微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明提供一种用于在衬底中制造电覆镀通孔的方法以及具有电覆镀通孔的衬底。所述方法具有以下步骤在衬底的前侧上形成蚀刻停止层;在衬底的背侧上形成掩膜;在衬底中形成环形沟槽,环形沟槽在使用掩膜的情况下通过蚀刻工艺从背侧延伸直至前侧,所述蚀刻工艺在蚀刻停止层处停止,其中沟槽包围衬底凸柱;在使用掩膜的情况下...
  • 本发明提供了。所述制备方法的步骤包括将氧化锌颗粒与活性炭颗粒按固定比例相混合,放入管式炉中进行加热蒸发,加热温度为800℃至1250℃,蒸发时间为10分钟至60分钟,在蒸发过程中通入流动的氧气含量为5%至35%的氧气和惰性气体的混合气体,在每平方厘米的面积上该混合气体的流量是3ml/min至30m...
  • 本发明涉及CdSe@CdS核壳结构量子点光催化剂的制备方法,首先制备CdSe量子点,将硒粉加入到Na2SO3溶液中磁力搅拌,得到Na2SeSO3溶液;然后将CdCl2和硫代苹果酸加入到去离子水混合后,以NaOH调节溶液的PH,并在氮气的保护下,加入新制的Na2SeSO3溶液,油浴加热至100oC,...
  • 本发明涉及MEMS集成加工,特别涉及,包括硅质量块及硅质量块上设有的底电极、摩擦材料、上电极;底电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化,摩擦材料通过化学气相沉积制备,底电极与摩擦材料接触并相互摩擦,上电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化;本发明的优势在于本发明无需外加电源、无需制备驻极体,解...
  • 本发明涉及,利用生产纸浆的副产物木质素磺酸钠为模板剂,它价廉、无毒、易得,是一种常用的表面活性剂,被广泛应用于纳米材料的制备。在氧化铁的制备中加入木质素磺酸钠解决了其存在的团聚问题,得到了形貌均匀、粒径较小的纳米氧化铁颗粒。实现纳米氧化铁的可控制备技术,提高了纳米氧化铁的应用性能及催化性能,同时也...
  • 本发明公开了一种蓝光激发的LED用绿色半导体纳米晶,所述的半导体纳米晶采用水相合成技术,(1)将硫氢化物、醋酸锌、六聚偏磷酸钠合成ZnS半导体纳米晶;(2)在ZnS半导体纳米晶中加入醋酸铅溶液,生成ZnS/PbS半导体纳米晶;(3)在ZnS/PbS半导体纳米晶中注入醋酸锌溶液、硫氢化物溶液,制得Z...
  • 微机械器件包括衬底和衬底上的第一氧化层,其中,第一氧化层具有穿通部。此外,所述器件具有能够导电的功能层,所述功能层在穿通部的区域中施加在第一氧化层上,并且所述器件包括金属层,所述金属层施加在功能层上以建立键合连接。在此,在功能层的侧面上施加有用于功能层绝缘的第二氧化层。专利说明具有键合连接的微机械...
  • ,该方法先将油页岩灰渣进行研磨、煅烧,然后进行碱溶、分离,将分离后得到的溶液制备白炭黑,滤饼制备聚合氯化铝。本发明可以得到纯度在93%以上、白度超过94%的白炭黑及盐基度在50%以上、浊度去除率达68%的聚合氯化铝溶液。具有显著的经济效益、环境效益和社会效益。专利说明[0001][0002]本发...
  • ,属于锂离子电池电极材料。多孔硅碳复合微球以多孔亚微米硅球mpSi为核,直径为400~900纳米;多孔碳mpC为壳,壳厚度为10~60纳米,空腔Void内径为800~1400纳米;该硅碳复合微球的组成可以描述为mpSi@Void@mpC。另外,本发明以廉价的二氧化硅作为硅源,通过镁热还原法将其转化...
  • ,方法步骤为(1)将纳米钡无机盐、纳米GDC与微米的金属Ni在振实机中进行高速混合以得到纳米粒子包覆微米Ni的核壳结构混合材料;(2)将高速混合后的材料在1100-1400℃进行高温煅烧0.5-4小时,以得到Ni-BaO-GDC纳米SOFC阳极。本发明的优点是1、可实现低成本、连续、大批量生产;2...
