光通信滤光片真空镀膜机构的制作方法

文档序号:3378235阅读:252来源:国知局
专利名称:光通信滤光片真空镀膜机构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜机构,特别涉及一种用于对光通信滤光片进行真空镀膜的机构。
背景技术
光通信是指以光作为信息载体而实现的通信方式,按传输介质的不同可分为大气激光通信和光纤通信两种。光通信具有通信容量大、传输距离长、抗电磁干扰、传输质量佳、 信号串扰小,保密性好等优点,是未来传输网络发展的最终目标,具有非常广阔的市场前景。在光通信产品的双向收发器模块中,通过特定波长的雷射讯号,而反射不需要的波段通常采用滤光片(edge filters)实现,可以说滤光片在光通信产品中起着至关重要的作用。光通信滤光片在生产加工过程中根据不同厂家的要求,经常需要在光通信滤光片表面采用真空镀膜的方式镀金属膜,如金、白金、锌、钛、钨等。目前采用真空镀膜机进行镀膜时,一般每次只能对一块光通信滤光片进行镀膜,镀膜完成后需要将镀完膜的光通信滤光片从镀膜机中取出,然后再更换新的光通信滤光片进行镀膜。这样就需要操作人员连续不断的进行操作,操作人员的劳动强度很大。而且由于每次只能对一片光通信滤光片进行镀膜,因此生产效率很低,由此可见原有的这种镀膜方式费时费力,并不能满足现代企业的生产要求。

实用新型内容针对上述现有技术的不足,本实用新型要解决的技术问题是提供一种可同时对多片光通信滤光片进行真空镀膜的机构。为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案一种光通信滤光片真空镀膜机构,包括一真空镀膜机,所述真空镀膜机内设有至少一个极靶,所述真空镀膜机内设有一转盘,所述转盘位于所述极靶的下方,所述转盘与一转轴连接,所述转轴伸出所述真空镀膜机通过一传动机构与一电机连接,所述电机可通过该传动机构带动所述转盘旋转,所述转盘上设有数个光通信滤光片安装槽。优选的,所述数个光通信滤光片安装槽沿所述转盘的圆周均勻分布。优选的,所述光通信滤光片安装槽的一侧设有限位螺丝。上述技术方案具有如下有益效果该光通信滤光片真空镀膜机构在使用时,首先将数片光通信滤光片依次放置在转盘的光通信滤光片安装槽内,然后启动真空镀膜机,与此同时启动电机使转盘旋转,这样转盘上的光通信滤光片就可依次通过真空镀膜机极靶的下方,使靶材上的材料溅镀在光通信滤光片上,因此采用这种结构可对数片光通信滤光片同时进行真空镀膜,从而有效提高镀膜的效率,缩短镀膜的时间,提高生产效率。

图1为本实用新型实施例的整体结构示意图。[0011]图2为本实用新型实施例中转盘的结构示意图。
具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细介绍。如图1所示,该光通信滤光片真空镀膜机构包括一真空镀膜机1,真空镀膜机1内设有至少一个极靶2,极靶2的数量可根据要溅镀金属的种类进行设定。真空镀膜机1内设有一转盘3,转盘3位于极靶2的下方,转盘3与一转轴4连接,转轴4伸出真空镀膜机1 通过一传动机构5与一电机6连接,电机6可通过该传动机构5带动转盘3旋转。传动结构5可通过多种方式实现,但都为本领域技术人员公知技术,故在此不再详细描述。如图2 所述,转盘3上设有数个数个光通信滤光片安装槽31,光通信滤光片安装槽31可又来放置光通信滤光片,数个光通信滤光片安装槽沿所述转盘的圆周均勻分布。该光通信滤光片真空镀膜机构在使用时,首先将数片光通信滤光片依次放置在转盘3的光通信滤光片安装槽31内,然后启动真空镀膜机1,与此同时启动电机6使转盘3旋转,这样转盘3上的光通信滤光片就可依次通过真空镀膜机极靶的下方,使靶材上的材料溅镀在光通信滤光片上。为防止转盘3旋转过程中,光通信滤光片在离心力的作用下发生移位,可在光通信滤光片安装槽的一侧设有限位螺丝(图中未显示)。采用这种结构可对数片光通信滤光片同时进行真空镀膜,从而有效提高镀膜的效率,缩短镀膜的时间,提高生产效率。以上对本实用新型实施例所提供的一种光通信滤光片真空镀膜机构进行了详细介绍,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型实施例的思想,在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制,凡依本实用新型设计思想所做的任何改变都在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种光通信滤光片真空镀膜机构,包括一真空镀膜机,所述真空镀膜机内设有至少一个极靶,其特征在于所述真空镀膜机内设有一转盘,所述转盘位于所述极靶的下方,所述转盘与一转轴连接,所述转轴伸出所述真空镀膜机通过一传动机构与一电机连接,所述电机可通过该传动机构带动所述转盘旋转,所述转盘上设有数个光通信滤光片安装槽。
2.根据权利要求1所述的光通信滤光片真空镀膜机构,其特征在于所述数个光通信滤光片安装槽沿所述转盘的圆周均勻分布。
3.根据权利要求1所述的光通信滤光片真空镀膜机构,其特征在于所述光通信滤光片安装槽的一侧设有限位螺丝。
专利摘要本实用新型公开了一种光通信滤光片真空镀膜机构,包括一真空镀膜机,所述真空镀膜机内设有至少一个极靶,所述真空镀膜机内设有一转盘,所述转盘位于所述极靶的下方,所述转盘与一转轴连接,所述转轴伸出所述真空镀膜机通过一传动机构与一电机连接,所述电机可通过该传动机构带动所述转盘旋转,所述转盘上设有数个光通信滤光片安装槽。采用这种结构可对数片光通信滤光片同时进行真空镀膜,从而有效提高镀膜的效率,缩短镀膜的时间,提高生产效率。
文档编号C23C14/50GK202022975SQ20112005622
公开日2011年11月2日 申请日期2011年3月7日 优先权日2011年3月7日
发明者王喜昌 申请人:苏州鼎旺科技有限公司
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