层叠陶瓷电容器及其制造方法_6

文档序号:9620166阅读:来源:国知局
中,1?是1^、〇6、?厂制、3111411、6(1、113、0 7、!1〇及¥中的至少1种, 1是血、(:〇、卩6、0、(:11、]\%、厶1、¥、]\1〇及¥中的至少1种, 在所述电介质陶瓷层中,在将Ti含量设为100摩尔份时, Ca含量为0. 5摩尔份以上且为2. 5摩尔份以下, R含量为〇. 5摩尔份以上且为4摩尔份以下, Μ含量为0. 5摩尔份以上且为2摩尔份以下, Si含量为1摩尔份以上且为4摩尔份以下, 所述晶粒含有以所述钙钛矿型化合物作为主成分的钙钛矿型晶粒, 在所述钙钛矿型晶粒中,在以测定点处Ca相对于Ti100摩尔份的相对浓度来表示Ca浓度的情况下, 将测定出比晶粒的中心附近所测定出的Ca浓度多0. 1摩尔份以上的Ca浓度的区域 的、从晶界朝向晶粒的中心测定的距离定义为"Ca扩散深度"时,"Ca扩散深度"为晶粒的平 均粒径的10%以内,并且 将规定为"Ca扩散深度"的区域中的平均Ca浓度与晶粒的中心附近所测定出的Ca浓 度之差定义为"增加Ca浓度"时,"增加Ca浓度"为0. 2摩尔份以上且为5摩尔份以下。4. 一种层叠陶瓷电容器,其具备: 层叠体,其具有由具有晶粒及晶界的电介质陶瓷构成的、被层叠了的多个电介质陶瓷 层、和沿着所述电介质陶瓷层间的多个界面分别配置的多个内部电极;和 外部电极,其形成于所述层叠体的表面,并且与所述内部电极的特定的内部电极电连 接, 所述层叠体含有: 包含Ba、Ca及Ti的钙钛矿型化合物;和 〇&、1?、]\1、以及31,其中,1?是1^、〇6、?厂制、3111411、6(1、113、0 7、!1〇及¥中的至少1种, 1是血、(:〇、卩6、0、(:11、]\%、厶1、¥、]\1〇及¥中的至少1种, 在所述层叠体中,在将Ti含量设为100摩尔份时, Ca含量为2. 5摩尔份以上且为15摩尔份以下, R含量为〇. 5摩尔份以上且为4摩尔份以下, Μ含量为0. 5摩尔份以上且为2摩尔份以下, Si含量为1摩尔份以上且为4摩尔份以下, 所述晶粒含有以所述钙钛矿型化合物作为主成分的钙钛矿型晶粒, 在所述钙钛矿型晶粒中,在以测定点处Ca相对于Ti100摩尔份的相对浓度来表示Ca浓度的情况下, 将测定出比晶粒的中心附近所测定出的Ca浓度多0. 1摩尔份以上的Ca浓度的区域 的、从晶界朝向晶粒的中心测定的距离定义为"Ca扩散深度"时,"Ca扩散深度"为晶粒的平 均粒径的10%以内,并且 将规定为"Ca扩散深度"的区域中的平均Ca浓度与晶粒的中心附近所测定出的Ca浓 度之差定义为"增加Ca浓度"时,"增加Ca浓度"为0. 2摩尔份以上且为5摩尔份以下。5. -种层叠陶瓷电容器,其具备: 层叠体,其具有由具有晶粒及晶界的电介质陶瓷构成的、被层叠了的多个电介质陶瓷 层、和沿着所述电介质陶瓷层间的多个界面分别配置的多个内部电极;和 外部电极,其形成于所述层叠体的表面,并且与所述内部电极的特定的内部电极电连 接, 所述层叠体含有: 包含Ba、Ca及Ti的钙钛矿型化合物;和 〇&、1?、]\1、以及31,其中,1?是1^、〇6、?厂制、3111411、6(1、113、0 7、!1〇及¥中的至少1种, 1是血、(:〇、卩6、0、(:11、]\%、厶1、¥、]\1〇及¥中的至少1种, 在对所述层叠体进行溶解处理而制成溶液的情况下,在将Ti含量设为100摩尔份时,Ca含量为2. 5摩尔份以上且为15摩尔份以下, R含量为〇. 5摩尔份以上且为4摩尔份以下, Μ含量为0. 5摩尔份以上且为2摩尔份以下, Si含量为1摩尔份以上且为4摩尔份以下, 所述晶粒含有以所述钙钛矿型化合物作为主成分的钙钛矿型晶粒, 在所述钙钛矿型晶粒中,在以测定点处Ca相对于Ti100摩尔份的相对浓度来表示Ca浓度的情况下, 将测定出比晶粒的中心附近所测定出的Ca浓度多0. 