组合物的W外的方法来形 成。
[0156] 使用本发明的感光性树脂组合物或感光性薄膜形成肋部和盖部后，为了进行电极 20与在基板10的内部W及电极20的相反侧表面上进行了布线的导体之间的电连接，进行 锻层的形成W及金属球的搭载等，得到的SAW滤波器示于图2中。在图2所示的SAW滤波 器中，通过使用本发明的形状维持性W及耐热性和刚性优良的感光性树脂组合物或感光性 薄膜，则即使在焊球搭载时的高温回流条件下，也不会发生对中空构造设备的特性有影响 的变形。
[0157] 作为上述基板10,例如使用粗酸裡基板、魄酸裡基板、神化嫁基板等压电性基板。 作为上述梳形电极20的材质，例如使用侣等。作为在上述基板的内部和表面形成的布线的 材质，可W使用铜、侣等金属导体，如果是陶瓷基板，可W使用金、银、销或钮等金属导体。另 夕F，上述金属球例如使用锡-银-铜或铅-锡等焊锡材、金或表面用金属导体覆盖的树脂球 等。
[0158] 图3是表示作为本发明的电子零件之一的SAW滤波器的合适的另一实施方式的示 意截面图W及其制造方法的图。图3中，表示了仅用UU曝光形成本发明的肋部和盖部的方 法W及用UV曝光和激光开孔该两者形成本发明的肋部和盖部的方法。激光开孔是为了在 盖部的内部成型导体而使用的。
[0159] 在图3中，首先，对仅用UV曝光形成肋部和盖部的方法进行说明。经过图3(a)~ 化）的工序，用与图1所示的方法相同的方法，在与基板10上的侣梳形电极20电连接的布 线用导体81上形成用于形成中空空间的肋部30。该里，在肋部30的内部，在UV曝光后，经 过显影工序而形成用于形成内部导体的孔35。然后，在上述的肋部30上涂布或设置在支 撑薄膜上层叠的本发明的感光性树脂组合物或感光性薄膜41，通过掩模进行UV曝光（图3 的（C))。由于上述的掩模仅仅将相当于用于形成内部导体的孔35的直径的部分遮蔽而不 透射光，所W该部分W外部位进行光固化而形成盖部40。为了使盖部40的未曝光部分与 先前形成的肋部内部的孔35完全贯通，进行显影后，进行表面沾污去除（desmear)处理等 (图3的（d))。进而，用锻覆法等在肋部和盖部的内部形成的孔35上形成内部导体，同时 在盖部的表面形成布线（图3的（e))。本发明中，在肋部和盖部的内部形成的孔35上，不 仅能用锻覆法形成内部导体，还可W使用含有金属糊或金属粉体的树脂糊，通过导体填充 法形成内部导体。经过该些工序，在基板10上的侣梳形电极20上配置的导体81与形成于 盖部的表面的布线用导体进行电连接。最后，在盖部的表面通过回流等搭载金属球70,得到 具有本发明的中空构造的电子零件即SAW滤波器（图3的（f))。
[0160] 接着，在图3中，对使用UV曝光和激光开孔该两者形成本发明的肋部和的方法进 行说明。肋部和盖部的形成方法与仅用UV曝光的情况基本上相同，但在上述盖部的内部形 成用于形成内部导体的孔35时，不使用UV曝光，而是使用激光开孔方法，在该点上是不同 的。目P，在图3的（C)中，在将支撑薄膜上层叠的本发明的感光性树脂组合物或感光性薄膜 41涂布或设置于上述的肋部30上之后，在图3的（d)工序中，通过激光在盖部的内部形成 用于形成内部导体的孔35。利用激光的开孔方法与UV曝光不同，由于不需要利用掩模的 曝光和显影，所W可W适用于自由地且W短时间形成任意图案的情况。作为激光，可W使用 YAG激光、二氧化碳激光、准分子激光等公知的激光。本发明中的SAW滤波器的制造方法不 限于图3所示的方法。根据肋部的厚度、肋部的内部形成的内部导体的形状W及盖部表面 布线图案的形状，可W适当选择UV曝光或激光照射中的任一种使用。
[0161] 在图3中，表示了在盖部的表面形成有一层表面布线层的SAW滤波器的制造方法， 但本发明中，也可W在相当于上述盖部的部分上具有2层W上的布线层。图4表示在相当 于盖部的部分上具有2层布线层的SAW滤波器的布线形成方法。用与图3的（a)~（e)所 示的方法相同的方法在SAW滤波器的盖部的表面形成布线导体81后，涂布本发明的盖部用 感光性树脂组合物41 (图4的（a))，然后相当于外部连接用电极的直径的部位使用被遮光 的掩模60而进行紫外线曝光（图4的化)），通过溶剂显影在盖部40的最上层形成外部连 接用电极用的孔（图4的（C))。接着，用锻覆法形成外部连接用电极后，最后，在盖部的表 面通过回流等搭载金属球70,得到具有本发明的中空构造电子零件即SAW滤波器（图4的 (d))。此时，金属球是隔着外部电极用电极抗氧化金属膜（Ni、Au等）直接搭载（图4的 (d)的左图），但也可W采用使用光致抗蚀剂等在盖部的表面再次形成布线层后，搭载金属 球的方法（图4的（d)的右图）。
