技术总结
本发明涉及半导体光电子技术领域，具体公开一种基于无机微米LED的全彩色微显示芯片及其制备方法。本发明包括由高效率氮化镓基LED外延片材料制备蓝光和绿光微米LED阵列，由高效率砷化镓基LED外延片材料制备红光微米LED阵列，每个阵列单独成为单色微显示芯片；将上述三种微米LED阵列以红光、绿光和蓝光的次序按垂直方向上对准键合，集成红光、绿光和蓝光三种发光波长的微显示芯片。本发明工艺简单，这有利于降低芯片成本。本发明中的芯片可用于微投影和微显示领域，包括可穿戴智能眼镜、智能手表、虚拟现实、增强现实等设备。
技术研发人员：田朋飞;刘晓艳;刘冉;郑立荣
受保护的技术使用者：复旦大学
文档号码：201611090359
技术研发日：2016.12.01
技术公布日：2017.02.15