一种线性蒸发源系统及蒸镀装置的制作方法

文档序号:12986667阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及显示技术领域,公开了一种线性蒸发源系统及蒸镀装置,该线性蒸发源系统中包括:坩埚和与坩埚连接的称重装置,称重装置包括支撑平台,坩埚设于支撑平台上,且坩埚背离支撑平台的一侧设有多个喷嘴。上述线性蒸发源系统中,利用称重装置在蒸镀工作开始前后称量的坩埚的重量值进行简单计算,可以较准确地测量出坩埚内材料的剩余量。

技术研发人员:胡海兵
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
文档号码:201720451863
技术研发日:2017.04.26
技术公布日:2017.11.24

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