  • 本发明公开了一种,该方法以硝酸银和硫代硫酸钠反应生成的络合银Na3[Ag(S2O3)2]为Ag源,以牛血清白蛋白为还原剂和稳定剂,将络合银Na3[Ag(S2O3)2]加入牛血清白蛋白溶液中,并调节所得混合溶液的pH值至10.46~14,于常温下避光进行振荡反应,得到荧光纳米银团簇。该方法操作简单、...
  • 本发明公开了,属于化学功能材料领域,应用电化学沉积的方法制备的二氧化钒薄膜为纳米多孔状结构,且微孔由三维网络形成,孔隙率高,比表面积大,孔径50~200nm。本发明所得二氧化钒纳米薄膜为多孔结构,孔洞均匀,成膜致密,有效地提升了薄膜材料的容积率,适用于制备透光性更好地热致变色镀膜,也可以应用于储能...
  • ,它涉及一种碲单质的合成方法。它要解决工艺难以实现具有单晶纳米球/多晶纳米管分级结构碲单质的可控合成的问题。方法一、甲酰胺、亚碲酸钠和柠檬酸三钠,搅拌后放入常压微波合成仪中反应,得产物;二、产物经洗涤和干燥后即完成。本发明实现了具有单晶纳米球/多晶纳米管分级结构碲单质的可控合成,合成的具有分级结构...
  • 本发明涉及一种微机械构件(100),所述微机械构件具有第一腔室(1)和第二腔室(3),在所述第一腔室中设置有第一传感器(2),在所述第二腔室中设置有第二传感器(4),其中,在所述第一腔室中和所述第二腔室中存在不同的压力,其特征在于,所述两个腔室(1,3)之一通过第三腔室(5)延伸至第一格栅结构(6...
  • 一种穿衬底通孔TSV-MEMS组合包含TSV裸片,所述TSV裸片包含一个衬底和多个TSV,所述TSV延伸所述衬底的完整厚度。所述TSV裸片包含顶面表面,其上包含电路和顶面结合衬垫;底面表面,其上包含底面结合特征;以及通孔,其穿过所述衬底的完整厚度。一种具有上面包含焊料球的浮动感测结构的微机电系统M...
  • 本发明公开了。该方法在微纳加工工艺的基础上,采用体硅加工技术制作可变光衰减器的固定挡光板和活动挡光板,通过在固定挡光板、活动挡光板上淀积挡光材料,起到对光束的遮挡限制作用;固定挡光板上制作通光孔,用于约束光斑大小,限制光的衍射作用;通过光刻、刻蚀等工艺制作可变光衰减器的活动挡光板,使活动挡光板能够...
  • 基于MEMS的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法。目前,MEMS技术能量回收研究过程中,面临的微米尺度空隙悬臂梁上PZT薄膜制备难题,对实现能量收集器批量化生产存在制约。本发明方法包括顶层PZT复合膜梁和两个底层支撑硅梁,所述的顶层PZT复合膜梁和底层支撑硅梁的两端分别连接质量块和固定块;其中,...
  • 本发明公开了一种利用大孔基底上的金属有机纳米棒阵列钉扎作用制备一种金属有机框物气体分离膜的方法。它的步骤如下1)在磁力搅拌下,将乙醇胺水溶液加入同体积硝酸铜、硝酸锌或硝酸镉水溶液中,调慢搅拌速度,获得相应的氢氧化铜、氢氧化锌或氢氧化镉纳米线溶液,将纳米线溶液直接过滤在多孔氧化铝膜上形成一层纳米线层...
  • 本发明公开了一种MOS结构的辐射剂量探测器及其制备方法,该辐射剂量探测器从上到下依次包括顶电极,复合氧化层,衬底和底电极,所述复合氧化层又包括热氧化层和淀积层。该复合氧化层由于通过刻蚀和淀积技术制备的结构,从而使本发明辐射剂量探测器的MOS结构具有高缺陷密度、大厚度的氧化层。利用本发明MOS结构的...
  • 本发明提出一种用于罩的制造方法,通过所述方法在具有MEMS构件的垂直混合集成部件的框架中不仅可以实现具有低空穴内压的相对较大的空穴容积而且可以实现MEMS构件的微机械结构的可靠过载保护。按照本发明,在多级的各向异性的刻蚀工艺中在面状的罩衬底中产生罩结构,所述罩结构包括至少一个装配框和罩内侧上的至少...
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