一种漏晶检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种检测装置，特别是涉及一种漏晶检测装置。
【背景技术】
[0002]固晶机一般由取晶固晶装置、取晶臂转轴和漏晶检测装置组成。其中，取晶固晶装置由吸嘴、取晶臂、真空管和真空发生器组成。吸嘴安装在取晶臂上，与真空管的一端连接，真空管的另一端与真空发生器连接。取晶臂在取晶臂转轴的带动下，从原点位置运动到取晶位置，真空发生器的电磁阀打开，真空发生器工作，吸嘴内部变成真空，在吸嘴下方由于气压差产生空气吸力，吸嘴吸取晶片，取晶臂运动回到原点位置，由漏晶检测装置进行漏晶检测后，取晶臂再从原点位置运动到固晶位置，电磁阀关闭，真空发生器停止工作，吸嘴内外气压流动，气压为零，晶片落入固晶位置，取晶臂再次返回到原点位置，再次进行漏晶检测，向固晶机发出取晶移晶成功信号。
[0003]专利申请号为201420063264.7公开的漏晶检测装置，设置了光敏传感器、反光平面镜、漏晶检测灯以及光纤，每次取晶臂经过反光平面镜时做漏晶检测，该漏晶检测装置仅仅根据取晶臂从取晶位置返回，经过反光平面镜时吸嘴上是否有晶片，以及取晶臂从固晶位置返回，经过反光平面镜时吸嘴上是否没有晶片来判断是否有漏晶现象。这种检测不全面，精度低，原因在于没有考虑到吸嘴取晶成功后，即经过反光平面镜进行了第一次判断后，从反光平面镜处高速运动至固晶位置的过程中因机械原因或其它原因晶片掉落，或者在固晶位置晶片还没掉落，取晶臂就从固晶位置往反光平面镜方向运动，并在运动到反光平面镜前是否会因机械原因或其它原因晶片掉落，该漏晶检测装置根据第一次判断吸嘴有晶片，第二次判断吸嘴没有晶片，继而给出取晶成功的信号给固晶机，而事实上可能出现误判；该漏晶检测装置还存在容易受外界光影响导致检测结果失效的问题，且当晶片透明度较高时，信号较弱，光敏传感器会在吸嘴有晶片时判断为吸嘴没有晶片，导致漏晶检测装置出现误判。
[0004]漏晶检测装置必须准确无误地对所有可能的漏晶情况发出警报，才能提高成品率。后续的取晶固晶检测装置中，在真空管内设置了流量传感器，流量传感器连通于吸嘴与真空发生器，流量传感器用于检测气管内的气流量并输出电信号，由于不同的晶片所需的真空吸力是不一样的，所以用于判断吸嘴上是否有晶片的电信号强弱不同，不能一概而论地给出统一的电信号值来判断取晶移晶是否成功。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提供一种漏晶检测装置，解决现有漏晶检测装置检测精度低的问题。
[0006]本实用新型通过以下技术方案解决上述问题:
[0007]一种漏晶检测装置，由数字负压表和单片机模块组成；
[0008]所述数字负压表的输入端与外部取晶固晶装置中流量传感器的输出端连接；
[0009]所述外部取晶固晶装置由吸嘴、取晶臂、真空管、流量传感及真空发生器组成，所述吸嘴安装于所述取晶臂的一端，所述取晶臂的另一端与外部取晶臂转轴连接，所述真空管位于取晶臂上方，一端连通吸嘴，另一端连通真空发生器，所述流量传感器安装于真空管内，连通于吸嘴和真空发生器；
[0010]数字负压表的输出端与单片机模块的输入端连接，单片机模块的输出端与外部取晶固晶装置的报警电路的控制端连接。
[0011]本实用新型的优点与效果是:
[0012]本实用新型使用数字负压表检测流量传感器的输出端的电信号，根据晶片被吸取所需要的真空吸力设置一个对照值，通过比对该电信号与对照值来判断吸嘴是否有晶片，其检测时间从吸嘴吸取到晶片的瞬间到取晶臂运动到固晶位置后再次回到原点位置的瞬间，是一种时间段的检测，单片机模块对这段时间内数字负压表输出端电平的变化做出判断，给出取晶移晶是否成功的信号，其检测并不局限在某个固定位置、某个固定时间点进行，也不存在受光线、晶体透明度影响的问题，能解决现有漏晶检测装置检测精度低的问题。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型结构连接图。
[0014]图中标号为:1、吸嘴；2、取晶臂；3、真空管；4、流量传感器；5、真空发生器。
【具体实施方式】
[0015]以下结合实施例对本实用新型作进一步说明，但本实用新型并不局限于这些实施例。
[0016]一种漏晶检测装置，由数字负压表和单片机模块组成。其中，数字负压表的输入端与外部取晶固晶装置中流量传感器4的输出端连接；外部取晶固晶装置由吸嘴1、取晶臂2、真空管3、流量传感4及真空发生器5组成，吸嘴I安装于取晶臂2的一端，取晶臂2的另一端与外部取晶臂转轴连接，真空管3位于取晶臂2上方，一端连通吸嘴I，另一端连通真空发生器5，所述流量传感器4安装于真空管3内，连通于吸嘴I和真空发生器5 ;数字负压表的输出端与单片机模块的输入端连接，单片机模块的输出端与外部取晶固晶装置的报警电路的控制端连接。
[0017]流量传感器4安装在真空管3内，用于感应真空管3中的负气压，将其转换为电信号输出。在取晶固晶装置中，吸嘴I取晶时，真空管3内为负气压，吸嘴I未取晶或取晶后晶片掉落，真空管3内气压值为零。在零气压到负气压的变化过程中，流量传感器4根据检测到的气压值，输出的电信号有一个范围值，根据晶片所需真空吸力的不同，电信号中体现取晶或未取晶的电信号的界限点会有所差异。
[0018]数字负压表是一种在线测量仪表，用于体现真空管内压力变化，将流量传感器输出端的电信号处理后输出数字信号；内置自动连锁和传感装置，精度高，误差< I %，能高质量完成漏晶检测任务；稳定性高，防护坚固，能适用于复杂的生产环境；内电源、微功耗，可长期使用。数字负压表通过检测真空管3内压力变化来判断吸嘴I上是否吸有晶片，其输出端为低电平，说明吸嘴I有晶片，为高电平，说明吸嘴I没有晶片。对于每块晶片，取晶臂从原点位置到取晶位置，吸嘴吸取晶片后回到原点位置，再从原点位置运动到固晶位置，最后从固晶位置回到原点位置，这段时间为一块晶片的取晶移晶周期。漏晶检测装置在取晶臂从吸晶位置回到原点位置，再从原点位置运动到固晶位置，最后从固晶位置回到原点位置这段时间内进行漏晶检测。
[0019]单片机模块在上述检测时间内采集数字负压表的电平变化，并进行分析，给出取晶移晶是否成功的信号，并将其传输到取晶固晶装置的报警电路。如果在取晶位置电平由高转向低，并在取晶臂从取晶位置运动到固晶位置的过程中持续为低电平，且在固晶位置电平由低转向高，并在取晶臂从固晶位置运动回原点位置的过程中电平持续为高电平，说明取晶移晶成功，单片机模块发送低电平至报警电路，报警电路不工作，否则，发送高电平，启动报警电路报警。
[0020]例如，对于某晶片的漏晶检测，流量传感器输出端的电信号为4?20mA，该电流经数字负压表处理后，在数字负压表内部对应产生的数字信号为O?4，而在进行漏晶检测前，工作人员可根据晶片所需真空吸力在数字负压表设置对照值，如2.5，那么，当数字信号在O?2.5时，数字负压表会输出低电平，数字信号在2.5?4时，数字负压表会输出高电平，在检测时间段内，单片机模块对吸嘴是否有晶片进行多次判断，并给出取晶移晶是否成功的信号给报警电路，当单片机模块给出高电平时，说明有漏晶现象，报警电路工作，当给出低电平时，说明无漏晶现象，报警电路不工作。
[0021]一种漏晶检测装置的检测方法为:
[0022]I)根据取晶时晶片所需要的吸力，确定晶片被吸起时所需的负气压值，并设置数字负压表的对照值，根据取晶臂2的运动轨迹和运动速率在单片机模块设置采集时长和采集时间间隔；
[0023]2)取晶臂2在外部取晶臂转轴的驱动下从原点移动到取晶位置，按照负气压值启动真空发生器5，使得真空管3内气压达到该负气压值，吸嘴I在空气压差的作用下吸取晶片，流量传感器4感应真空管3内的负气压，根据负气压的大小输出电信号，数字负压表将所述电信号数字量化，内部产生数字信号，数字负压表将所述数字信号与对照值比较，若低于对照值，输出低电平，说明吸嘴I吸取到晶片，若高于对照值，输出高电平，说明吸嘴I未吸取晶片；
[0024]3)取晶臂2在外部取晶臂转轴的驱动下从取晶位置往固晶位置移动，移动过程中，若数字负压表的输出端持续为低电平，说明晶片未在移动过程中掉落，若出现了高电平，说明晶片在移动过程中掉落；
[0025]4)取晶臂2在外部取晶臂转轴的驱动下移动到固晶位置，关闭真空发生器5，真空管3内外气体流动，吸嘴I处内外压值为零，晶片落入固晶位置，流量传感器4感应真空管3内的负气压，根据气压的大小输出电信号，数字负压表将所述电信号数字量化，内部产生数字信号，数字负压表将所述数字信号与对照值比较，若低于对照值，输出低电平，说明晶片未从吸嘴I掉落，若高于对照值，输出高电平，说明晶片在移动过程中或在固晶位置已经掉落；
[0026]5)取晶臂2在外部取晶臂转轴的驱动下从固晶位置移动到原点位置的过程中，若数字负压表的输出端持续为高电平，说明晶片在移动过程中或在固晶位置已经掉落；若出现低电平，说明晶片未从吸嘴I掉落；
[0027]6)单片机模块在采集时长内按采集时间间隔采集数字负压表输出端的电平信号，如果在取晶位置电平由高转向低，并在移动过程中持续为低电平，且在固晶位置电平由低转向高，并在取晶臂2从固晶位置运动回原点位置的过程中电平持续为高电平，说明取晶移晶成功，单片机模块发送低电平至报警电路，报警电路不工作，否则，发送高电平，启动报警电路报警。
【主权项】
1.一种漏晶检测装置，其特征在于: 由数字负压表和单片机模块组成； 所述数字负压表的输入端与外部取晶固晶装置中流量传感器(4)的输出端连接； 所述外部取晶固晶装置由吸嘴(1)、取晶臂(2)、真空管(3)、流量传感(4)及真空发生器(5)组成，所述吸嘴(I)安装于所述取晶臂(2)的一端，所述取晶臂(2)的另一端与外部取晶臂转轴连接，所述真空管(3)位于取晶臂(2)上方，一端连通吸嘴(I)，另一端连通真空发生器(5)，所述流量传感器(4)安装于真空管(3)内，连通于吸嘴(I)和真空发生器(5); 数字负压表的输出端与单片机模块的输入端连接，单片机模块的输出端与外部取晶固晶装置的报警电路的控制端连接。
【专利摘要】一种漏晶检测装置，由数字负压表和单片机模块组成，所述数字负压表的输入端与外部取晶固晶装置中流量传感器的输出端连接，所述外部取晶固晶装置由吸嘴、取晶臂、真空管、流量传感及真空发生器组成，所述吸嘴安装于所述取晶臂的一端，所述取晶臂的另一端与外部取晶臂转轴连接，所述真空管位于取晶臂上方，一端连通吸嘴，另一端连通真空发生器，所述流量传感器安装于真空管内，连通于吸嘴和真空发生器。能解决现有漏晶检测装置检测精度低的问题。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN204651294
【申请号】CN201520411088
【发明人】秦年科, 李勇昌, 彭顺刚, 朱金华, 邹波
【申请人】桂林斯壮微电子有限责任公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年6月15日