剂显影，即使是薄膜状也 能够分辨率良好地形成图像。
[0048] 另外，本发明的感光性树脂组合物通过含有无机填料，不仅在高温下可发挥高的 弹性模量，还容易获得刚性优良的树脂固化物，即使在更加严酷的高温高压条件下，也能够 实现高的中空保持性。另外，本发明的感光性树脂组合物通过含有无机填料，还能够实现固 化物的低热膨胀化W及吸湿率的降低，因此在中空构造设备中，能够形成高可靠性的肋部 W及盖部。
【附图说明】
[0049] 图1是表示作为本发明的电子零件之一的SAW滤波器W及其制造方法的合适的一 个实施方式的图。
[0化0] 图2是表示作为本发明的另一个实施方式的搭载有金属球的SAW滤波器的图。
[0化1] 图3是表示本发明的搭载有金属球的SAW滤波器的制造方法的图。
[0化2] 图4是表示作为本发明的电子零件之一的具有2层布线层的SAW滤波器的布线形 成方法的图。
[0053] 图5是表示作为本发明的另一个实施方式的用密封材密封的SAW滤波器的制造方 法的图。
[0054] 图6是表示作为本发明的另一个实施方式的用密封材密封的SAW滤波器的另一个 制造方法的图。
[0055] 图7是表示本发明的感光性树脂组合物的分辨率的评价基准的图。
【具体实施方式】
[0化6] 下面，根据情况的不同，参照附图对本发明的优选的实施方式进行详细说明。此 夕F，在W下的说明中，相同或相当部分用相同符号表示，省略重复的说明。另外，附图的尺寸 比例不受图示的比例的限制。
[0057] 本发明中，为了将中空构造的肋部和盖部通过光曝光而形成图案，为了使厚膜也 具有优良的透光性和微细图案形成性，同时实现耐热耐湿性的提高，树脂固化物的耐热性 高、并且是具有低吸湿性W及低透湿性的感光性树脂是必要的。具有至少一个締键式不饱 和基团的光聚合性化合物不仅光聚合反应性高，厚膜形成性和图案形成性的感光特性优 良，而且容易将用于实现树脂固化物的耐热性提高、具体是玻璃化转变温度的提高W及低 吸湿率化的化学构造导入到分子中，因而在本发明中是特别优选的树脂。另外，具有至少一 个締键式不饱和基团的光聚合性化合物作为低粘度的材料，由于选择范围较宽，因此在形 成肋部或盖部时，容易任意调整基板上涂布的感光性树脂组合物的粘度。涂布的感光性树 脂组合物的低粘度化也可W通过使用溶剂来实现，但当使用具有至少一个締键式不饱和基 团的光聚合性化合物时，可W减少会对固化后的树脂组合物的特性和可靠性产生不良影响 的溶剂的量。此外，当感光性树脂组合物中含有无机填料时，例如，即使增大其配合量，也能 够维持感光性树脂组合物的涂布性和薄膜形成性。
[005引另外，作为（A)具有至少一个締键式不饱和基团的光聚合性化合物，通过使用具 有特定的构造的化合物，可W提高本发明的效果。下面，对本发明的感光性树脂组合物进行 说明。
[0化9](感光性树脂组合物）
[0060] 本发明的感光性树脂组合物的基本构成是由（A)具有至少一个締键式不饱和基 团的光聚合性化合物和炬）光聚合引发剂构成。
[0061] 作为具有至少一个締键式不饱和基团的光聚合性化合物，优选为含有碳-氮键的 化合物。可W列举出例如具有酷胺键的聚合性化合物W及具有氨基甲酸醋键的聚合性化合 物等。通过使用上述的含有碳-氮键的化合物，能够赋予高的耐湿热性和高的粘接性。
