一种PVD法制备二硫化钨纳米薄膜的方法与流程

文档序号:12415581阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种二硫化钨纳米薄膜的制备方法。其特征在于,采用物理气相沉积(PVD)方法,以二硫化钨粉末为反应源在低真空(460-470Pa)的条件下经900℃-1000℃高温加热后冷却得到。

2.根据权利要求1所述的二硫化钨纳米薄膜的制备方法,其特征在于:二硫化钨粉末为反应源,二氧化硅/硅为衬底。

3.根据权利要求1所述的二硫化钨纳米薄膜的制备方法,其特征在于:反应系统为水平放置的石英管炉,二硫化钨粉末被置于水平石英管炉的热区中心,二氧化硅/硅衬底置于顺着气流下方14-17cm远的位置。

4.根据权利要求1所述的二硫化钨纳米薄膜的制备方法,其特征在于:反应源在40分钟内从室温加热到900℃-1000℃并维持30分钟到1小时,然后自然冷却至室温。

5.根据权利要求1所述的二硫化钨纳米薄膜的制备方法,其特征在于:整个过程中气压需要严格控制在460-470Pa,高纯氩气的流量为130-160sccm。

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