一种传样夹具的制作方法

本实用新型涉及半导体制备领域，尤其涉及一种传样夹具，用于加工过程中样品的传送。

背景技术：

微纳加工和制备过程中，具有超高的真空度（≥10^-10torr）真空的设备，与大气环境相比，具有较低的氧气和水分以及其他粉尘颗粒等污染物含量，并且以其稳定的密封性和良好的高真空环境为样品的制备，储存，工艺操作提供良好的洁净条件，防止样品的污染。因此保证真空设备的密封环境和洁净度是在微纳加工中防止污染的根本所在，然而在使用超高真空设备进行微纳加工过程中，能够引起设备真空污染的因素有很多，其中主要的是传样过程引起的污染，因为传样过程将样品在外部环境和超高真空环境中取放，是必不可少的，同时也是频繁操作的。在进行样品传递过程中，样品或者其他传样设备掉落至真空腔体内，则会引起真空密封性变差或者引起真空腔体污染。如何防止样品或者其他配件在传样过程中掉落，使得整个传样过程更加稳定，是降低真空腔体污染的关键步骤。

现有技术中，针对于样品的传递，是通过长柄尖嘴镊子进行夹取传放，直接用尖嘴镊子夹取时，往往直接夹取样品中心，直接对样品施力，这样容易使得一些特殊样品（例如材质较软或者较脆的样品）容易在夹取时被破坏，对于一些放在样品架上的样品，由于样品架体积较大,尖嘴镊子与样品架接触面积较小，在传递过程中，样品容易发生晃动，增加样品或其他配件脱落的风险。并且，长时间进行传递过程中，样品架和尖嘴镊子夹取处磨损严重，导致样品架报废需重新加工，增加额外的经济损失。因此，需要重新设定新的传取样品架的夹取，既能够更加平稳传递样品，又能够减少样品架的磨损。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种夹取传递稳定可靠的传样夹具。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种传样夹具，其创新在于：包括手柄、第一夹瓣及第二夹瓣，其中：

所述第一夹瓣及第二夹瓣设于手柄上，

所述第一夹瓣上至少设有两个夹持点，分别为第一夹持点及第二夹持点；

所述第二夹瓣上至少设有三个夹持点，且三个夹持点确定一个夹持面，三个夹持点分别为第四夹持点、第五夹持点及第六夹持点；

在夹持状态下，所述第一夹持点及第二夹持点与所述夹持面之间对应于待夹持件构成一夹持空间，且第一夹持点及第二夹持点分别位于夹持面中心的两侧，在第一夹持点和第二夹持点之间对应于待夹持件形成有窗口；

所述第一夹瓣和第二夹瓣之间相对活动设置，以此能够彼此相互靠近及远离。

上述技术方案中，所述第一夹瓣包括两根夹持杆，两夹持杆位于同一平面上，所述第一夹持点与第二夹持点分别位于两夹持杆上，两夹持杆之间形成所述窗口。

优选地，所述第一夹瓣上两根夹持杆之间的间距可调设置。

上述技术方案中，所述第二夹瓣为一板状构件。

上述技术方案中，所述手柄上设有防滑结构。

上述技术方案中，所述第一夹瓣及第二夹瓣两者中至少一者上对应于待夹持件设置有限位结构。

优选地，所述限位结构为限位台阶或限位凸块。

上述技术方案中，所述手柄包括第一手柄及第二手柄，所述第一夹瓣设于第一手柄上，第二夹瓣设于第二手柄上，第一手柄和第二手柄之间通过枢轴铰接或弹性连接，以使得第一夹瓣和第二夹瓣之间能够相互靠近及远离。

上述技术方案中，所述待夹持件为样品或承载样品的样品架。

本实用新型工作原理及优点：本实用新型通过第一夹瓣和第二夹瓣配合，第二夹瓣在待夹持件的一侧形成面支撑，第一夹瓣在待夹持件的另一侧形成至少两点支撑，且第一夹瓣的两个支撑点分别位于第二夹瓣支撑面中心的两侧，在夹持待夹持件时，相较于现有技术，增大了夹持面积，提高了夹持的稳定性，大大降低了夹取传送过程中待夹持件晃动甚至掉落的风险，并且能够有效减少夹具对待夹持件产生的磨损。

附图说明

附图1为本实用新型实施例俯视图；

附图2为本实用新型实施例打开状态立体图；

附图3为本实用新型实施例夹持状态立体图；

附图4~7为本实用新型实施例其他结构示意图。

以上附图中：1、第一夹瓣；11、夹持杆；12、窗口；2、第二夹瓣；3、手柄；31、第一手柄；32、第二手柄；4、限位凸块；5、枢轴；6、待夹持件；7、导向柱；8、弹簧；9、扭簧。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例：一种传样夹具

