一种新型金刚线切割硅片用绕线轮的制作方法

文档序号:11478648阅读:254来源:国知局

本实用新型属于金刚线切割硅棒技术领域,尤其是涉及一种新型金刚线切割硅片用绕线轮。



背景技术:

目前金刚线切割硅片设备,采用将一定张力的钢线缠绕在有间距的聚氨酯绕线轮上形成线网。通过线网往返运行,硅锭下压进入线网,形成钢线切割硅锭,最终完成硅锭到硅片的加工过程。切割过程中,线网进入硅棒形成线弓。此过程中,进入硅棒的线网受张力影响,导致线弓高度不一,尤其是绕线轮中部线弓最大,钢线间切割受力不均,在最终硅片厚度等参数上离散度增大,出现参数超标异常。



技术实现要素:

有鉴于此,本实用新型旨在提出一种新型金刚线切割硅片用绕线轮,以解决现有金刚线切割硅片时由于线弓造成的切割不良的问题。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:

一种新型金刚线切割硅片用绕线轮,包括绕线轮主体,所述绕线轮主体外圆周表面关于该绕线轮主体中间位置横截面对称的开设有多个线槽,所述线槽为V型槽,每相邻两个线槽距离相等,由绕线轮主体端部至绕线轮主体中间位置的线槽槽底直径逐渐增大。

进一步的,所述包括绕线轮主体为腰鼓型结构,所述线槽槽深相同。

进一步的,所述线槽槽底直径增大比例为:外侧线槽槽底直径:内侧线槽槽底直径=1:1.01。

进一步的,所述绕线轮主体为聚氨酯体,该绕线轮主体的安装孔内设有刚性套筒。

相对于现有技术,本实用新型所述的一种新型金刚线切割硅片用绕线轮具有以下优势:

本实用新型所述的一种新型金刚线切割硅片用绕线轮中,通过改变线槽槽底直径的方式对线弓作出补偿,来保证线弓高度相同,进而保证了钢线间切割受力均匀,减小硅片厚度等参数上离散度,保证切割质量。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:

图1为本实用新型实施例所述的一种新型金刚线切割硅片用绕线轮示意图;

附图标记说明:

1-绕线轮主体;11-线槽;2-刚性套筒。

具体实施方式

需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

一种新型金刚线切割硅片用绕线轮,包括圆柱形的绕线轮主体1,所述绕线轮主体1为聚氨酯体,该绕线轮主体1设有安装孔,该绕线轮主体1的安装孔内设有刚性套筒2,本实施例中,刚性套筒2和绕线轮主体1的安装孔间过盈配合连接,所述绕线轮主体1外圆周表面关于该绕线轮主体1中间位置横截面对称的开设有多个线槽11,所述线槽11为V型槽,每相邻两个线槽11距离相等,由绕线轮主体1端部至绕线轮主体1中间位置的线槽11槽底直径逐渐增大,线轮主体1中间位置每一侧的线槽11槽底直径增大比例为:外侧线槽槽底直径:内侧线槽槽底直径=1:1.01。

本实施例中,所述包括绕线轮主体1为腰鼓型结构,所述线槽11槽深相同。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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