1摩尔份以上的Ca浓度的区域 的、从晶界朝向晶粒的中心测定的距离定义为"Ca扩散深度"时,"Ca扩散深度"为晶粒的平 均粒径的10%以内,并且 将规定为"Ca扩散深度"的区域中的平均Ca浓度与晶粒的中心附近所测定出的Ca浓 度之差定义为"增加Ca浓度"时,"增加Ca浓度"为0. 2摩尔份以上且为5摩尔份以下。6. -种层叠陶瓷电容器,其具备: 层叠体,其具有由具有晶粒及晶界的电介质陶瓷构成的、被层叠了的多个电介质陶瓷 层、和沿着所述电介质陶瓷层间的多个界面分别配置的多个内部电极;和 外部电极,其形成于所述层叠体的表面,并且与所述内部电极的特定的内部电极电连 接, 所述电介质陶瓷层含有: 包含Ba、Ca及Ti的钙钛矿型化合物;和 〇&、1?、]\1、以及31,其中,1?是1^、〇6、?厂制、3111411、6(1、113、0 7、!1〇及¥中的至少1种, 1是血、(:〇、卩6、0、(:11、]\%、厶1、¥、]\1〇及¥中的至少1种, 在所述电介质陶瓷层中,在将Ti含量设为100摩尔份时, Ca含量为2. 5摩尔份以上且为15摩尔份以下, R含量为〇. 5摩尔份以上且为4摩尔份以下, Μ含量为0. 5摩尔份以上且为2摩尔份以下, Si含量为1摩尔份以上且为4摩尔份以下, 所述晶粒含有以所述钙钛矿型化合物作为主成分的钙钛矿型晶粒, 在所述钙钛矿型晶粒中,在以测定点处Ca相对于Ti100摩尔份的相对浓度来表示Ca浓度的情况下, 将测定出比晶粒的中心附近所测定出的Ca浓度多0. 1摩尔份以上的Ca浓度的区域 的、从晶界朝向晶粒的中心测定的距离定义为"Ca扩散深度"时,"Ca扩散深度"为晶粒的平 均粒径的10%以内,并且 将规定为"Ca扩散深度"的区域中的平均Ca浓度与晶粒的中心附近所测定出的Ca浓 度之差定义为"增加Ca浓度"时,"增加Ca浓度"为0. 2摩尔份以上且为5摩尔份以下。7. 根据权利要求1至6中任一项所述的层叠陶瓷电容器,其中, 在规定为"Ca扩散深度"的区域中,R同样地扩散。8. 根据权利要求1至7中任一项所述的层叠陶瓷电容器,其中, 所述电介质陶瓷层的各自的厚度的平均值为〇. 8μπι以下。9. 一种层叠陶瓷电容器的制造方法,其具备: 得到陶瓷浆料的工序,所述陶瓷浆料含有以包含Ba及Ti的钙钛矿型化合物作为主成 分的主成分粉末、Ca化合物、R化合物、Μ化合物、和Si化合物,其中,R是La、Ce、Pr、Nd、 Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho及Y中的至少 1 种,M是Μη、Co、Fe、Cr、Cu、Mg、Al、V、Mo及W中的至 少1种, 将所述陶瓷浆料成形为片状而得到陶瓷生片的工序; 在所述陶瓷生片上形成内部电极的工序; 得到未烧的层叠体的工序,所述层叠体具有将包括形成有所述内部电极的所述陶瓷生 片在内的多个所述陶瓷生片层叠而成的结构; 将所述未烧的层叠体烧成,而得到具有由具有晶粒及晶界的电介质陶瓷构成的多个电 介质陶瓷层、和沿着所述电介质陶瓷层间的多个界面分别配置的多个内部电极的层叠体的 工序;以及 在所述层叠体的表面形成外部电极,使其与所述内部电极的特定的内部电极电连接的 工序, 在所述陶瓷浆料中,在将Ti含量设为100摩尔份时, Ca含量为0. 5摩尔份以上且为2. 5摩尔份以下, R含量为〇. 5摩尔份以上且为4摩尔份以下, Μ含量为0. 5摩尔份以上且为2摩尔份以下, Si含量为1摩尔份以上且为4摩尔份以下, 所述晶粒含有以所述钙钛矿型化合物作为主成分的钙钛矿型晶粒, 在所述钙钛矿型晶粒中,在以测定点处Ca相对于Ti100摩尔份的相对浓度来表示Ca浓度的情况下, 将测定出比晶粒的中心附近所测定出的Ca浓度多0. 