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一种导电薄膜、其制备方法及其应用与流程
文档序号:11840631
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一种导电薄膜、其制备方法及其应用与流程
技术总结
一种导电薄膜,包括层叠的Pt层及R2O层,其中,R为锂元素,钠元素,钾元素,铷元素,铯元素中的一种。上述导电薄膜通过在Pt层的表面沉积及高功函的R2O层制备双层导电薄膜,既能保持Pt层的良好的导电性能,又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。
技术研发人员:
郑甘裕
受保护的技术使用者:
郑甘裕
文档号码:
201610414912
技术研发日:
2016.06.13
技术公布日:
2016.11.16
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