微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明公开了,其特征在于,包括如下步骤1)进行非晶硅生长工艺;在非晶硅生长完成后,进行退火温度为T的第一次退火;测量应力,得到第一次退火后应力值S3;应力的变化值控制范围为S1~S2,则调整第二次退火实际所需温度上限为T1=(S3-S1-24)/8*10+T,调整第二次退火实际所需温度下限为T2=...
  • 本发明公开了一种磁性荧光双功能磁性微球及其制备方法,主要通过在磁性纳米粒子表面包裹上聚苯胺大分子,通过聚苯胺分子末端的功能氨基成功的连接了荧光纳米材料量子点,得到了具有磁性荧光双功能的纳米微球。本发明的磁性荧光纳米微球物既保留了量子点优异的荧光特性,有具有磁性粒子的超顺磁性,通过简单的外加磁场即可...
  • 本发明公开了,本方法以氯化镧和氨水为原料,添加不同表面活性剂先水热后煅烧制得不同形貌的LaOCl纳米材料。步骤是将一定量的表面活性剂加入到35ml去离子水中,磁力搅拌5分钟;称取0.005mol?LaCl3·7H2O加入上述溶液中,搅拌30分钟;取浓氨水0.2ml加入到40ml去离子水中配成溶液滴...
  • 本发明涉及的是一种利用粉煤灰制备纳米级ZSM-5分子筛的方法,这种利用粉煤灰制备纳米级ZSM-5分子筛的方法为粉煤灰的预处理;利用预处理后的粉煤灰制备氢氧化铝和硅酸钠;将粉煤灰处理后得到的氢氧化铝和硅酸钠与水、模板剂四丙基氢氧化铵混合均匀,其中,水摩尔分数为90%-98%,四丙基氢氧化铵摩尔分数为...
  • 本发明涉及一种Cu2-x,其特点是包括以下制备过程⑴配制铜前躯体溶液;⑵配制硒前驱体溶液;⑶注入回流,出现Cu2-xSe纳米晶片;⑷对Cu2-xSe纳米晶片进行洗涤、液体脱离,完成本发明Cu2-xSe纳米晶片的制作过程。本发明采用了多元醇为溶剂、乙二胺为还原剂,无机铜盐为先质,易于溶解、对设备要求...
  • 易于保持金属纳米粒子的粒形,易于产生等离子体共振现象。在具有透光性的基板(10)的背面通过等离子聚合的方法设置有由SiO聚合物构成、具有透光性及拨水性的拨水层(20)。在该拨水层(20)的背面通过溅射使银纳米粒子(31)进行蒸镀而使作为等离子膜的金属纳米粒子层(30)层叠。在其背面通过等离子聚合的...
  • 本发明公开了一种,包括利用原子转移自由基聚合方法聚合磷脂酰胆碱,得到聚磷脂酰胆碱;聚磷脂酰胆碱利用叶酸分子进行修饰;利用开环聚合方法聚合O-苄基-L-丝氨酸羧酸酐,得到聚O-苄基-L-丝氨酸;聚O-苄基-L-丝氨酸通过腙键接枝阿霉素;将聚磷脂酰胆碱和聚O-苄基-L-丝氨酸通过点击化学方法进行键连,...
  • 本发明公开了,包括利用原子转移自由基聚合方法聚合磷脂酰胆碱,得到聚磷脂酰胆碱;聚磷脂酰胆碱利用叶酸分子进行修饰;利用开环聚合方法聚合O-叔丁基-L-苏氨酸羧酸酐,得到聚O-叔丁基-L-苏氨酸;聚O-叔丁基-L-苏氨酸通过腙键接枝阿霉素;将聚磷脂酰胆碱和聚O-叔丁基-L-苏氨酸通过点击化学方法进行键...
  • 本发明提供一种封装器件,其中芯片(6)的至少一个敏感部分(7)被包围在由封装(3、2;33;62、63、70、73)形成的室(4;64;74)中。该封装具有可渗透空气区域(17)和排液结构(16;30;56)以便实现在外部环境和室之间的空气通道并且阻挡液体通道,该可渗透空气区域(17)具有多个孔(...
  • 本发明公开了,其包括如下步骤(1)A液的制备;(2)B液的制备;(3)磁力搅拌的条件下,将B液缓慢加入A液中,得到混合分散液;(4)将混合分散液装入高温反应釜中,然后置于烘箱中反应,反应结束后,自然冷却至室温,抽滤,再用去离子水或无水乙醇洗涤后,在60~120℃的温度条件下进行干燥,得到前驱体;(...