1摩尔份以上的Ca浓度的区域 的、从晶界朝向晶粒的中心测定的距离定义为"Ca扩散深度"时,"Ca扩散深度"为晶粒的平 均粒径的10%以内,并且 将规定为"Ca扩散深度"的区域中的平均Ca浓度与晶粒的中心附近所测定出的Ca浓 度之差定义为"增加Ca浓度"时,"增加Ca浓度"为0. 2摩尔份以上且为5摩尔份以下。10. -种层叠陶瓷电容器的制造方法,其具备: 得到陶瓷浆料的工序,所述陶瓷浆料含有以包含Ba、Ca及Ti的钙钛矿型化合物作为主 成分的主成分粉末、Ca化合物、R化合物、Μ化合物、和Si化合物,其中,R是La、Ce、Pr、Nd、 Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho及Y中的至少 1 种,M是Μη、Co、Fe、Cr、Cu、Mg、Al、V、Mo及W中的至 少1种, 将所述陶瓷浆料成形为片状而得到陶瓷生片的工序; 在所述陶瓷生片上形成内部电极的工序; 得到未烧的层叠体的工序,所述层叠体具有将包括形成有所述内部电极的所述陶瓷生 片在内的多个所述陶瓷生片层叠而成的结构; 将所述未烧的层叠体烧成,而得到具有由具有晶粒及晶界的电介质陶瓷构成的多个电 介质陶瓷层、和沿着所述电介质陶瓷层间的多个界面分别配置的多个内部电极的层叠体的 工序;以及 在所述层叠体的表面形成外部电极,使其与所述内部电极的特定的内部电极电连接的 工序, 在所述陶瓷浆料中,在将Ti含量设为100摩尔份时, Ca含量为2. 5摩尔份以上且为15摩尔份以下, R含量为〇. 5摩尔份以上且为4摩尔份以下, Μ含量为0. 5摩尔份以上且为2摩尔份以下, Si含量为1摩尔份以上且为4摩尔份以下, 所述晶粒含有以所述钙钛矿型化合物作为主成分的钙钛矿型晶粒, 在所述钙钛矿型晶粒中,在以测定点处Ca相对于Ti100摩尔份的相对浓度来表示Ca浓度的情况下, 将测定出比晶粒的中心附近所测定出的Ca浓度多0. 1摩尔份以上的Ca浓度的区域 的、从晶界朝向晶粒的中心测定的距离定义为"Ca扩散深度"时,"Ca扩散深度"为晶粒的平 均粒径的10%以内,并且 将规定为"Ca扩散深度"的区域中的平均Ca浓度与晶粒的中心附近所测定出的Ca浓 度之差定义为"增加Ca浓度"时,"增加Ca浓度"为0. 2摩尔份以上且为5摩尔份以下。
【专利摘要】本发明提供一种不使介电常数温度特性及高温下的可靠性劣化、且能够实现电介质陶瓷层的薄层化的层叠陶瓷电容器。构成层叠陶瓷电容器的电介质陶瓷层的电介质陶瓷含有:包含Ba及Ti的钙钛矿型化合物;和Ca、R(R是La等稀土类元素)、M(M是Mn等)、以及Si。在将Ti含量设为100摩尔份时,含有0.5~2.5摩尔份的Ca、0.5~4摩尔份的R、0.5~2摩尔份的M、1~4摩尔份的Si。在钙钛矿型晶粒(11)中,将Ca的扩散深度(15)设为晶粒(11)的平均粒径的10%以内,使Ca的扩散区域(13)中的Ca浓度比晶粒(11)的中心(14)附近的Ca浓度高0.2~5摩尔份。
【IPC分类】H01G4/30, C04B35/468, H01G4/12
【公开号】CN105377793
【申请号】CN201480038930
【发明人】和田信之
【申请人】株式会社村田制作所
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2014年2月13日
【公告号】US20160118188, WO2015040869A1
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