[0162] 经过W上的工序，完成了 SAW滤波器的中空构造制作。
[0163] 如上所述地制作的SAW滤波器在用密封材密封的情况下，一般通过W下的工序进 行，但并不限于此。
[0164] (1)将SAW滤波器设置于成型模具中。
[0165] (2)在成型机的料槽中设置固体形状的密封材片料。
[0166] (3)在模具温度为150~180°C的条件下烙融密封材，施加压力而流入模具中（模 压）。
[0167] (4)加压30~120秒钟，密封材热固化后打开模具，取出成型品，由此完成SAW滤 波器的密封。
[0168] 图5中表示作为另一个实施方式的用密封材密封的SAW滤波器的制造方法的一个 例子。图5中，首先，用与图3所示的方法相同的方法制作搭载有金属球70的SAW滤波器 元件（图5的（a)和化)）。该里，SAW滤波器元件具有如下构造；肋部30不仅形成于中空 构造的外框，也形成于内部。接着，将SAW滤波器元件搭载于陶瓷基板或印刷基板（也包括 柔性印刷基板）等布线基板12上，通过回流等进行与布线基板12的电连接（图5的（C) 和（d))。然后，使用树脂密封材90通过传递模压法将中空构造部一起密封（图5的（e))， 通过切割（cutting,切断）等方法分成单个而得到SAW滤波器100 (图5的（f))。该样得 到的SAW滤波器100具有如下构造：在位于一面的布线基板12上具有布线用导体81作为 外部连接用电极，另一面被树脂密封材90密封。在图5中，表示了将在一个基板上形成的 多个SAW滤波器用密封材一并地密封后，切断成单个的方法，但树脂密封型SAW滤波器也可 W是将图5的化）中制作的SAW滤波器元件一个一个地放入密封用模具内，单个地进行树 脂密封。
[0169] 图6中表示用密封材密封的SAW滤波器的另一制造方法。首先，在一个基板10上 制作具有侣梳形电极20 W及布线用导体81的多个SAW滤波器，然后，使用本发明的感光性 树脂组合物或感光性薄膜形成肋材和/或盖材（图6的（a)~（e))。在该制造方法中，用 于与外部连接用电极进行电连接的布线用导体81配置于侣梳形电极20的两外侧。然后，为 了形成外部连接用电极，将光致抗蚀剂50涂布于基板整面上，使用相当于外部连接用电极 的直径的部位被遮光的掩模进行紫外线曝光，进行显影而设置外部连接用电极形成用的光 致抗蚀剂开口部51(图6的（f))。接着，用锻覆法或导体填充法形成外部连接用电极82， 然后，用光致抗蚀剂剥离液除去光致抗蚀剂50 (图6的（g))。另外，也可W采用完全除去基 板和盖部的表面存在的光致抗蚀剂残渣的洗漆工序。然后，使用树脂密封材90通过传递模 压法将中空构造部一起密封（图6的化)），通过回流搭载金属球70(图6的（i))，然后通 过切割（cutting)等方法分成单个而得到SAW滤波器100(图6的（j))。本发明中，金属球 70的搭载也可W在基板的切割工序后的单个封装体的状态下进行。
[0170] 此时，盖部40和/或肋部30要求具有在模具温度为150~180°C下的模压耐受 性。即，使用感光性树脂组合物制作盖部40和/或肋部30时，盖部40和/或肋部30优选 在150~180°C的温度下不变形，为了获得该些特性，盖部40和/或肋部30的玻璃化转变 温度优选为180°C W上。另外，150°C下的弹性模量优选为0. 5GPa W上，更优选为1. OGPa W 上，特别优选为1. 5GPa W上。150°C下的弹性模量的上限没有特别限定，但从实用的观点出 发，为lOGPa W下。通过具有上述弹性模量，可W提高模压耐受性，而且可W防止肋材的倒 塌。进而，还可W防止盖材的松弛，维持平坦性。
[0171] 如上所述，根据本发明，在SAW滤波器制造工序中，通过使用了溶剂显影液的光刻 法可W在压电基板上一并地形成厚膜肋图案，进而从其上面，将形成为薄膜状的感光性树 脂组合物的固化物（或陶瓷等密封用基板）作为盖部来进行密封，由此可W形成中空构造。 另外，由于该中空空间内可W通过周围的感光性树脂组合物而防湿，因此可W抑制侣电极 的腐蚀。另外，该树脂组合物在高温下具有高的弹性模量，所W即使在密封树脂模压时的温 度和压力下，也能够维持中空构造。
