专利名称：一种用于真空镀膜膜厚测试的支架的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其是涉及通过电子束蒸发镀膜的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架。
背景技术：
在真空镀膜领域，为了形成一定厚度规格的镀层薄膜，在批量镀膜之前，需要通过对镀膜的膜厚测试来对真空镀膜工艺参数进行测试调整，为此，必须使用镀膜测试样品进行测试薄膜样品制作，并且测量镀膜测试样品的实际膜厚，进而调整镀膜工艺。特别是在等离子电视机适用的等离子显示屏测试和制造过程中，必须对等离子显示屏的金属氧化物如氧化镁导电薄膜的膜厚进行精确测试，以调整真空镀膜设备的镀膜工艺参数，减少镀膜成品的不良率，提闻广品质量。目前，真空镀膜领域中常用的是电子束蒸发镀膜，该方法是依靠皮尔斯电子枪发射的高能电子束流轰击靶材，使靶材受热瞬间蒸发，最终沉积到相对位置的基片上，从而在基片上形成一层镀膜。对于薄膜厚度控制中的膜厚测试项目，传统的膜厚测试方法分为两种:第一种，直接使用玻璃基板(母板)进行镀膜，然后切割成样片，再用扫面电子显微镜进行截面表征，测量出膜层厚度。该测试方法所需的样品制作复杂，测试成本高，并且玻璃母板容易发生破碎，不宜量产应用。第二种，使用高温胶带将载玻片贴附在玻璃基板(母板)上进行镀膜，然后用台阶仪测量膜层厚度。该测试方法由于仍然必须使用玻璃母板作为载体，测试成本依然比较高，并且仍然存在玻璃母板破碎风险，同样不适宜量产应用。
实用新型内容本实用新型的目的在于:针对现有技术存在的问题，提供一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，利用该支架制成的镀膜测试样品进行膜厚测试，在保证测试精准度的前提下，降低测试成本，减少测试作业量，并且避免玻璃基板破碎风险，不影响量产设备稼动率。本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，主要包括支架加强板、样品托板和样品放置口。所述的支架加强板与样品托板之间紧固连接，所述的样品放置口设置在样品托板上。所述的支架加强板呈细长矩形状，其厚度为所述的样品托板厚度的两倍至四倍之间；所述的支架加强板共有两条，并且以样品托板长边对称轴为中心对称分布在样品托板的两侧边缘；所述的支架加强板的长边方向设置有若干个通孔，所有的通孔均沿着支架加强板长边对称轴呈“一”字型均匀分布。所述的样品托板是一个扁平矩形板，在托板上设置有若干个样品放置口和若干个螺纹孔。所述的样品放置口呈“十”字型，中部是矩形通孔，上下端是矩形沉头槽；所有的样品放置口均沿着样品托板长边对称轴呈“一”字型均匀分布，所有的螺纹孔以样品托板长边对称轴为中心对称均匀分布在样品托板的两侧边缘，并且与所述的支架加强板上的若干个通孔顺序一一对应。所述的支架加强板、样品托板和紧固螺钉均采用不锈钢制成。与现有技术相比，本实用新型一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，采用不锈钢制成的镀膜支架代替传统的玻璃基板(母板)，以载玻片为样品，将载玻片放置于支架上，再进入镀膜设备进行薄膜制备，然后对其膜厚进行测量。使用本实用新型进行膜厚测试，过程简单，测试成本低廉，测试数据准确，并且没有玻璃基板(母板)破碎风险。
图1为本实用新型一种用于真空镀膜膜厚测试的支架的俯视图。图2为本实用新型一种用于真空镀膜膜厚测试的支架的正视图。图3为本实用新型一种用于真空镀膜膜厚测试的支架的侧视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。如图1 图3所示，一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，主要包括支架加强板1、样品托板2和样品放置口 3。所述的支架加强板I呈细长矩形状，其厚度为所述的样品托板2厚度的两倍至四倍之间；所述的支架加强板I的数量共有两条，并且以样品托板2长边对称轴为中心对称分布在样品托板2的两侧边缘；在所述的支架加强板I的长边方向设置有若干个通孔，所有的通孔均沿着支架加强板I长边对称轴呈“一”字型均匀分布；所述的支架加强板I与样品托板2之间均采用紧固螺钉4紧固连接。所述的样品托板2是一个扁平矩形板，其上设置有若干个样品放置口 3和若干个螺纹孔；所述的样品放置口 3呈“十”字型，中部是矩形通孔，上下端是矩形沉头槽；所有的样品放置口 3均沿着样品托板2长边对称轴呈“一”字型均匀分布，所有的螺纹孔以样品托板2长边对称轴为中心对称均匀分布在样品托板2的两侧边缘，并且与所述的支架加强板I上的若干个通孔顺序一一对应。作为具体实施例，本实用新型一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，首先，必须根据所测量的镀膜设备的托盘实际尺寸来具体确定出支架的总体尺寸，然后再根据所选取的载玻片规格来具体确认出样品放置口 3的尺寸规格，本实施例采20个样品放置口 3，其相邻距离为105mm，所述的支架加强板I与样品托板2之间均采用Φ 10紧固螺钉4紧固连接。