专利名称：石英管废气排风装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种光伏行业中的扩散机，特别涉及一种石英管废气排风装置。
背景技术：
当前光伏电池片行业飞速发展，市场对产品质量的要求越来越高，产品竞争越来越激烈，要想在市场竞争中立足脚跟，必须从产品质量和降低成本下功夫。现有的扩散机在使用过程中，排风控制不稳定，产品在工艺过程中排风时大时小；废气管太粗，阀门太大不能有效的控制排风工作，从而浪费P0CL3电能、硅片；另外，由于P0CL3属于剧毒，也需要保证废气需要完全排出。
发明内容本实用新型的目的就是针对现有技术存在的上述缺陷，提供一种石英管废气排风装置，在扩散过程中能够有效地控制排风量，时排风不稳，减少到最小。节约电能片源。其技术方案是主要由主排风管、球阀、废气管、废液瓶、大石英管、恒温槽、进气管和出气管组成，恒温槽内设有三氯氧磷，恒温槽通过进气管与大石英管连通，大石英管的出气管连接多个废液瓶，废液瓶的末端通过废气管连接到主排风管中，在所述的废气管与主排风管之间设有球阀。上述的废液瓶设有两组或三组，形成两级或三级废气过滤。本实用新型的有益效果是在扩散过程中能够有效地控制排风量，时排风不稳，减少到最小，同时降低了电能，水、HF等的使用，节省了成本。
附图I是本实用新型的结构示意图；上图中主排风管I、球阀2、废气管3、废液瓶4、大石英管5、恒温槽6、进气管7和出气管8、小孔9。
具体实施方式
结合附图I，对本实用新型作进一步的描述本实用新型主要由主排风管I、球阀2、废气管3、废液瓶4、大石英管5、恒温槽6、进气管7和出气管8组成，恒温槽6内设有三氯氧磷，恒温槽6通过进气管7与大石英管5连通。大石英管5内腔的出气管设有多个小孔9，大石英管外侧的出气管8连接两组废液瓶4或者三组废液瓶4，形成两级或三级废气过滤；废液瓶4的末端通过直径8毫米的废气管3连接到主排风管I中，在所述的废气管3与主排风管I之间设有球阀2，通过球阀的调节，可以使扩散工艺更好的发挥作用；减少因排风不稳造成的浪费硅片的问题，同时降低了电能，水、HF的使用。
权利要求1.一种石英管废气排风装置，其特征是主要由主排风管(I)、球阀(2)、废气管(3)、废液瓶(4)、大石英管(5)、恒温槽(6)、进气管(7)和出气管(8)组成，恒温槽(6)内设有三氯氧磷，恒温槽(6)通过进气管(7)与大石英管(5)连通，大石英管(5)的出气管(8)连接多个废液瓶(4)，废液瓶(4)的末端通过废气管(3 )连接到主排风管(I)中，在所述的废气管(3 )与主排风管(I)之间设有球阀(2 )。
2.根据权利要求I所述的石英管废气排风装置，其特征是所述的废液瓶(4)设有两组或三组，形成两级或三级废气过滤。
专利摘要本实用新型涉及一种光伏行业中的扩散机，特别涉及一种石英管废气排风装置。其技术方案是主要由主排风管、球阀、废气管、废液瓶、大石英管、恒温槽、进气管和出气管组成，恒温槽内设有三氯氧磷，恒温槽通过进气管与大石英管连通，大石英管的出气管连接多个废液瓶，废液瓶的末端通过废气管连接到主排风管中，在所述的废气管与主排风管之间设有球阀。有益效果是在扩散过程中能够有效地控制排风量，时排风不稳，减少到最小，同时降低了电能，水、HF等的使用，节省了成本。
文档编号C30B31/16GK202786516SQ20122020839
公开日2013年3月13日 申请日期2012年5月10日 优先权日2012年5月10日
发明者宋道新, 殷海峰, 杨洪军 申请人:山东天信光伏新能源有限公司