专利名称：N-(α-芳香基取代-2-硝基-4，5-二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物及其制造方法
技术领域：
本发明涉及作为光产碱剂等有用的新化合物Ν-( α -芳香基取代-2-硝基-4， 5- 二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物及其制造方法。本发明的Ν_( α -芳香基取代-2-硝基_4，5- 二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物是对特定波长的紫外线感应、分解，产生碱的化合物。
背景技术：
近年，作为光聚合引发剂，通过紫外线等的放射线而分解产生碱的化合物(光产碱剂)引起人们的注意。所产生的碱(例如胺化合物)，作为交联反应、聚合反应的催化剂， 或作为交联剂本身而起作用。上述光产碱剂特别用于光致抗蚀剂用途。在光致抗蚀剂相关的领域，作为用于形成图案的光线，使用被称作i线的波长 365nm左右的紫外线。因此，作为用于光致抗蚀剂的光产碱剂，迫切希望在365nm左右的波长区域具有吸收峰、有效产生胺化合物的化合物。进而，近年、被称作h线的波长405nm左右的紫外线也被用于形成图案，在这些波长区域具有吸收峰的光产碱剂被期望开发。例如在非专利文献1中，作为光产碱剂，公开了下述式所示的2-硝基苄基氧基羰基环己基胺。
权利要求
1.下述通式(I)所示的Ν-(α_芳香基取代-2-硝基-4，5_ 二烷氧基苄基氧基羰基) 胺化合物，
2.根据权利要求1所述的N-( α -芳香基取代-2-硝基-4，5_ 二烷氧基苄基氧基羰基) 胺化合物，其特征在于，上述通式(I)中，R3为氢原子。
3.根据权利要求1所述的N-( α -芳香基取代-2-硝基-4，5_ 二烷氧基苄基氧基羰基) 胺化合物，其特征在于，上述通式(I)中，队和&为甲基，民与礼连接形成吗啉基， 都为氢原子。
4.根据权利要求1或2所述的N-( α -芳香基取代-2-硝基_4，5_ 二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物，其特征在于，上述通式(I)中，R1和&为甲基，R3为氢原子，R4为环己基，都为氢原子。
5.根据权利要求1所述的N-( α -芳香基取代-2-硝基-4，5_ 二烷氧基苄基氧基羰基) 胺化合物，其特征在于，上述通式(I)所示的化合物为选自Ν_( α-苯基-2-硝基-4，5-二甲氧基苄基氧基羰基)-2，6- 二甲基哌啶、N- ( α - (4-硝基苯基)-2-硝基_4，5_ 二甲氧基苄基氧基羰基)_2，6- 二甲基哌啶、N- (α-(2-硝基苯基)-2-硝基_4，5_ 二甲氧基苄基氧基羰基)-2，6- 二甲基哌啶、N- ( α - (2-硝基-4，5_ 二甲氧基苯基)-2-硝基_4，5- 二甲氧基苄基氧基羰基)_2，6- 二甲基哌啶、N- ( α -苯基-2-硝基-4，5_ 二甲氧基苄基氧基羰基)-哌啶和N- ( α - (2-硝基-4，5- 二甲氧基苯基)-2-硝基_4，5_ 二甲氧基苄基氧基羰基)-哌啶中的至少一种化合物。
6.权利要求1所述的Ν_(α-芳香基取代-2-硝基-4，5-二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物的制造方法，其特征在于，在使下述通式(II)所示的醛化合物与下述通式(III)所示的芳香族化合物反应后，使该反应获得的化合物与下述通式(IV)所示的化合物反应，
7.权利要求2所述的Ν-( α-芳香基取代-2-硝基-4，5-二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物的制造方法，其特征在于，在使下述通式(II)所示的醛化合物与下述通式(III)所示的芳香族化合物反应后，使该反应获得的化合物与下述通式(V)所示的异氰酸酯化合物反应，
8.权利要求1所述的Ν_( α-芳香基取代-2-硝基-4，5-二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物的制造方法，其特征在于，使下述通式(VI)所示的原醇化合物与下述通式(IV)所示的化合物反应，
9.权利要求2所述的Ν-( α-芳香基取代-2-硝基-4，5-二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物的制造方法，其特征在于，使下述通式(VI)所示的原醇化合物与下述通式(V)所示的异氰酸酯化合物反应，
10.权利要求1所述的N- ( α -芳香基取代-2-硝基-4，5_ 二烷氧基苄基氧基羰基) 胺化合物的制造方法，其特征在于，使下述通式(VI)所示的原醇化合物与下述通式(VII) 所示的羰基化合物反应，合成下述通式(VIII)所示的酯化合物，使该酯化合物与下述通式 (IX)所示的胺化合物反应，
11.根据权利要求10所述的Ν-( α -芳香基取代-2-硝基-4，5_ 二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物的制造方法，其特征在于，上述通式(VII)所示的化合物是光气、氯甲酸三氯甲基酯、三光气、羰基二咪唑、氯甲酸对硝基苯基酯或氯甲酸对氰基苯基酯。
全文摘要
本发明的目的在于提供，代替现有的2-硝基-4，5-二甲氧基苄基氧基羰基胺化合物的、能够对h线的灵敏度也良好地产生碱的新的光产碱剂。本发明涉及下述通式(I)所示的N-(α-芳香基取代-2-硝基-4，5-二烷氧基苄基氧基羰基)胺化合物。(上述式(I)中，R1～R9表示特定的基团)。
文档编号C07C271/24GK102171181SQ20098013895
公开日2011年8月31日 申请日期2009年10月1日 优先权日2008年10月2日
发明者前田喜彦, 安田浩, 室伏克己, 山上功 申请人:昭和电工株式会社