一种线性蒸发源系统及蒸镀装置的制作方法

文档序号:12986667阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种线性蒸发源系统,其特征在于,包括:坩埚和与所述坩埚连接的称重装置,所述称重装置包括支撑平台,所述坩埚设于所述支撑平台上,且所述坩埚背离所述支撑平台的一侧设有多个喷嘴。

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源系统,其特征在于,所述称重装置包括第一承载板,所述第一承载板上设有压力传感器,且所述第一承载板朝向所述坩埚的一侧形成所述支撑平台。

3.根据权利要求2所述的线性蒸发源系统,其特征在于,所述支撑平台与所述坩埚之间设有平坦层。

4.根据权利要求1所述的线性蒸发源系统,其特征在于,所述称重装置包括第二承载板、第三承载板和激光装置;

所述第二承载板朝向所述坩埚的一侧形成所述支撑平台;

所述第二承载板和第三承载板相对设置,且所述第二承载板位于所述第三承载板朝向所述坩埚的一侧,所述第二承载板与所述第三承载板间设有弹性装置;

所述激光装置与所述第三承载板相对固定,且所述激光装置设于所述坩埚的周侧,所述坩埚与所述激光装置相对的外侧面上设有多个沿垂直于所述支撑平台方向排列的刻度标识。

5.根据权利要求4所述的线性蒸发源系统,其特征在于,刻度标识包括刻度线。

6.根据权利要求4所说的线性蒸发源系统,其特征在于,所述第二承载板上设置有压力传感器。

7.根据权利要求6所述的线性蒸发源系统,其特征在于,所述支撑平台与所述坩埚间设有平坦层。

8.根据权利要求4所述的线性蒸发源系统,其特征在于,所述弹性装置包括弹簧,所述弹簧的一端与所述第二承载板连接,所述弹簧的另一端与所述第三承载板连接。

9.根据权利要求8所述的线性蒸发源系统,其特征在于,所述弹簧包括压缩弹簧。

10.一种蒸镀装置,其特征在于,包括权利要求1-9任意一项所述的线性蒸发源系统。

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