一种纳米薄膜的制备方法与流程

本发明涉及一种纳米薄膜的制备方法，属于纳米薄膜材料制备技术领域。

背景技术：

制冷技术在当今世界起着十分重要的作用,在工业生产、国防建设、医疗器械和日常生活都用重要的作用。而目前重要的制冷方式主要有三种：利用气体膨胀产生冷效应制冷，也是应用最为广泛的一种；利用固态物质相变的热效应实现制冷，如磁卡效应；利用半导体的温差效应实现制冷，如铅基热电材料。就这三种制冷方式而言目前最有发展前景的是固态磁制冷技术。

固态制冷技术与传统的制冷技术相比有许多不可以替代的优点：(1)绿色安全。工作物质不存在固-液-气三相转变，无气体工质的挥发、泄露、易燃、易爆等问题；(2)制冷能力强。固体材料通常密度较大，制冷能力强，易于小型化；(3)成本小，无噪音。利用外磁场或者电场调控磁相变或者电相变代替机械压力使工作物质的三相转变，使得设备简单噪音小；(4)高效节能。磁制冷的效率可达到卡诺循环的30％～60％，而气体压缩制冷一般仅为5％～10％，热电材料的制冷效率更低。而目前最固态制冷材料的研究主要集中在稀土合金顺磁材料，如real2系，reni2系；3d过渡金属的合金或化合物如la(fe，co，al)si3，以及一些钙钛矿氧化物和过渡金属基材料。但是这些材料有非常严重的缺点不耐氧化，氧化后失去制冷能力，且工作范围集中在某个较窄的温度区域，忽略了对低温磁制冷的研究。同时目前的磁致冷材料的磁热效应小，使得磁致冷机的工作磁场高、结构复杂、价格昂贵，造成磁致冷技术的进展和应用都非常缓慢，至今还没有在日常生活中商业化。

la(fe,si)13基磁制冷材料因原材料价格低廉、无毒，成为磁制冷工作物质的备选。固态工作物质与热交换液体接触，形成热交换平衡，从而实现制冷；la(fe,si)13材料的多物相组织特点使其浸润在交换液中(尤其是水基交换液)极易腐蚀。腐蚀导致磁制冷机的效率下降；为提高室温磁熵变，长时间的高温退火制备出的样品有大量次级相，同样不利于获得较大的绝热温变。

氧化物cro2颗粒作为磁性工作物质，有低场磁制冷效应；不同颗粒尺寸对磁卡效应具有调控作用，以单晶中的磁制冷热效应最为显著。绝热温变小，在1.7t下达到2.0k；单晶制备困难，成本高；磁熵变主要来源于自旋极化的改变，晶格熵和电子熵贡献量小，不利于从材料设计的角度来提高磁熵变。

双钙钛矿型锰氧化物la2comno6由于其低温的强铁磁性和磁电阻效应得到人们的极大关注。同时mn原子其电子结构复杂与过渡金属和稀土元素一起构织成一种强关联材料la2comno6，电子的自旋熵和磁极化明显易于受外场的调控，从而表现出大的磁熵变和绝热温变。然而对于la2comno6纳米薄膜的磁制冷效应的研究少之又少。

技术实现要素：

针对以上问题，本专利提出了一种采用简易溶胶-凝胶法经rtp快速热处理工艺提供制备抗氧化型双钙钛矿la2comno6低温磁制冷纳米薄膜的方法。采用简易溶胶-凝胶法制备纳米薄膜，具有溶胶-凝胶的工艺优点和固态制冷技术的优点。绿色、低成本，高效率、低噪音，抗氧化、器件微型化，适用于工业生产。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种纳米薄膜的制备方法，其包括以下步骤：

(1)将镧盐、钴盐和锰盐按照摩尔比2:1:1混合，然后倒入到乙二醇与甲醚的混合溶液中，然后密封保存，将混合物搅拌400-600min，形成镧盐、钴盐和锰盐总浓度为0.15-0.25mol/l呈透明清晰的溶胶，加入乙酰丙酮，室温静置老化70-80小时；