[0172] 实施例
[0173] 下面，根据实施例和比较例来更具体地说明本发明，但本发明不受W下实施例的 限定。
[0174] [实施例1~18 W及比较例1~3]
[017引将（A)具有至少一个締键式不饱和基团的光聚合性化合物、做光聚合引发剂W 及（C)无机填料分别按照下述表1和表2所示的配合比例（质量份）进行混合，得到实施 例1~18 W及比较例1~3的感光性树脂组合物的溶液。此外，表1和表2中的数字表示 固体成分的质量份。另外，表1和表2中的各成分是W下所示的化合物。
[0176] 酷胺甲基丙締酸醋（合成品）、酷胺丙締酸醋（合成品）、氨基甲酸醋丙締酸醋（合 成品）、UN-904 (商品名、氨基甲酸醋丙締酸醋、根上工业株式会社制）、UN-952 (商品名、氨 基甲酸醋丙締酸醋、根上工业株式会社制）、EA-6340(商品名、四氨邻苯二甲酸酢改性含有 己締基的苯酪型环氧树脂、中村化学工业株式会社制）、A-DPH(商品名、二季戊四醇六丙締 酸醋、新中村化学工业株式会社制）、多官能双酪A酪醒清漆型环氧树脂（商品名化iclon N-865、大日本油墨化学工业公司制）、感光性聚酷亚胺（溶剂显影负型感光性聚酷亚胺 UR-3100E 系列、Toray 株式会社制）、IRGACURE-0XE01 (商品名、1,2-辛二酬-1-[4-(苯硫 基）苯基]-2-(0-苯甲酯基朽、Ciba Specialty Chemicals株式会社制）、阳离子聚合引 发剂（二苯基〔4-(苯硫基）苯基）箭=氣=(五氣己基）磯酸醋）、作为无机填料的下述 的云母A、云母B、二氧化娃A W及二氧化娃B该四种：?云母A (长宽比90、体积平均粒径 27 y m) ?云母B (长宽比30、体积平均粒径5 y m) ?二氧化娃A (球状二氧化娃、体积平均粒 径0. 5 ym) ?二氧化娃B(Aerosil、体积平均粒径16nm)
[0177] [酷胺甲基丙締酸醋的合成]
[0178] 在带有温度计、揽拌装置的1升的反应容器中加入1，3-亚苯基双曠挫咐 380.0g(2.0mol)和228.0g(1.0mol)的双酪A，在150°C下揽拌10小时。然后，加入甲氧 基苯酪5(K)ppm和甲基丙締酸172. 0g(2. Omol)，在100°C下揽拌6小时，滴加二甲基己酷胺 190g，再在100°C下揽拌6小时，当酸值达到1. Im巧OH/g时停止揽拌，得到作为光聚合性不 饱和化合物的下述式（5)表示的化合物的溶液。得到的溶液的固体成分为80质量％。
[0179] [化引
[0180]
[0181] [酷胺丙締酸醋的合成]
[0182] 除了使用丙締酸144. 0g(2摩尔）代替甲基丙締酸W外，用与上述的酷胺甲基丙締 酸醋的情况同样的方法合成酷胺丙締酸醋。得到的溶液的固体成分为80质量％。
[0183] [氨基甲酸醋丙締酸醋的合成]
[0184] 在带有温度计、揽拌装置的1升的反应容器中加入1,4-环己烧二甲醇72. Og、间 苯二甲基二异氯酸醋193. Og、环己酬380g，在氮气气流下一边揽拌，一边加热至90°C~ 100°C，使其反应1小时。然后，加入季戊四醇S丙締酸醋306. Og，进行反应直到红外分光 分析中异氯酸醋的吸收消失为止，得到下述式（6)表示的氨基甲酸醋丙締酸醋化合物的溶 液。得到的溶液的固体成分为60质量％。
[0185] [化 6]
[0186]
[0187] <分辨率的评价>
[0188] 使用旋涂器在娃基板上均匀地涂布实施例和比较例的感光性树脂组合物的溶液， 在90°C的热板上干燥5分钟，形成干燥后的膜厚为30 ym的感光性树脂层。对于形成了该 感光性树脂层的试验基板，通过具有孔径为60 y m 4的开口图案的负型掩模，使用USHI0电 机公司制的近接式曝光机（商品名；UX-1000SM)，在曝光量为200mJ/cm 2下进行感光性树脂 组合物层的曝光。将该试验基板在作为有机溶剂系显影液的丙二醇单甲基離己酸醋中浸溃 3分钟而进行显影。用己酸正了醋洗漆显影后的抗蚀剂图案，干燥后进行观察，根据图7所 示的下述基准评价耐溶剂性。图7中，11表示娃基板，50表示感光性树脂组合物。其结果 不于表1和表2中。
[0189] A ;如图7的（a)所示，W 60 ymd