多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台的制作方法

文档序号:14694347发布日期:2018-06-15 21:10阅读:256来源:国知局
多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台的制作方法

本实用新型属于加热旋转台技术领域,特别是涉及多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台。



背景技术:

在太阳能电池制作技术领域,制作硅晶锭的坩埚是常用的设备,坩埚的加热控制对形成晶锭的质量尤为重要。但是,现有的坩埚的底面与侧面共用一个加热控制方式,控制方式不灵活,加热不均匀,功率小,温度低,不能满足喷涂不同氮化硅粉的温度要求。坩埚侧板之间的锁紧装置不牢,形同虚设,侧面贴合不紧密,导致温度不均匀。由于坩埚的大小有很多尺寸,从而每一种尺寸的坩埚都需要一种坩埚加热旋转台,导致需要购买适合不同坩埚尺寸的加热旋转台,设备的占地面积过多的问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台,通过台座、第一侧滑板、第二侧滑板、卡销、螺纹杆和固定旋转座作用,解决了现有控制方式不灵活,加热不均匀,功率小,温度低,坩埚侧板之间的锁紧装置不牢,设备的占地面积过多的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:

本实用新型为多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台,包括台座;

所述台座周侧面开有第一凹槽;所述台座周侧面开有第二凹槽;所述第一凹槽一表面开有若干第一槽道;所述第一凹槽另一表面开有若干第一辅助槽道;所述第二凹槽一表面开有若干第二槽道;所述第二凹槽另一表面开有若干第二辅助槽道;

所述台座一表面开有若干矩形贯穿孔;所述台座的另一表面固定有圆柱;所述圆柱一表面开有圆形盲孔;

所述第一凹槽与第一侧滑板的第一滑板配合;所述第一槽道与第一侧滑板的第一矩形柱配合;

所述第二凹槽与第二侧滑板的第二滑板配合;所述第二槽道与第二侧滑板的第二矩形柱配合;

所述矩形贯穿孔与卡销的销柱配合;所述卡销一表面开有螺纹贯穿孔;所述螺纹贯穿孔与螺纹杆配合;所述圆形盲孔与固定旋转座配合。

进一步地,所述台座内表面内置有若干加热板;所述台座一表面内置有若干加热块;所述第一侧滑板、第二侧滑板的一侧内置有加热板;所述矩形柱一侧内置有加热块;所述加热板和加热块都根据不同区域独立控制加热。

进一步地,所述第一侧滑板包括第一加热板、第一滑板、第一矩形柱和第一圆柱;所述第一滑板一表面固定有若干第一矩形柱;所述第一滑板另一表面固定有若干第一圆柱;所述第一矩形柱一表面固定有第一加热板;所述第一加热板一表面开有若干盲孔。

进一步地,所述第二侧滑板包括第二加热板、第二滑板、第二矩形柱和第二圆柱;所述第二滑板一表面固定有若干第二矩形柱;所述第二滑板另一表面固定有若干第二圆柱;所述第二矩形柱一表面固定有第二加热板;所述第二加热板一表面开有若干盲孔;所述第二侧滑板一表面开有辅助凹槽;所述辅助凹槽与矩形柱的限位槽板配合;所述矩形柱一表面开有辅助凹槽;所述矩形柱一表面固定有限位槽板;所述第二侧滑板通过增减矩形柱的数量实现第二侧滑板的长度变化。

进一步地,所述螺纹杆一端设置有螺丝头;所述螺纹杆周侧面开有螺纹。

进一步地,所述固定旋转座包括固定座和圆柱;所述固定座一表面倾斜固定有圆柱。

本实用新型具有以下有益效果:

1、本实用新型通过台座、第一侧滑板、第二侧滑板、卡销、螺纹杆和固定旋转座作用,具有调节加热旋转台的大小,可以对不同尺寸大小的坩埚进行加工。

2、本实用新型通过卡销和螺纹杆的作用,可以牢固的固定住坩埚。

3、本实用新型通过台座、第一侧滑板、第二侧滑板都内置有加热板和加热块,具有对区域加热的选择多样化,可以关闭坩埚外的加热板和加热块,有着节约能源的优点;解决了现有控制方式不灵活,加热不均匀,功率小,温度低,坩埚侧板之间的锁紧装置不牢,设备的占地面积过多的问题。