(2)以单晶si为衬底，在衬底上沉积薄膜，慢速350-450r/min时长15-20s，快速3800-4200r/min时长40-60s，薄膜在衬底上旋涂甩膜沉积，烘烤温度250-300℃时长1-3min；

(3)将步骤2所得初始薄膜用快速热处理系统(rtp)在氧气气氛中退火，按照升温速率100-200℃/s，升温至700-800℃，在700-800℃时长150-250s，气体流量0.3-0.5l/min；

(4)重复步骤(2)和(3)10-20次使得薄膜厚度达到一百纳米以上；

(5)将步骤4最终所得到的薄膜在rtp中，在700-800℃时长850-950s，气体束流0.3-0.5l/min即得。

所述镧盐、钴盐和锰盐分别为分析纯的la(no3)3·5h2o、co(no3)2·4h2o和mn(ch3coo)2，乙二醇与甲醚的混合溶液中乙二醇与甲醚的体积比为6：4，搅拌采用磁力搅拌或者机械搅拌。

所述乙酰丙酮的加入量为质量分数0.05-0.15％。

所述步骤(3)和步骤(5)的薄膜生长气氛均为氧气气氛。

本发明提出了一种制备抗氧化型双钙钛矿结构多晶la2comno6低温磁制冷纳米薄膜、低温氧化物固态制冷技术，即在la2comno6纳米薄膜的相变点210k附近发生磁熵变，外加磁场下磁制冷薄膜从一种无序态变化到一种有序态，随着磁熵的减小放热过程。撤去外磁场时，磁矩杂乱排布，磁熵增大的吸热过程。在连续变化的磁场中，把这样退场吸热和加场放的热过程连接起来，就可以使磁性薄膜材料从一端放热而在另一端吸热，类似于气体制冷技术中的工作原理，从而达到通过改变外加磁场来实现制冷的目的，实现氧化物低温磁制冷的固态制冷技术。所制备的薄膜通过等电子替代掺杂调控电子结构和相变温度，拓宽制冷工作范围和制冷效率，使得固体磁制冷薄膜的工作温度在一个较宽的低温区域，且有较大的制冷效率。可以用于低温固态制冷器件的开发，并设计了相关技术的应用原理图。

本发明提供了抗氧化型双钙钛矿la2comno6低温磁制冷纳米薄膜、低温氧化物固态制冷技术。采用简易溶胶-凝胶法制备纳米薄膜，具有溶胶-凝胶的工艺优点和固态制冷技术的优点。绿色、低成本，高效率、低噪音，抗氧化、器件微型化，适用于工业生产。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1为本发明制备出的双钙钛矿la2comno6低温磁制纳米冷薄膜的xrd衍射图。

图2为本发明制备出的双钙钛矿la2comno6低温磁制冷纳米薄膜在不同温度下的磁性。

图3为本发明制备出的双钙钛矿la2comno6低温磁制冷纳米薄膜在不同温度下的磁熵变、绝热温变。

图4为本发明制备出的双钙钛矿la2comno6低温磁制冷纳米薄膜的制冷效率和循环制冷示意图。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

实施例一

(1)将纯度为分析纯的la(no3)3·5h2o,co(no3)2·4h2o，mn(ch3coo)2按通式la2comno6混合成原料并溶于乙二醇甲醚与乙二醇体积比为6：4的溶剂中，配制成混合物20ml。用保鲜膜密封烧杯口，将该混合物在室温下磁力搅拌器上室温30℃搅拌500分钟，形成浓度为0.2mol/l透明清晰的溶胶，加入1ml乙酰丙酮，室温静置老化72小时。

(2)选取衬底为单晶si(100),慢速400r/min时长18s；快速4000r/min时长50s，在衬底上旋涂甩膜沉积，薄膜烘烤温度280℃时长2min。

(3)将步骤2所得初始薄膜用rtp退火，升温速率110℃/s，氧气氛750℃退火时长210s，氧气束流0.4l/min。

(4)重复步骤2、3达18次所得薄膜厚度约700nm。

(5)步骤4所得到的薄膜在rtp中氧气氛750℃时长900s，氧气束流0.4l/min即得。

实施例2

一种纳米薄膜的制备方法，其包括以下步骤：

(1)将镧盐、钴盐和锰盐按照摩尔比2:1:1混合，然后倒入到乙二醇与甲醚的混合溶液中，然后密封保存，将混合物搅拌500min，形成镧盐、钴盐和锰盐总浓度为0.19mol/l呈透明清晰的溶胶，加入乙酰丙酮，室温静置老化78小时；

