张紧装置及输送系统的制作方法

本实用新型涉及制造技术领域，特别涉及一种张紧装置及输送系统。

背景技术：

皮带传动中，由于皮带长期受到压力的作用，会产生永久变形而伸长，皮带由张紧变为松弛，其张紧力逐渐减小，导致传动能力降低，甚至无法传动。因此，有必要设置张紧装置来将皮带重新张紧。

比如，在半导体领域中，晶片的清洗过程中就会遇到皮带需重新张紧的问题。半导体器件一般通过光刻、刻蚀、沉积以及化学机械研磨等上百道甚至上千道工序形成，每一道工序完成之后，用于制造半导体器件的晶片被传输到下一道工序的工艺设备中。在晶片传送过程中以及在前道工序的制造工艺中，不可避免的会在晶片的表面产生颗粒、残留等污染物。在光刻工艺时，这些污染物会导致晶片在曝光机台上翘起，影响聚焦，进而影响对准以及半导体器件的关键尺寸，若该污染物附着在曝光机台上，还会影响其它批次的晶片。因此，对晶片进行清洗是非常有必要的。对晶片的清洗工艺在清洗设备中进行，一般晶片经过进入、清洗、干燥等步骤。在清洗设备中，就需要使用皮带来带动滚轮的转动，从而传输晶片在清洗设备中的位置，进行不同的步骤。申请人发现，在现有的清洗设备中，由于皮带长期处于张紧的工作状态中，容易出现皮带变形，导致皮带不再处于张紧状态，从而导致皮带打滑，使晶片在清洗设备中的传输出现异常。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种张紧装置及输送系统，解决了皮带在长期处于张紧的工作状态后容易出现变形，从而导致皮带打滑的问题，并延长的皮带的使用寿命。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种张紧装置，用于张紧传输装置，所述传输装置包括滚轮以及位于滚轮上的皮带，所述张紧装置包括：

气缸，所述气缸上设置有导杆，并且所述导杆能够做伸缩运动；

滑动块，与所述导杆相连，所述滑动块能够随着所述导杆的伸缩而滑动；所述传输装置设置于所述滑动块上。

可选的，在所述张紧装置中，所述张紧装置还包括调压阀，所述调压阀调节所述气缸中的气压。

可选的，在所述张紧装置中，所述调压阀通过向所述气缸中提供压缩空气以调节所述气缸中的气压。

可选的，在所述张紧装置中，所述张紧装置还包括靠座和导轨，所述气缸固定在所述导轨上，所述导轨固定在所述靠座上。

可选的，在所述张紧装置中，所述靠座上设置有激光侦测仪。

可选的，在所述张紧装置中，所述激光侦测仪通过支架设置在所述靠座上。

可选的，在所述张紧装置中，所述激光侦测仪包括激光发射单元、激光接收单元和自动报警单元。

可选的，在所述张紧装置中，所述激光发射单元和所述激光接收单元分别设置在所述导轨的两侧。

可选的，在所述张紧装置中，所述多个支架的数量是多个，分为安装激光发射单元的第一支架和安装激光接收单元的第二支架。

本实用新型还提供了一种输送系统，包括传输装置以及如上所述的张紧装置。

可选的，在所述输送系统中，所述传输装置包括滑轮以及位于滑轮上的皮带，所述滑轮设置于所述张紧装置的滑动块上。

在本实用新型提供的张紧装置及输送系统中，所述张紧装置包括气缸、导杆和滑动块，所述导杆设置在所述气缸上，并且所述导杆能够做伸缩运动；所述滑动块与所述导杆相连，所述滑动块能够随着所述导杆的伸缩而上下滑动，并且带有皮带的传输装置设置在所述滑动块上。当所述传输装置中的皮带因变形而张力减小时，在所述气缸压力大于所述皮带的张力，所述导杆向下伸展并推动所述滑动块向下滑动，当皮带张紧后的张力与所述气缸的压力一致时所述导杆停止伸展，此时所述皮带处于张紧状态，这样可以保证在使用过程中皮带一直保持固定的张紧力，从而防止因皮带打滑导致传输失效。

附图说明

图1是本实用新型提供的张紧装置结构示意图；

图2是本实用新型提供的输送系统结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的张紧装置及输送系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型提供了一种张紧装置，用于张紧传输装置，所述传输装置包括滚轮以及位于所述滚轮上的皮带。所述张紧装置的具体结构示意如图1所示。所述张紧装置包括气缸1，在所述气缸1的底端设置有导杆2。具体的，所述导杆2能够随着所述气缸1中的气压变化做上下伸缩运动。所述张紧装置还包括滑动块3，所述滑动块3连接在所述导杆2上，进一步的，所述滑动块3能够随着所述导杆2的伸缩运动而上下滑动。具体的，所述传输装置(图中未示出)设置在所述滑动块3上，进一步的，所述传输装置能够随着所述滑动块3的上下滑动而做上下运动。

