为能够在轴部92向Zl方向下降时弹性变形。弹簧93构成为对由头部51 (吸嘴52)向下方压下的轴部92 (参照图6)向上方进行施力。在图4、图8所示的状态下，通过该弹簧93的作用力，磁性体部件94维持与磁性体部件保持部913的下表面913a抵接的状态。而且，即使是在因未图示的控制器的错误等而将支撑销9配置于底座板3的与基板200上的电子元件等对应的位置的情况下，弹簧93也能够在与电子元件等抵接时弹性变形来抑制电子元件(基板200)损伤这一情况。
[0057]如图5所示，磁性体部件94例如以铁为材料，形成为螺钉状。具体来说，磁性体部件94包括与磁铁95接触的前端部94a和固定于轴部92的固定部94b。前端部94a具有比固定部94b的外径大的外径。螺钉状的磁性体部件94 (固定部94b)通过与轴部92的下端部螺合而固定于轴部92。由此，即使不使用粘接剂等也能够将磁性体部件94与轴部92固定。而且，磁性体部件94 (前端部94a)构成为与磁性体部件保持部913 (下表面913a)卡合。而且，磁性体部件94配置于磁铁95的上方(Z2方向侧)。而且，磁性体部件94构成为在向下方移动时与磁铁95接触。磁性体部件94构成为通过在固定部91的内部上升而利用磁力使磁铁95上升,从而解除固定部91与底座板3被固定的固定状态。由此,磁铁95构成为通过磁性体部件94与轴部92 —起升降而在固定部91的内部升降。
[0058]接下来，参照图4和图6?图9，对解除固定状态时的支撑销9的动作进行说明。
[0059]首先，如图6所示，固定于底座板3的支撑销9 (参照图4)的轴部92 (凸缘部92b)由未进行真空吸引的吸嘴52向下方(Zl方向)压下。此时，轴部92下降至磁性体部件94与配置于下降端911a的(下降端保持状态的)磁铁95接触。在该状态下，设定为作用于下降端保持状态的磁铁95与磁性体部件94之间的磁力(Fm)大于作用于下降端保持状态的磁铁95与底座板3之间的磁力(Fb)和由磁铁部件的自重产生的重力(Fg)的合计(Fm>Fb+Fg)。
[0060]接着，如图7所示，使未进行真空吸引的吸嘴52上升。此时，磁性体部件94与磁铁95紧贴。而且，通过弹簧93的反作用力对轴部92的凸缘部92a向上方进行施力。由此，通过磁性体部件94与磁铁95之间的磁力(Fm)，磁铁95与磁性体部件94 一起上升至上升端(912a)，成为由上升端侧保持部912保持的上升端保持状态。在该状态下，设定成作用于上升端保持状态的磁铁95与底座板3之间的磁力大致为零(Fm ^ O)。而且，在该状态下，支撑销9的固定状态被解除。
[0061]接着，如图8所示，在磁铁95的上升端保持状态下，使未进行真空吸引的吸嘴52进一步上升。由此，通过弹簧93的反作用力对轴部92的凸缘部92a向上方进行施力，轴部92从图7的状态起进一步上升。此时，磁性体部件94与上升端保持状态的磁铁95分离，磁性体部件94上升至磁性体部件保持部913。在该状态下，设定为作用于上升端保持状态的磁铁95与磁性体部件94之间的磁力(Fm)大于作用于上升端保持状态的磁铁95与底座板3之间的磁力(Fb ^ O) (Fm)Fb ( 乂 O) +Fg)。由此，在磁铁95利用磁性体部件94的磁力向上方被拉起的状态(在上升端912a的位置处磁铁95浮在空中的状态)下，解除支撑销9的固定状态。另外，由于作用于磁铁95和底座板3之间的磁力(Fm)大致为零，因此实质上仅以支撑销9的自重载置于底座板3。
[0062]接着，如图9所示，在轴部92的凸缘部92b被吸嘴52吸引的状态下使吸嘴52(头部51)上升。在该状态下，由于作用于磁铁95与底座板3之间的磁力(Fm)大致为零，因此实质上在利用吸嘴52以与支撑销9的自重对应的吸引力吸引支撑销9的状态下使吸嘴52上升，将支撑销9从底座板3移动(除去)。另外，移动的支撑销9配置于支撑销待机部la。
[0063]接着，参照图4、图9和图10，对将支撑销9固定于底座板3时的动作进行说明。
[0064]首先，如图9所示，在轴部92的凸缘部92b被吸嘴52吸引的状态下使吸嘴52下降。并且，如图10所示，固定部91的底面与底座板3抵接。此时，在磁性体部件94维持磁性体保持状态并且磁铁95维持上升端保持状态的状态下，支撑销9与底座板3抵接。另外，为了简化，在利用吸嘴52吸引轴部92的凸缘部92b的状态下使吸嘴52下降的状态的图沿用了表示在利用吸嘴52吸引轴部92的凸缘部92b的状态下使吸嘴52上升的状态的图9。