[0062] 作为具有至少一个締键式不饱和基团的光聚合性化合物，可W列举出例如使 a，0-不饱和駿酸与多元醇反应而得到的化合物、具有酷胺键W及至少一个締键式不饱和 基团的聚合性化合物、双酪A系（甲基）丙締酸醋化合物、使a, P-不饱和駿酸与含缩水 甘油基的化合物反应而得到的化合物、具有氨基甲酸醋键的（甲基）丙締酸醋化合物等氨 基甲酸醋单体或氨基甲酸醋低聚物、通过（甲基）丙締酸烷基醋的共聚物导入了締键式不 饱和基团的化合物等。它们可W单独使用，也可W二种W上并用。
[0063] 作为上述的使a，P-不饱和駿酸与多元醇反应而得到的化合物，可W列举出例 如亚己基的数量为2~14的聚己二醇二（甲基）丙締酸醋、亚丙基的数量为2~14的聚丙 二醇二（甲基）丙締酸醋、亚己基的数量为2~14且亚丙基的数量为2~14的聚己二醇 /聚丙二醇二（甲基）丙締酸醋、S哲甲基丙烷二（甲基）丙締酸醋、S哲甲基丙烷S (甲 基）丙締酸醋、环氧己烧巧0)改性=哲甲基丙烷=(甲基）丙締酸醋、环氧丙烷（PO)改性 S哲甲基丙烷S (甲基）丙締酸醋、EO、PO改性S哲甲基丙烷S (甲基）丙締酸醋、四哲甲 基甲烧S (甲基）丙締酸醋、四哲甲基甲烧四（甲基）丙締酸醋、二季戊四醇五（甲基）丙 締酸醋、二季戊四醇六（甲基）丙締酸醋等。它们可W单独使用，也可W二种W上并用。
[0064] 作为上述的具有酷胺键和至少一个締键式不饱和基团的聚合性化合物，由于1分 子中具有2个W上的締键式不饱和基团的化合物能够容易实现固化膜的高耐热性和高温 下的高弹性模量化因而是优选的，进而能够提高与基板等的粘接性的下述一般式（1)表示 的化合物是特别优选的。
[0065] [化 1]
[0066]
[0067] [式（1)中、R3i、R32和R33分别独立地表示2价的有机基团，R34表示氨原子或甲基， R35和R36分别独立地表示氨原子、碳原子数为1~4的烷基或苯基。]
[0068] 上述通式（1)表示的聚合性化合物优选为使含曠挫咐基的化合物与含駿基的化 合物和/或含酪性哲基的化合物反应而得到的、具有酷胺键的二（甲基）丙締酸醋。上述 通式（1)表示的聚合性化合物例如可W通过使下述通式（2)表示的双曠挫咐和1分子中具 有2个酪性哲基的化合物和（甲基）丙締酸反应而得到。
[00例[化2]
[0070]
[0071] 通式（2)中、Y嗦示2价的有机基团，但优选为可W具有取代基的亚苯基、可W具 有取代基的亚化晚基、或碳原子数为1~10的可W具有分支的亚烷基。另外，R 45和R46分 别独立地表示氨原子、碳原子数为1~4的烷基或苯基。
[007引作为上述的通式似表示的双曠挫咐，可W列举出例如2,2'-(1,3-亚苯基） 双-2-曠挫咐、2，2' - (1，4-亚苯基）-双（2-曠挫咐）、2，6-双（4-异丙基-2-曠挫咐-2-基） 化晚、2-2' -异丙叉双（4-苯基-2-曠挫咐）、2-2' -异丙叉双（4-叔了基-2-曠挫咐）、 2, 2' -亚己基-双（2-曠挫咐）、2, 2' -四亚甲基-双（2-曠挫咐）、2, 2' -六亚甲基-双 (2-曠挫咐）等。它们可W单独使用一种，也可W二种W上组合使用。