可选的，在所述张紧装置还包括调压阀(图中未示出)，通过所述调压阀向所述气缸1中提供压力为固定值的压缩空气，使所述气缸1中的压力为固定值。此时，在所述气缸1的压力作用下，所述导杆2向下伸展并推动所述滑动块3向下滑动，当所述传输装置中的皮带的张力刚好与所述气缸1中的压力平衡时，所述滑动块3便停止移动，此时所述皮带处于张紧状态；当皮带因长期处于张紧状态而导致拉伸变形、张力减小时，所述气缸1中的压力大于所述皮带的张力，此时在所述气缸1的压力作用下，所述导杆2继续向下伸展，当所述传输装置中的皮带张力刚好再一次与所述气缸1中的压力平衡时，所述滑动块3便又一次停止移动。这样可以保证在使用过程中，所述传输装置中的皮带能够长时间保持固定的张紧状态，使所述传输装置能够更长时间的正常运转，进而延长了传输装置的使用寿命。

可选的，所述张紧装置还包括靠座4和导轨5，所述气缸1固定在所述导轨5上，所述导轨5固定在所述靠座4上。进一步的，所述气缸1固定在所述导轨5的顶端，使设置在所述气缸1上的所述导杆2能够沿着所述导轨5做上下伸缩运动。

可选的，在所述靠座4上设置有激光侦测仪6。具体的，所述激光侦测仪6包括激光发射单元61、激光接收单元62和自动报警单元(图中未示出)。所述激光发射单元61发射出激光被所述激光接收单元62接收。进一步的，所述激光发射单元61和所述激光接收单元62分别设置在所述导轨5的两侧；如果所述激光发射单元61发射出的激光被物体挡住，所述激光接收单元62接收不到所述激光发射单元61发射出的激光时，所述激光侦测仪6中的自动报警单元会发出警报。

可选的，所述激光侦测仪6是通过支架7设置在所述靠座4上。进一步的，所述支架7的数量为多个，分为安装所述激光发射单元61的第一支架71和安装所述激光接收单元62的第二支架72。具体的，所述第一支架71和所述第二支架72分别位于所述导轨5的两侧。

本实用新型提供的张紧装置，用于晶片通过皮带传输的位置。所述传输装置中的滚轮为可以以固定压力移动的形式，在使用过程中可以实时自动调整皮带的张力，保证皮带在一定的变形范围内能够一直处于张力稳定的状态。与现在的使用方式相比，大大延长了皮带的使用寿命，有利于节约耗件成本。进一步的，本装置还增加了所述激光侦测仪6，对皮带的使用状况进行实时侦测，方便及时发现皮带到达使用寿命并提醒工作人员更换，能更好的避免皮带在使用过程中因老化变形而张力不足导致的皮带打滑，从而影响晶片传输。

更进一步的，本装置还可以用于其他类似的传输中，以保证传输的有效性。

本实用新型还提供了一种输送系统，如图2所示。所述输送系统包括传输装置和张紧装置。所述张紧装置具体结构如上所述；所述传输装置设置在所述张紧装置中的滑动块3上，所述传输装置包括滑轮8以及位于所述滑轮8上的皮带9，所述滑轮8设置于所述张紧装置的滑动块3上。

具体的，当所述传输装置中的皮带9因长期处于张紧的工作状态而老化更加严重时，所述皮带9呈现出拉伸变形、张力减小的状态，此时所述气缸1中的压力大于所述皮带9的张力，在所述气缸1的压力作用下，所述导杆2继续向下伸展，连接在所述导杆2上的所述滑动块3也随着向下滑动，当所述滑动块3向下滑动至遮挡住所述激光发射单元61发射出的激光时，此时所述激光接收单元62接收不到所述激光发射单元61发射出的激光，将触发所述激光侦测装置6中的自动报警单元启动报警，即提醒工作人员该皮带的使用寿命已经结束，为了保证传输工作的正常运行，应立刻更换新的皮带。

在更换皮带时，可以用手将所述滑动块3向上推动，避免了目前需要将皮带拉伸才能将其安装到滚轮上的问题。这样有利于防止因手动拉伸导致的皮带变形。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。