1.一种导电薄膜,其特征在于,包括层叠的Pt层及R2O层。
2.根据权利要求1所述的导电薄膜,其特征在于,所述Me为钙元素,锶元素,钡元素中的一种。
3.根据权利要求1所述的导电薄膜,其特征在于,所述Pt层的厚度为5nm~20nm,所述R2O层的厚度为0.5nm~5nm。
4.一种导电薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
将Pt靶材及R2O靶材及衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体,其中,真空腔体的真空度为1.0×10-3Pa~1.0×10-5Pa;
在所述衬底表面溅镀Pt层,溅镀所述Pt层的工艺参数为:基靶间距为45mm~95mm,激光的能量为80W~300W,压强为3Pa~30Pa,通入惰性气体,惰性气体的流量为10sccm~40sccm,衬底温度为250℃~750℃;
在所述Pt层表面溅镀R2O层,溅镀所述R2O层的工艺参数为:基靶间距为45mm~95mm,激光的能量为80W~300W,压强为3Pa~30Pa,通入惰性气体,惰性气体的流量为10sccm~40sccm,衬底温度为250℃~750℃;及
剥离所述衬底,得到所述导电薄膜。
5.一种有机电致发光器件的基底,其特征在于,包括依次层叠的衬底、Pt层及R2O层。
6.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的基底,其特征在于,所述基底中的导电薄膜是纳米线结构的导电薄膜,所述纳米线直径为5nm~25nm。
7.一种有机电致发光器件的基底的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
将Pt靶材及R2O靶材及衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体,其中,真空腔体的真空度为1.0×10-3Pa~1.0×10-5Pa;
在所述衬底表面溅镀Pt层,溅镀所述Pt层的工艺参数为:基靶间距为45mm~95mm,激光的能量为80W~300W,压强为3Pa~30Pa,通入惰性气体,惰性气体的流量为10sccm~40sccm,衬底温度为250℃~750℃;
在所述Pt层表面溅镀R2O层,溅镀所述R2O层的工艺参数为:基靶间距为45mm~95mm,激光的能量为80W~300W,压强为3Pa~30Pa,通入惰性气体,惰性气体的流量为10sccm~40sccm,衬底温度为250℃~750℃。
8.一种有机电致发光器件,包括依次层叠的阳极、发光层以及阴极,其特征在于,所述阳极包括层叠的Pt层及R2O层。