[0073] 作为上述的1分子中具有2个酪性哲基的化合物，可W列举出双酪、四甲基双酪、 二哲基蒙、二哲基甲基蒙、二哲基二甲基蒙、双（4-哲基苯基）酬、双（4-哲基-3,5-二甲基 苯基）酬、双（4-哲基-3, 5-二氯苯基）酬、双（4-哲基苯基）讽、双（4-哲基-3, 5-二甲 基苯基）讽、双（4-哲基-3, 5-二氯苯基）讽、双（4-哲基苯基）六氣丙烷、双（4-哲基-3， 5-二甲基苯基）六氣丙烷、双（4-哲基-3,5-二氯苯基）六氣丙烷、双（4-哲基苯基）二 甲基硅烷、双（4-哲基-3, 5- ^?甲基苯基）二甲基硅烷、双（4-哲基-3, 5- ^氯苯基）^甲 基硅烷、双（4-哲基苯基）甲烧、双（4-哲基-3, 5-二氯苯基）甲烧、双（4-哲基-3, 5-二 漠苯基）甲烧、2, 2-双（4-哲基苯基）丙烷、2, 2-双（4-哲基-3, 5-二甲基苯基）丙烷、2， 2-双（4-哲基-3, 5-二氯苯基）丙烷、2, 2-双（4-哲基-3-甲基苯基）丙烷、2, 2-双（4-哲 基-3-氯苯基）丙烷、双（4-哲基苯基）離、双（4-哲基-3, 5-二甲基苯基）離、双（4-哲 基-3, 5-二氯苯基）離、9,9-双（4-哲基苯基）巧、9,9-双（4-哲基-3-甲基苯基）巧、9， 9-双（4-哲基-3-氯苯基）巧、9,9-双（4-哲基-3-漠苯基）巧、9,9-双（4-哲基-3-氣 苯基）巧、9,9-双（4-哲基-3-甲氧基苯基）巧、9,9-双（4-哲基-3, 5-二甲基苯基）巧、 9,9-双（4-哲基-3, 5-二氯苯基）巧、9,9-双（4-哲基-3, 5-二漠苯基）巧等。其中，特 别优选2,2-双（4-哲基-3,5-二氯苯基）丙烷。它们可W单独使用一种，也可W二种W上 组合使用。
[0074] 上述的分子内具有酷胺键和2个W上的締键式不饱和基团的聚合性化合物可W 单独使用一种，也可W二种W上组合使用。
[0075] 含酪性哲基的化合物和/或含駿基的化合物与含曠挫咐基的化合物的反应优选 在反应温度为50~200°C下进行。反应温度低于50°C时，反应变慢，反应温度为200°C W上 时，有大量发生副反应的倾向。根据情况的不同，也可W在二甲基甲酯胺、二甲基己酷胺、二 甲基亚讽等极性有机溶剂中反应。
[0076] 作为上述的使a，P-不饱和駿酸与含缩水甘油基的化合物反应而得到的化合 物，可W列举出例如使酪醒清漆型环氧树脂、双酪型环氧树脂、水杨醒型环氧树脂等环氧树 脂与（甲基）丙締酸反应而得到的环氧丙締酸醋化合物等。另外，也可w使用使四氨邻苯 二甲酸酢等酸酢与上述环氧丙締酸醋化合物的0H基反应而得到的酸改性环氧丙締酸醋化 合物。作为上述的酸改性环氧丙締酸醋化合物，例如下述通式（3)表示的EA-6340(新中村 化学制、商品名）可W通过商业渠道获得。
[0077][化引 [007引
[0079] [式中，m与n之比为 100/0 ~0/100。]
[0080] 作为上述的具有氨基甲酸醋键的（甲基）丙締酸醋化合物，可W列举出由2-哲基 己基（甲基）丙締酸醋、4-哲基了基丙締酸醋、二季戊四醇五丙締酸醋、季戊四醇S丙締酸 醋等在0位上具有OH基的（甲基）丙締酸单体与异佛尔酬二异氯酸醋、2,6-甲苯二异氯酸 醋、2,4-甲苯二异氯酸醋、2,4-甲苯二异氯酸醋、2,6-甲苯二异氯酸醋、1,6-六亚甲基二异 氯酸醋、二甲苯二异氯酸醋、二苯基甲烧二异氯酸醋、间苯二异氯酸醋、对苯二异氯酸醋、二 