镀膜热蒸发真空系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种制备有机薄膜和电极的镀膜热蒸发真空系统，属于固态薄膜制备领域。
【背景技术】
[0002]基于量子点的LED器件的制备需要多种工艺，包括使用匀胶机甩膜制备聚合物薄膜和量子点薄膜、使用真空热蒸发制备有机薄膜和电极等。器件的表征和测试也会用到多种方法，比如用kethley测量基于量子点LED的电流特性、用荧光光谱仪测量器件的吸收谱和发射谱以及电致发光谱、用台阶仪标定各膜层的厚度等等。其中，ITO玻璃的刻蚀过程以及注意事项，经过这些步骤处理的玻璃基片已经比较清洁，但是对于器件制备的需求来讲，还是远远不够的。在每次器件制备之前，都需要对器件进行一次系统的清洗。如果不能够执行严格的操作步骤，导致生产出的器件性能影响非常显著。目前很多操作需要人工来完成，操作的精确度和产品的次品率较高，不能够实现充分的量产。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0004]本实用新型提供了一种镀膜热蒸发真空系统，主要包括真空室、分子栗和机械栗，所述真空室分别通过管道与分子栗和机械栗连接，分子栗通过管道和机械栗连接，真空室和分子栗之间的连接管道中间设置有闸板阀，分子栗和机械栗之间的连接管道中间设置有挡板阀，真空室和机械栗之间的连接管道中间设置有旁抽阀。
[0005]优选的，上述真空室的一端设置有电离。
[0006]优选的，上述机械栗和真空室以及分子栗的两部分连接管道互相交汇。
[0007]优选的，在管道的交汇点和机械栗之间设置有热偶。
[0008]优选的，上述挡板阀设置在管道的交汇点和分子栗之间。
[0009]本实用新型提供的镀膜热蒸发真空系统通过巧妙的设计，提供了一种非常高效安全的操作系统，能够极大地提高生产器件的工作效率，并且大大降低产品的次品率，操作简单方便。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型结构示意图。
[0011]附图标记:1-真空室；2_分子栗；3_机械栗；4_闸板阀；5_挡板阀；6_旁抽阀；
7-电离；8_热偶。
【具体实施方式】
[0012]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0013]如图1所示，本实用新型提供的镀膜热蒸发真空系统，主要包括真空室1、分子栗2和机械栗3，真空室I分别通过管道与分子栗2和机械栗3连接，分子栗2通过管道和机械栗3连接，真空室I和分子栗2之间的连接管道中间设置有闸板阀4，分子栗2和机械栗3之间的连接管道中间设置有挡板阀5，真空室I和机械栗3之间的连接管道中间设置有旁抽阀6。
[0014]真空室I的一端设置有电离7。机械栗3和真空室I以及分子栗2的两部分连接管道互相交汇，形成三叉口管道交汇点。在管道的交汇点和机械栗3之间设置有热偶8。挡板阀5设置在管道的交汇点和分子栗2之间。
[0015]分子栗2必须在前后两端都低于1Pa才能启动，否则容易损坏。熟悉真空操作的原理，对于熟练掌握操作流程，避免操作失误非常重要。
[0016]本实用新型的操作方法是:
[0017]1、打开总控电源，打开机械栗3。
[0018]2、旋开真空蒸镀室前门旋钮，这样做的目的是防止室内压力下降后无法打开真空室I门。
[0019]3、打开氮气瓶的通气阀，按下放气阀，向真空室I中冲入氮气。真空蒸镀室内部气压逐渐升高，等待前门弹开后，关闭放气阀，并且关闭氮气瓶的通气阀。
[0020]4、打开真空蒸镀室前门，将玻璃基板放置在样品架上，将镀膜材料(有机物或者金属材料)放在蒸发源内。
[0021]5、关闭真空室I门，用手紧紧压平蒸镀室的前门，踩下脚踏式的旁抽阀，对真空室I进行初步抽真空，大气压将真空室I紧紧关闭压紧。
[0022]6、初步对真空室I抽真空之后，打开总控电源面板上的旁抽阀6 (该旁抽阀6与脚踏式的旁抽阀6为同一个阀门)。注意:此时必须保证挡板阀5和闸板阀4处于关闭状态。这一步是预抽真空阶段，将真空室I的气压抽到比较低的真空度。
[0023]7、打开热偶压力计，热偶压力计指示此时真空室I的内压力，当真空室I内压力低于1Pa后，关闭旁抽阀6。
[0024]8、打开挡板阀5，然后打开闸板阀4，最后启动分子栗2控制器运行，分子栗2控制面板显示“转速追踪过程中”，当面板上“当前频率”显示为450Hz时，说明分子栗2完成了加速过程，这时打开电离压力计，继续抽真空，直至真空度达到所需的要求，一般为8 X 10-4Pa以下。
[0025]9、热蒸发制备有机物或者金属薄膜。
[0026]10、蒸镀完成之后，首先应该关闭电离压力计。这时由于电离压力计只能工作在高真空情况下，在低真空情况下会造成压力计的损坏。
[0027]11、关闭闸板阀4，然后关闭分子栗2，等待分子栗2转速逐渐降低，最后处于待机状态后，关闭挡板阀5。
[0028]12、此时即可通过放气阀对真空室放气，以便取出玻璃基片。
[0029]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种镀膜热蒸发真空系统，其特征在于:所述真空系统主要包括真空室(1)、分子栗(2)和机械栗(3)，所述真空室(I)分别通过管道与分子栗(2)和机械栗(3)连接，分子栗(2)通过管道和机械栗(3)连接，真空室(I)和分子栗(2)之间的连接管道中间设置有闸板阀(4)，分子栗(2)和机械栗(3)之间的连接管道中间设置有挡板阀(5)，真空室(I)和机械栗(3)之间的连接管道中间设置有旁抽阀(6)。2.根据权利要求1所述的镀膜热蒸发真空系统，其特征在于:所述真空室(I)的一端设置有电离(7)。3.根据权利要求1所述的镀膜热蒸发真空系统，其特征在于:所述机械栗(3)和真空室(I)以及分子栗(2)的两部分连接管道互相交汇。4.根据权利要求3所述的镀膜热蒸发真空系统，其特征在于:在管道的交汇点和机械栗⑶之间设置有热偶⑶。5.根据权利要求3或4所述的镀膜热蒸发真空系统，其特征在于:所述挡板阀(5)设置在管道的交汇点和分子栗(2)之间。
【专利摘要】本实用新型涉及一种镀膜热蒸发真空系统，主要包括真空室(1)、分子泵(2)和机械泵(3)，所述真空室(1)分别通过管道与分子泵(2)和机械泵(3)连接，分子泵(2)通过管道和机械泵(3)连接，真空室(1)和分子泵(2)之间的连接管道中间设置有闸板阀(4)，分子泵(2)和机械泵(3)之间的连接管道中间设置有挡板阀(5)，真空室(1)和机械泵(3)之间的连接管道中间设置有旁抽阀(6)。真空室(1)的一端设置有电离(7)。本实用新型提供的镀膜热蒸发真空系统通过巧妙的设计，提供了一种非常高效安全的操作系统，能够极大地提高生产器件的工作效率，并且大大降低产品的次品率，操作简单方便。
【IPC分类】C23C14/56, C23C14/26
【公开号】CN204803394
【申请号】CN201520410339
【发明人】陈巧珍
【申请人】陈巧珍
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年6月8日