  • 本发明公开了具有各向同性腔的MEMS集成压力传感器及其制造方法,其中该方法实施例包括提供具有氧化物层、MEMS衬底、多晶硅层的MEMS晶圆。将包括使用各向同性蚀刻形成的第一腔的载体晶圆接合至MEMS,第一腔与多晶硅层暴露的第一部分对准。图案化MEMS衬底,并且去除部分牺牲氧化层以形成第一和第二ME...
  • 一种自由立膜,包括i.基体层,其具有相对的表面,和ii.纳米棒阵列,其中纳米棒定向的穿过基体层并从基体层的一个或两个表面伸出至少1微米的距离。一种制备自由立膜的方法,包括(a)在基底上提供纳米棒阵列,任选的,(b)用牺牲层渗透该阵列;(c)用基体层渗透该阵列,由此产生渗透的阵列;任选的,(d)当步...
  • 本发明提供的,其包括以下步骤顶部圆角刻蚀步骤,向反应腔室内通入刻蚀气体,并开启激励电源和偏压电源,以在基片的位于掩膜与基片交界处刻蚀形成侧壁顶部具有圆角的沟槽;基片刻蚀步骤,继续向反应腔室内通入刻蚀气体,并保持激励电源和偏压电源开启,或者仅关闭偏压电源,以使沟槽达到预定深度;其中,刻蚀气体为碳氟类...
  • 本发明提供了一种电极复合材料,包括M13噬菌体和单质硫。该电极复合材料具有良好的热稳定性能以及良好的电化学性能,能够有效解决在电池充放电过程中活性材料损失的问题,提高电池的放电容量。本发明还提供一种电极复合材料的制备方法以及包括该电极复合材料的正极和电池。专利说明电极复合材料及其制备方法、以及具有...
  • ,步骤1将富勒烯(C60)与氢氧化钠(NaOH)按质量比放入玛瑙研钵中研细混匀;步骤2按将以上反应物全部转移至洁净的坩埚中,于马弗炉中煅烧小时;步骤3待反应完成后,取出冷却至室温,再加入超纯水溶解所得固体,然后离心去除大颗粒的未反应物质;步骤4用透析袋对离心所得上清液进行对水透析至pH为中性;步骤...
  • 本发明涉及一种MEMS叉梁电容式加速度计及其制造方法,该加速度计采用玻璃-硅-玻璃三层结构,包括依次设置的第一玻璃层、硅层和第二玻璃层,其中硅层包括矩形外框、悬臂梁、叉梁、质量块、硅岛和硅层电极引出区域,两根叉梁设置在两根悬臂梁中间,且两根叉梁位于两根悬臂梁、质量块、矩形外框围成的矩形框的对角线位...
  • 本发明涉及一种微机械构件,具有一保持装置(10);一驱动框架(12),具有至少一个在驱动框架(12)上和/或内布置的能通电的线圈装置(16),驱动框架通过至少一个框架弹簧(14)与保持装置(10)连接;一反射镜元件(20),该反射镜元件悬挂在驱动框架(12)上,其中,反射镜元件(20)布置在两个反...
  • 在一个实施例中,催化剂组件包括基板,包括基体和从基体延伸的多个棒;催化剂层,包括催化剂材料;及第一中间层,设置在基板和催化剂层之间并包括第一涂覆材料,第一涂覆材料具有比催化剂材料高的表面能量。在特定情况下,所述多个棒可以具有大于1的长度与宽度的平均纵横比。所述催化剂组件还可以包括设置在催化剂层和第...
  • 本发明公开。即直接在有机溶剂中超声剥离石墨得到石墨烯分散液,再向所得的石墨烯分散液中添加有机胺盐,石墨烯会吸附添加的有机胺盐而带电荷,再采用电泳沉积法制备出石墨烯薄膜,然后通过加热处理可以有效的除去添加的有机胺盐,即得纳米石墨烯导电薄膜。本发明的纳米石墨烯导电薄膜制备方法,制备过程中没有引入其他缺...
  • 本发明公开了一种导电阻燃纳米晶体材料,其特征在于,各组分按照重量百分比组成如下氢氧化钠30-70%;氢氧化钾30-70%;SnCl4晶体5-20%;SbCl3固体5-10%;聚乙烯吡咯烷酮(5g/L)5-10%;无水乙醇10-30%;N,N-二甲基甲酰胺10-30%。本发明用复合氢氧化物溶剂法合成...
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