当然,实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为公开了多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台的结构示意图;

图2为图1仰视视角的结构示意图;

图3为台座的结构示意图;

图4为第一侧滑板的结构正视图;

图5为第二侧滑板和矩形柱的结构示意图;

图6为固定旋转座的结构示意图;

图7为卡销的结构示意图;

图8为螺纹杆的结构示意图;

图9为图1中加热板和加热块分布的结构示意图;

附图中,各标号所代表的部件列表如下:

1-台座,2-第一侧滑板,3-第二侧滑板,4-卡销,5-螺纹杆,6-固定旋转座,7-盲孔,101-第一凹槽,102-第二凹槽,103-第一槽道,104-第一辅助槽道,105-第二槽道,106-第二辅助槽道,107-矩形贯穿孔,108-圆柱,109-圆形盲孔,110-加热板,111-加热块,201-第一滑板,202-第一矩形柱,203-第一圆柱,204-第一加热板,301-第二滑板,302-第二矩形柱,303-第二圆柱,304-第二加热板,305-辅助凹槽,306-矩形柱,307-限位槽板,401-销柱,402-螺纹贯穿孔,501-螺丝头,502-螺纹,601-固定座,602-圆柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“开孔”、“上”、“下”、“厚度”、“顶”、“中”、“长度”、“内”、“四周”等指示方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位,以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-9所示,本实用新型为多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台,包括台座1;

台座1周侧面开有第一凹槽101;台座1周侧面开有第二凹槽102;第一凹槽101一表面开有六第一槽道103;第一凹槽101另一表面开有六第一辅助槽道104;第二凹槽102一表面开有两第二槽道105;第二凹槽102另一表面开有两第二辅助槽道106;

台座1一表面开有四矩形贯穿孔107;台座1的另一表面固定有圆柱108;圆柱108一表面开有圆形盲孔109;

第一凹槽101与第一侧滑板2的第一滑板201配合;第一槽道103与第一侧滑板2的第一矩形柱202配合;

第二凹槽102与第二侧滑板3的第二滑板301配合;第二槽道105与第二侧滑板3的第二矩形柱302配合;

矩形贯穿孔107与卡销4的销柱401配合;卡销4一表面开有螺纹贯穿孔402;螺纹贯穿孔402与螺纹杆5配合;圆形盲孔109与固定旋转座6配合。

其中如图9所示,台座1内表面内置有九加热板110;台座1一表面内置有十五加热块111;第一侧滑板2、第二侧滑板3的一侧内置加热板110;矩形柱306一侧内置有加热块111;加热板110和加热块111都根据不同区域独立控制加热。

其中如图4所示,第一侧滑板2包括第一加热板204、第一滑板201、第一矩形柱202和第一圆柱203;第一滑板201一表面固定有六第一矩形柱202;第一滑板201另一表面固定有两第一圆柱203;第一矩形柱202一表面固定有第一加热板204;第一加热板204一表面开有两盲孔7。

其中如图5所示,第二侧滑板3包括第二加热板304、第二滑板301、第二矩形柱302和第二圆柱303;第二滑板301一表面固定有六第二矩形柱302;第二滑板301另一表面固定有两第二圆柱303;第二矩形柱302一表面固定有第二加热板304;第二加热板304一表面开有两盲孔7;第二侧滑板3一表面开有辅助凹槽305;辅助凹槽305与矩形柱306的限位槽板307配合;矩形柱306一表面开有辅助凹槽305;矩形柱306一表面固定有限位槽板307;第二侧滑板3通过增减矩形柱306的数量实现第二侧滑板3的长度变化。

其中如图8所示,螺纹杆5一端设置有螺丝头501;螺纹杆5周侧面开有螺纹502。

其中如图6所示,固定旋转座6包括固定座601和圆柱602;固定座601一表面倾斜固定有圆柱602。

在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

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