(2)以单晶si(111)为衬底，在衬底上沉积薄膜，慢速420r/min时长19s，快速3850r/min时长45s，薄膜在衬底上旋涂甩膜沉积，烘烤温度280℃时长1.3min；

(3)将步骤2所得初始衬底薄膜用rtp退火气氛中，按照升温速率150℃/s，升温至780℃，在780℃时长170s，气体束流0.35l/min；

(4)重复步骤(2)和(3)14次使得薄膜厚度达到一百纳米以上；

(5)将步骤4最终所得到的薄膜在rtp中，在750℃时长870s，气体束流0.4l/min即得。

所述镧盐、钴盐和锰盐分别为分析纯的la(no3)3·5h2o、co(no3)2·4h2o和mn(ch3coo)2，乙二醇与甲醚的混合溶液中乙二醇与甲醚的体积比为6：4，搅拌采用磁力搅拌或者机械搅拌。

所述乙酰丙酮的加入量为质量分数0.01％。

所述步骤(3)和步骤(5)的薄膜生长气氛均为氧气气氛。

实施例3

一种纳米薄膜的制备方法，其包括以下步骤：

(1)将镧盐、钴盐和锰盐按照摩尔比2:1:1混合，然后倒入到乙二醇与甲醚的混合溶液中，然后密封保存，将混合物搅拌550min，形成镧盐、钴盐和锰盐总浓度为0.195mol/l呈透明清晰的溶胶，加入乙酰丙酮，室温静置老化76小时；

(2)以单晶si为衬底，在衬底上沉积薄膜，慢速390r/min时长18.5s，快速4100r/min时长52s，薄膜在衬底上旋涂甩膜沉积，烘烤温度285℃时长1.5min；

(3)将步骤2所得初始衬底薄膜用rtp退火气氛中，按照升温速率120℃/s，升温至700℃，在700℃时长185s，气体束流0.35l/min；

(4)重复步骤(2)和(3)15次使得薄膜厚度达到一百纳米以上；

(5)将步骤4最终所得到的薄膜在rtp中，在750℃时长895s，气体束流0.35l/min即得。

所述镧盐、钴盐和锰盐分别为分析纯的la(no3)3·5h2o、co(no3)2·4h2o和mn(ch3coo)2，乙二醇与甲醚的混合溶液中乙二醇与甲醚的体积比为6：4，搅拌采用磁力搅拌或者机械搅拌。

所述乙酰丙酮的加入量为质量分数0.12％。

所述步骤(3)和步骤(5)的薄膜生长气氛均为氧气气氛。

如图1所示，xrd图片显示出成功制备多晶la2comno6纳米薄膜。通过精修确认薄膜为单相的双钙钛矿结构，纯相物质的磁极化比较大且相变明显，从而具备了表现出显著的磁制冷性能。

如图2和图3所示，变温磁行为，磁熵变、绝热温变指出所制备双钙钛矿抗氧化la2comno6低温磁制冷纳米薄膜有明显的相变点。磁学行为在210k附近有最大的磁熵变6.5j/kg·k,外加3t磁场有最大绝热温变4.3k，该数值可以达到实用范围，实现了低温制冷的效果。

图4给出了这种新型的双钙钛矿抗氧化la2comno6低温磁制冷纳米薄的制冷效率，相对制冷功率(rcp)在3t时到最大360j/kg，比传统的稀土合金磁制冷材料要高；同时也给出了低温稳态制冷技术器件的设计原理图。

本发明的有益性体现在采用溶胶-凝胶快速热处理过程制备出双钙钛矿抗氧化la2comno6低温磁制冷纳米薄膜，实现了低温固态磁制冷技术。3t外磁场210k最大绝热温变达4.3k。随着外磁场的交替变化可以实现低温持续制冷，有很大的实用价值和科研意义。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。