一种刻蚀机的制作方法与工艺

文档序号:13108444
技术领域本实用新型涉及一种刻蚀机。

背景技术:
现有的刻蚀机,都是只有一条气路,效率低下,且时间长了之后,会沾染灰层,影响刻蚀效果。

技术实现要素:
本实用新型的目的在于:提供一种效率高,且能清洗气路方便的刻蚀机。本实用新型是通过以下技术方案实现的:一种刻蚀机,包括机体及真空室,所述机体内有六条气管连通至真空室,其中两条气管连通至高压气泵,另外四条气管连通至真空泵;所述气管上均设有电磁阀,连通至真空泵的四条气管上还设有电磁流量计。进一步的,所述气管为合金气管。与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:本实用新型的刻蚀机,采用六路气管,两路气管连通高压气泵,起到清洗气路的作用,另外四路用来抽真空,效率高。附图说明图1是本实用新型的结构示意图。具体实施方式下面结合附图,对本实用新型作详细的说明。为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。如图1所示,1、一种刻蚀机,包括机体1及真空室2,所述机体1内有六条气管3连通至真空室2,其中两条气管3连通至高压气泵4,另外四条气管3连通至真空泵5;所述气管3上均设有电磁阀6,连通至真空泵5的四条气管3上还设有电磁流量计7。所述气管3为合金气管。
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