参见附图1~3所示，包括手柄3、第一夹瓣1及第二夹瓣2，其中：

所述手柄3包括第一手柄31及第二手柄32，所述第一夹瓣1设于第一手柄31的一端，第二夹瓣2设于第二手柄32的一端，第一手柄31和第二手柄32的另一端之间弹性连接（可以使用弹性材料制成或者在第一手柄31和第二手柄之间设置弹性元件），以使得第一夹瓣1和第二夹瓣2之间能够相互靠近及远离。

所述第一夹瓣1为一u形构件，包括两根夹持杆11，两夹持杆11平行设置，所述第一夹瓣1上具有多个夹持点，包括第一夹持点及第二夹持点，第一夹持点与第二夹持点分别位于两根夹持杆11上；

所述第二夹瓣2为一板状构件，板状构件具有一夹持面，该夹持面上具有多个夹持点；

在夹持状态下，所述第一夹持点及第二夹持点与所述夹持面之间对应于待夹持件6构成一夹持空间，且第一夹持点与第二夹持点分别位于夹持面中心的两侧，两夹持杆之间对应于待夹持件6形成窗口12，窗口12中露出待夹持件6上待加工区域。

所述手柄3上设有防滑结构（如磨砂、防滑条等），在使用过程中，增大摩擦力，使得握取传递时更加稳定，大大降低在传递过程中待夹持件6脱落的风险。

所述第一夹瓣1上两根夹持杆11之间的间距可调设置，以适应不同尺寸规格的待夹持件6，两夹持杆11之间的间距可调可以通过在第一手柄31上设置不同装配孔，各夹持杆11与装配孔之间可拆卸连接，如装配孔为螺纹孔，夹持杆11上开设有与螺纹孔相匹配的螺纹，通过将夹持杆11安装在不同的螺纹孔中实现夹持杆11之间的间距可调；或者，在第一手柄31上开设导向槽，夹持杆11移动设置于导向槽中，同时，夹持杆11与导向槽之间设有定位结构，如导向槽的槽口夹紧夹持杆11以实现定位；本领域技术人员能够根据实际需要设计不同的间距可调结构，这里不再赘述。

所述第一夹瓣1及第二夹瓣2两者中至少一者上对应于待夹持件6设置有限位结构，参见图2所示，所述限位结构为限位凸块4，用于阻止待夹持件6的脱落及偏移。

上述实施例中，所述第一夹瓣1包括两根夹持杆11，实际应用中，若设置一根、三根、四根甚至更多的夹持杆11也能达到相同效果，只要具有至少两个夹持点，并且两个夹持点分别位于第二夹瓣2上夹持面中心的两侧即可；当夹持杆11数量为一根时，该夹持杆11可垂直于手柄3的长度方向设置，横跨贯穿第二夹瓣2的两侧。

上述实施例中，所述第一手柄31和第二手柄32之间通过弹性连接实现第一夹瓣1和第二夹瓣2之间的相互靠近及远离，在实际应用中，若采用如下结构，也可达到相同效果：

参见附图4所示，第二夹瓣2设于手柄3上（第二夹瓣2与手柄3可为一体式结构也可为分体结构），手柄3上设置有导向柱7，导向柱7的一端定位于手柄3上，另一端设置有阻挡部，第一夹瓣1移动设置在导向柱7上，所述阻挡部与第一夹瓣1之间设置有弹性元件（如弹簧8），该弹簧8迫使第一夹瓣1向第二夹瓣2靠近。

参见附图5所示，第二夹瓣2设于手柄3上（第二夹瓣2与手柄3可为一体式结构也可为分体结构），第一夹瓣1通过枢轴5转动设置于手柄3上，第一夹瓣1与手柄3之间设置有扭簧9，该扭簧9迫使第一夹瓣1向第二夹瓣2靠近。

参见附图6所示，所述第一夹瓣1设于第一手柄31的一端，第二夹瓣2设于第二手柄32的一端，第一手柄31的另一端与第二手柄32的另一端之间弹性连接，该弹性连接的弹力迫使第一夹瓣1远离第二夹瓣2，第二夹瓣2上对应于待夹持件6设置有限位块4。

参见附图7所示，所述第一夹瓣1设于第一手柄31的一端，第二夹瓣2设于第二手柄32的一端，第一手柄31与第二手柄32的中部通过枢轴5铰接，第一夹瓣1及第二夹瓣2上均设置有限位块4，通过操作第一手柄31及第二手柄32的另一端实现第一夹瓣1和第二夹瓣2之间的靠近及远离。

上述实施例中，所述限位块4之间的间距可调，以适应不同尺寸规格的待夹持件6，该间距可调结构同上述夹持杆11之间的间距可调结构，本领域技术人员能够根据实际需求设计出合适的间距可调结构，这里不再赘述。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。