在实际测试过程中，首先将欲进行镀膜膜厚测试的载玻片放置在支架上的样品放置口 3，具体放置数量及位置随测试要求而定；再将支架整体放置在镀膜设备的托盘上，并随托盘进入镀膜腔室；载玻片样品在随着本支架进入镀膜设备的蒸镀腔室后，按照具体测试要求，依据预先设置的工艺参数完成镀膜制备过程，并形成膜厚测试样品；在镀膜完成后，取出支架整体，并取下载玻片，即得到镀膜样品，最后使用台阶仪测量镀膜的实际膜厚，并对镀膜样品进行相关特性检测，根据检测结果可以分析出最合适的最优化镀膜操作工艺参数，提高镀膜质量。由于本实用新型的支架加强板1、样品托板2和紧固螺钉4均采用不锈钢制成，而且所述的支架加强板I的厚度为所述的样品托板2厚度的两倍至四倍之间，可以确保在镀膜操作的高温环境中保持原状而不变形，使镀膜载玻片始终保持水平状态，从而保证镀膜均匀，膜厚一致，因此所测得膜厚数据准确度很高；设置多个样品放置口 3可以一次性地获取多个镀膜测试样品，方便膜厚测试数据的累积综合分析，大大降低了多次反复测试导致的测试成本，而且使用本实用新型也没有传统测试方法可能导致的玻璃基板破碎的风险。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，应当指出的是，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:所述的支架包括支架加强板(I)、样品托板(2)和样品放置口(3)，所述的支架加强板(I)与样品托板(2)之间紧固连接，所述的样品放置口(3)设置在样品托板(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:所述的支架加强板(I)的数量是两条，并且是以样品托板(2)长边对称轴为中心对称分布在样品托板(2)的两侧边缘。
3.根据权利要求1或者2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:单条所述的支架加强板(I)呈细长矩形状，其厚度为所述的样品托板(2)厚度的两倍至四倍之间。
4.根据权利要求1或者2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:所述的支架加强板(I)的长边方向设置有若干个通孔，所有的通孔均沿着支架加强板(I)长边对称轴呈“一”字型均匀分布。
5.根据权利要求1或者2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:所述的样品托板(2)是一个扁平矩形板，在所述的样品托板(2)上设置有若干个样品放置口(3)和若干个螺纹孔。
6.根据权利要求5所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:所述的若干个样品放置口(3)均沿着样品托板(2)长边对称轴呈“一”字型均匀分布。
7.根据权利要求5所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:所述的样品托板(2)上的若干个螺纹孔是以样品托板(2)长边对称轴为中心对称均匀分布在样品托板(2)的两侧边缘，并且与所述的支架加强板(I)上的若干个通孔顺序一一对应。
8.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:所述的样品放置口(3)呈“十”字型，中部是矩形通孔，上下端是矩形沉头槽。
9.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:所述的支架加强板(I)与样品托板(2)采用紧固螺钉(4)紧固连接。
10.根据权利要求1或者9所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，其特征在于:所述的支架加强板(I)、样品托板(2)和紧固螺钉(4)均采用不锈钢制成。
专利摘要本实用新型提供一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，主要包括支架加强板(1)、样品托板(2)和样品放置口(3)。所述的支架加强板(1)与样品托板(2)之间均采用紧固螺钉(4)紧固连接；所述的支架加强板(1)厚度为所述的样品托板(2)厚度的两倍至四倍之间；所述的样品托板(2)上均匀设置有若干个样品放置口(3)和若干个螺纹孔；所述的样品放置口(3)呈“十”字型，中部是矩形通孔，上下端是矩形沉头槽；所述的支架加强板(1)、样品托板(2)和紧固螺钉(4)均采用不锈钢制成。利用本实用新型所制得的膜厚测试样品，镀膜均匀，镀膜效率高，成本低廉，测试数据准确，并且没有传统的玻璃基板破碎风险。
文档编号C23C14/30GK202968684SQ20122064855
公开日2013年6月5日 申请日期2012年11月30日 优先权日2012年11月30日
发明者李凯, 段冰, 彭开烨 申请人:四川虹欧显示器件有限公司