专利名称：一种纳米氧化锌自动制备系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及纳米氧化锌制备领域，具体地讲，涉及一种纳米氧化锌自动制备系统。
技术背景目前，通过磁控溅射、激光脉冲等一系列物理方法 进行晶种层的制备成本高，对衬底的质量要求高，不易实现大规模生产；通过溶胶凝胶法制备晶种层耗时高，需要多步进行才能生长出晶种层，该晶种层的生长取向性不如磁控溅射 、激光脉冲方法长出来的效果好。此为现有技术的不足之处。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种纳米氧化锌自动制备系统，减少晶种层制备的时间，能耗少，对衬底质量要求低，且能生长出结晶质量好的纳米氧化锌结构，易于实现大规模生产。本实用新型采用如下技术方案实现发明目的一种纳米氧化锌自动制备系统，包括超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉，其特征是所述超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉都连接控制器，所述控制器连接机械手。作为对本技术方案的进一步限定，所述控制器上设置计时单元、机械手控制单元和测温单元。作为对本技术方案的进一步限定，所述衬底上设置有测温装置一，所述测温装置一连接控制器。作为对本技术方案的进一步限定，所述高压釜上设置有测温装置二，所述测温装置二连接控制器。与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果是本实用新型的控制器控制超声喷雾装置将醋酸锌溶液沉积到温度为300摄氏度的衬底上，在衬底上生长出晶种层，机械手将生长好晶种层的衬底放入高压釜中，倒入硝酸锌和六次甲基四胺配比组成的生长溶液，在一定温度下生长计时单元设定的时间，当高压釜内的测温装置测试到高压釜降低到室温后，机械手将衬底从高压釜中取出，放入马弗炉，在马弗炉中进行快速退火，即得到氧化锌纳米结构样品。本实用新型减少晶种层制备的时间，能耗少，对衬底质量要求低，且能生长出结晶质量好的纳米氧化锌结构，易于实现大规模生产。
图I为本实用新型优选实施例的原理方框图。
具体实施方式
以下结合附图和优选实施例对本实用新型作更进一步的详细描述。[0012]参见图1，本实用新型包括超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉、控制器、机械手、测温装置一、测温装置二，所述超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉都连接控制器，所述控制器连接机械手。所述控制器上设置计时单元、机械手控制单元和测温单元。所述衬底上设置有测温装置一，所述测温装置一连接控制器。测温装置一将衬底温度发送到控制器，便于控制器控制超声喷雾装置工作。所述高压釜上设置有测温装置二，所述测温装置二连接控制器。测温装置二将高压釜内的温度发送到控制器，当衬底在高压釜内达到设定的时间和温度时，控制机械手将衬底从高压釜内取出。本实用新型的工作流程为本实用新型的控制器控制超声喷雾装置将醋 酸锌溶液沉积到温度为300摄氏度的衬底上，在衬底上生长出晶种层，机械手将生长好晶种层的衬底放入高压釜中，倒入硝酸锌和六次甲基四胺配比组成的生长溶液，在一定温度下生长计时单元设定的时间，当高压釜内的测温装置测试到高压釜降低到室温后，机械手将衬底从高压釜中取出，放入马弗炉，在马弗炉中进行快速退火，即得到氧化锌纳米结构样品。当然，上述说明并非对本实用新型的限制，本实用新型也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种纳米氧化锌自动制备系统，包括超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉，其特征是所述超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉都连接控制器，所述控制器连接机械手。
2.根据权利要求I所述纳米氧化锌自动制备系统，其特征是所述控制器上设置计时单元、机械手控制单元和测温单元。
3.根据权利要求I所述纳米氧化锌自动制备系统，其特征是所述衬底上设置有测温装置一，所述测温装置一连接控制器。
4.根据权利要求I所述纳米氧化锌自动制备系统，其特征是所述高压釜上设置有测温装置二，所述测温装置二连接控制器。
专利摘要本实用新型公开了一种纳米氧化锌自动制备系统，包括超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉，其特征是所述超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉都连接控制器，所述控制器连接机械手。本实用新型减少晶种层制备的时间，能耗少，对衬底质量要求低，且能生长出结晶质量好的纳米氧化锌结构，易于实现大规模生产。
文档编号C01G9/02GK202688004SQ20122034647
公开日2013年1月23日 申请日期2012年7月18日 优先权日2012年7月18日
发明者张仲, 刘如喜, 黄金昭, 李世帅, 李泓霖 申请人:济南大学