小于赶水棒的直径以致保持轴4的轴线与下方输送辊I的轴线平行，从而保证赶水棒2施加于工件上的压力沿轴向均衡，即以防止对工件造成挤压的损伤。本实用新型生产成本底、使用寿命长和工作效率高，便于维护和清洁。
[0024]以上接合较佳实施方式对本实用新型进行了具体描述，但是本技术领域内的技术人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化，这些变更和变化应落入本实用新型保护的范围之内。
【主权项】
1.一种基板表面液体去除装置，包括输送辊(I)，其特征在于，所述的输送辊(I)上方设有至少一根赶水棒(2)，所述赶水棒(2)与正下方的输送辊(I)配合构成一对输送工件(3)的辊子；所述赶水棒(2)通过弹性挡圈穿套于一保持轴(4)上，该保持轴的一端设有一驱动齿轮(5)。
2.如权利要求1所述的基板表面液体去除装置，其特征在于，所述的赶水棒(2)两端面设有沉孔(6)，该沉孔中设有弹性挡圈，所述的保持轴(4)穿过该弹性挡圈与所述的赶水棒(2)连接。
3.如权利要求1所述的基板表面液体去除装置，其特征在于，所述的赶水棒(2)两端面设有沉孔(6)，沉孔(6)的台阶上四周均布有轴向槽(8)，该沉孔中设有弹性挡圈(7)，弹性挡圈(7)的一端面轴向延伸出与赶水棒中所述轴向槽(8)适配的限位爪(9)，所述的保持轴(4 )穿过该弹性挡圈(7 )并由弹性挡圈(7 )的限位爪(9 )插入所述赶水棒(2 )的轴向槽(8 )与赶水棒(2)进行连接。
4.如权利要求3所述的基板表面液体去除装置，其特征在于，所述弹性挡圈(7)的限位爪(9)与赶水棒(2)的轴向槽(8)采用间隙配合连接。
5.如权利要求1所述的基板表面液体去除装置，其特征在于，所述的保持轴(4)为空心轴。
6.如权利要求5所述的基板表面液体去除装置，其特征在于，所述的保持轴(4)由玻璃纤维制作。
7.如权利要求1所述的基板表面液体去除装置，其特征在于，所述的赶水棒(2)和弹性挡圈(7)由塑胶制作。
8.如权利要求1所述的基板表面液体去除装置，其特征在于，所述的保持轴(4)的两端和/或赶水棒(2)之间还设有支撑轮(10)，该支撑轮的直径小于赶水棒的直径。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于在清洗设备和湿法处理设备中，基板表面液体去除装置，其包括输送辊，该输送辊上方设有至少一根赶水棒，赶水棒与正下方的输送辊配合构成一对输送工件的辊子；所述赶水棒通过弹性挡圈穿套于一保持轴上，该保持轴的一端设有一驱动齿轮。本实用新型生产成本低、使用寿命长、工作效率高和加工质量高，便于维护和清洁。
【IPC分类】H01L21-67
【公开号】CN204391061
【申请号】CN201520093734
【发明人】左国军
【申请人】常州捷佳创精密机械有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年2月10日