[0065]而且，在从图9的状态转移到图10的状态时，向作用于磁铁95和底座板3之间的磁力(Fb)与由磁铁95的自重产生的重力(Fg)的合计(Fb+Fg)附加磁铁95向底座板3方向(下方)的惯性力(Fi )。由此，将附加有惯性力的支撑销9固定于底座板3的力(Fb+Fg+Fi)大于磁铁95与磁性体部件94的磁力(Fm) (Fm〈Fb+Fg+Fi )。其结果是，上升端保持状态(在上升端912a的位置处浮在空中的状态)的磁铁95向下方落下，并由下降端侧保持部911保持。并且，通过作用于磁铁95和底座板3之间的磁力，将支撑销9固定于底座板3。
[0066]在本实施方式中，能够得到如下的效果。
[0067]在本实施方式中，如上所述，设有磁性体部件94，所述磁性体部件94利用磁力使磁铁95上升来解除固定部91与底座板3被固定的固定状态。由此，通过作用于磁铁95与磁性体部件94之间的磁力Fm,能够将使固定部91固定于底座板3的固定状态的磁铁95从底座板3拉开。其结果是，能够解除固定部91与底座板3的固定状态而不使用真空吸引。而且，能够利用磁铁95与磁性体部件94之间的磁力Fm将使固定部91固定于底座板3的磁铁95从底座板3拉开而不使用真空吸引，因此，即使是在为了将固定部91与底座板3更稳固地固定而使用磁力大的磁铁95的情况下，也不必增大磁铁95 (磁铁95的面积)。由此，抑制了支撑销9的设置面积增大，能够防止固定于底座板3的支撑销9的数量和间距受到制约。
[0068]而且，在本实施方式中，如上所述，支撑销9构成为:在磁铁95配置于固定部91的内部的下降端911a的状态下，维持固定部91与底座板3的固定状态，在通过磁性体部件94上升而将磁铁95配置于固定部91的内部的上升端912a的状态下，固定部91与底座板3的固定状态被解除。由此，通过将磁铁95从配置于固定部91的内部的下降端911a的固定状态切换至配置于上升端912a的固定解除状态，能够容易地将磁铁95从底座板3拉开。
[0069]而且，在本实施方式中，如上所述，磁性体部件94构成为:在磁铁95配置于下降端911a的状态下通过下降而与磁铁95接触，然后通过上升而利用磁性体部件94与磁铁95之间的磁力Fm使磁铁95上升。由此，能够在通过磁铁95与磁性体部件94的接触而使作用在配置于下降端911a的磁铁95与磁性体部件94之间的磁力Fm增大的状态下使磁性体部件94上升，因此能够可靠地将磁铁95从底座板3拉开。
[0070]而且，在本实施方式中，如上所述，固定部91构成为包括:下降端侧保持部911，在磁铁95不与底座板3接触的状态下将磁铁95保持在下降端911a ;及上升端侧保持部912，在磁性体部件94与磁铁94接触的状态下使磁性体部件94上升时将磁铁95保持在上升端912a。由此，能够利用下降端侧保持部911将磁铁95保持在下降端911a，因此能够在稳定的状态下将固定部91固定于底座板3。
[0071]而且，能够利用上升端侧保持部912保持与磁铁95接触的磁性体部件94，因此能够在稳定的状态下维持将磁铁95从底座板3拉开的状态。
[0072]而且，在本实施方式中，如上所述，下降端侧保持部911构成为:向固定部91的内部侧突出，并且以在磁铁95与底座板3之间具有第一间隙Dl的状态保持磁铁95，第一间隙Dl设定为:使得在磁铁95配置于下降端侧保持部时维持固定部91与底座板3的固定状态的磁力Fb+Fg作用于磁铁95和底座板3之间，并且在磁铁95与磁性体部件94接触后上升时，作用于磁铁95和底座板3之间的磁力Fb与由磁铁95的自重产生的重力Fg的合计Fb+Fg小于作用于磁铁95与磁性体部件94之间的磁力Fm。由此，能够利用与底座板3隔开第一间隔Dl进行保持的磁铁95将固定部91可靠地固定于底座板3,并且与磁铁95和底座板3直接接触的情况不同，将作用于磁铁95与底座板3之间的磁力Fb减弱与第一间隙Dl相应的量，从而能够容易地将磁铁95从底座板3拉开。
[0073]而且，在本实施方式中，如上所述，固定部91构成为:包括磁性体部件保持部913，所述磁性体部件保持部913以在上升的磁性体部件94与磁铁95之间具有第二间隙D2的状态保持上升的磁性体部件94，第二间隙D2设定为:在由上升端侧保持部912保持上升的磁铁95且由磁性体部件保持部913保持上升的磁性体部件94的状态下，作用于磁铁95和磁性体部件94之间的磁力Fm大于作用于磁铁95和底座板3之间的磁力Fb与由磁铁95的自重产生的重力Fg的合计Fb+Fg。由此，在解除了固定部91与底座板3的固定状态后，能够在隔开能够可靠地将磁铁95吸在磁性体部件94的第二间隙D2的状态下保持磁铁95和磁性体部件94，因此，能够容易地维持将磁铁95从底座板3拉开的状态。
[0074]而且，在本实施方式中，如上所述，设定为:在磁铁95配置于上升端侧保持部912的状态下使固定部91下降并与底座板3抵接的情况下，作用于磁铁95与底座板3之间的磁力Fb、由磁铁95的自