甲基苯二异氯酸醋、己基苯二异氯酸醋、异丙基苯二异氯酸醋、1，4-蒙二异氯酸醋、1，5-蒙 二异氯酸醋、2,6-蒙二异氯酸醋、2,7-蒙二异氯酸醋、环己烧二异氯酸醋、甲基环己烧二异 氯酸醋、1，6-己烧二异氯酸醋、1，3-双（异氯酸醋甲基）环己烧等二异氯酸醋化合物，或者 与S苯基甲烧-4,4'，4" 异氯酸醋等具有3个W上的异氯酸醋基的聚异氯酸醋化合 物，或者与通过W异氯酸醋基相对于哲基为过剩量的量使聚异氯酸醋化合物和己二醇、丙 二醇、1,4-了二醇、聚亚烷基二醇、S哲甲基丙烷、己S醇等多元醇进行反应而得到的加成 物类，或者与六亚甲基二异氯酸醋、异佛尔酬二异氯酸醋、甲苯二异氯酸醋、二甲苯二异氯 酸醋、4,4'-二苯基甲烧二异氯酸醋、4,4'-亚甲基双（环己基异氯酸醋）等缩二脈型加 成物，或者与异氯脈酸环型加成物等上述该些的物质形成的加成产物；EO改性氨基甲酸醋 二（甲基）丙締酸醋；EO或PO改性氨基甲酸醋二（甲基）丙締酸醋；含駿基的氨基甲酸醋 (甲基）丙締酸醋；由1,4-了二醇、1,5-戊二醇、1,6-己二醇、环己二醇、环己烧二甲醇、聚 碳酸醋二醇、聚醋多元醇、聚了二締多元醇、聚己内酷胺多元醇等二醇化合物与分子中含有 2个哲基和2个締键式不饱和基团的2官能环氧（甲基）丙締酸醋与聚异氯酸醋形成的产 物等。
[0081] 上述的具有至少一个締键式不饱和基团的光聚合性化合物可W单独使用一种，也 可W二种W上组合使用。
[0082] 上述的（A)具有至少一个締键式不饱和基团的光聚合性化合物的含量是，W感光 性树脂组合物中的不包括无机填料在内的固体成分总量（即无机填料和溶剂除外的成分 量）为基准，优选为80~99. 9质量％，更优选为90~99. 5质量％，特别优选为95~99 质量％。（A)具有至少一个締键式不饱和基团的光聚合性化合物的含量如果为80~99. 9 质量％，则形成的肋图案和盖的形状良好，可W获得充分的树脂强度，中空构造不易破坏。
[0083] 作为与上述的（A)具有至少一个締键式不饱和基团的光聚合性化合物同时含有 的炬）成分的光聚合引发剂，只要是可W通过活性光线而生成游离自由基的化合物，就没 有特别限制，可W列举出例如芳香族酬、酷基麟氧化物、朽醋类、酿类、苯偶姻離化合物、苯 偶酷衍生物、2,4, 5-S芳基咪挫二聚体、町晚衍生物、N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生 物、香豆素系化合物。
[0084] 作为芳香族酬，可W列举出例如二苯甲酬、N，N'-四甲基-4,4' -二氨基二苯甲酬 (即米蛋酬）、N，N'-四己基-4,4' -二氨基二苯甲酬、4-甲氧基-4' -二甲基氨基二苯甲 酬、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗咐基苯基）-了烧-1-酬、2-甲基-1-[4-(甲硫基） 苯基]-2-吗咐基-丙烷-1-酬。
[0085] 作为酷基麟氧化物，可W列举出例如双（2,4,6-S甲基苯甲酯基）-苯基麟氧化 物、2，4，6- S甲基苯甲酯基-二苯基-麟氧化物。
[0086] 作为目亏醋类，可W列举出例如1，2-辛二酬-1-[4-(苯硫基）-2-(0-苯甲酯目亏）]。
[0087] 作为酿类，可W列举出例如2-己基慈酿、菲酿、2-叔了