微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明提供了一种,由于表面活性剂的加入使中间相B可以快速的转变为A相二氧化钒,并形成形貌、长径比优异的A相二氧化钒纳米线,所制得的A相二氧化钒纳米线非常纯而且非常稳定的。该制备方法采用的原料简单,操作方便,容易控制,产物结晶好,所得纳米线可以广泛用于电池、储氢和光电开关等领域。专利说明[0001]...
  • 本发明具体涉及到一种新型微加热器,其结构包括承载玻璃片、镀金导电涂层、加热单元(镀铬涂层)、电极柱和铝制热沉平台。本发明采用软光刻微加工技术对镀有金-铬的玻璃片进行加工,实现一个加热片上具备可并行工作的多个加热单元;采用直流电源获得焦耳热,应用铝制热沉平台进行有效散热,以实现快速的响应和稳定的温度...
  • 本发明公开了一种MEMS湿度传感器及制备方法,为解决现有湿度传感器成本高、精度低等问题而设计。该MEMS湿度传感器包括支撑基底、设置于支撑基底上的电隔离层以及设置于电隔离层上的梳齿组件,所述梳齿组件间设置有加热电阻条,所述加热电阻条上覆盖有纳米纤维体。同时提出一种上述MEMS湿度传感器的制备方法。...
  • 本发明属于纳米陶瓷粉体制备领域,涉及一种纳米氮化铬粉末的制备方法。所述的制备方法包括以下步骤a、按重量比取纳米氧化铬6.50~8.50g、纳米碳质还原剂1.50g~3.50g,将它们置于混料机中,采用干混或湿混,充分混合后,制得混合料;b、将步骤a所得混合料置于干燥箱中,在100~300℃条件下干...
  • 本发明提供微机电系统(MEMS)元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体,该MEMS元件能够构成可对准确的微小压力进行测量的压力传感器。该MEMS元件具备基板、和被形成在所述基板的第一面上的多个谐振子,在所述基板上具备至少一个可挠部和至少一个非可挠部,所述谐振子与所述可挠部以及所述非可挠部对应地配...
  • 较低硅含量的薄片状纳米SAPO-34分子筛、制备方法及其应用,属于分子筛。本发明所述的具有较低硅含量薄片状纳米SAPO-34分子筛,采用四乙基氢氧化铵为模板剂,传统水热或溶剂热合成方法合成。所合成的纳米SAPO-34样品均为薄片状形貌,其平均晶体粒度尺寸为50~250nm,厚度为50~100nm。...
  • 本发明提供了,包括以下步骤一、按一定摩尔比将Se粉加入碱液中搅拌溶解,得到溶液A;二、按一定摩尔比将NaBH4粉加入溶液A中搅拌溶解,得到溶液B;三、在充满惰性气体的手套箱中,按一定摩尔比将亚铁盐加入溶液B中搅拌,得到溶液C;四、调节溶液C的pH值,然后依次进行沉降、过滤、洗涤和干燥处理,得到Fe...
  • 本发明提供了一种钯纳米粒子修饰的碳纳米管复合材料及其制备方法与应用。该制备方法包括以下步骤将碳纳米管、醋酸钯、1-丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐的混合物作为气液辉光等离子体反应的阴极;在氩气压力为150-300Pa的氩气气氛下,电压为220-250V,电流为0.01-0.05A的条件下,进行气液辉光...
  • 本发明涉及,该方法包括以下步骤提供一碱溶液以及一锌盐溶液;将该碱溶液和锌盐溶液中的一种作为底液放入一容器中,且将该底液接地;加热该底液至一反应温度;将该碱溶液和锌盐溶液中的另一种作为滴定液通过一具有导电滴定头的滴定装置加入该容器中与所述底液混合反应得到一固液混合物,且同时向所述导电滴定头与所述底液...
  • 本发明公开了一种多级纳米结构的球状介孔氮化碳光催化剂及其制备方法和应用,属于材料制备及光催化的。多级纳米结构的球状介孔氮化碳光催化剂是以氰胺为前驱物、高度敞开结构的球状介孔二氧化硅为硬模板,通过高温热聚合,除去硬模板后得到的。本发明制备的球状介孔氮化碳具有以纳米片或类似纳米片的小颗粒由球心向四周均...
  • 本发明提供一种耐温、耐盐性能稳定的纳米驱油剂的制备方法,将聚丙烯酰胺通过化学键修饰到二氧化硅纳米粒子表面,获得性能稳定的纳米复合粒子,然后与碱、表面活性剂配置纳米驱油剂。该纳米驱油剂能够克服传统纳米驱油剂在地层运行过程中,表面聚合物容易脱落的问题,进而获得优异的驱油效果。尤其是在高温、高盐地层中,...
  • 本发明公开的集成电路器件包括设置在半导体衬底上方的介电层,介电层具有形成在其中的牺牲腔体,形成到介电层上的膜层,以及在膜层上形成的覆盖层从而形成第二腔体,第二腔体通过形成在膜层内的通孔连接至牺牲腔体。本发明还公开了具有覆盖结构的MEMS器件结构。专利说明具有覆盖结构的MEMS器件结构[0001]相...
  • 本发明涉及一种;其FeMn纳米线直径为80~120nm,长度为1~40μm。利用三电极体系进行控电位沉积;将二次阳极氧化铝膜电极置于电解液中,控电位沉积FeMn纳米线,沉积电位为-0.95~-1.15V,电解液温度为20~30℃,电解液pH值为3.0~4.0;然后将二次阳极氧化铝膜电极经超声清洗,...
  • 本发明提供了,包括将两亲性表面活性剂溶解于有机溶剂中,水浴超声0.5~2小时,得到混合溶液;有机溶剂为硫醇类溶剂、十八烷基胺、异丙醇、硫磺类溶剂、氨基酸类溶剂、聚氨基类溶剂和聚醇类溶剂中的一种或多种;将待剥离的过渡金属化合物材料加入到混合溶液中,1000~1800w超声后,以1500~5000rp...
  • 本发明提供了一种CLV3十二肽修饰的CdTe量子点的制备方法,包括以下步骤采用一锅法合成CdTe量子点;采用芴甲氧羰基固相肽合成法合成CLV3十二肽,采用反向HPLC进行纯化,纯化后制得纯度大于98%的CLV3十二肽,其氨基酸序列为NH2-RTVPSGPDPLHH-COOH;采用零距离偶联法将CL...
  • 本发明公开一种CuO纳米片及制备方法,所述CuO纳米片的边长为0.5-10μm,厚度为50-200nm。其制备方法即首先将玻璃基板依次在去离子水、乙醇、丙酮、氯仿溶剂中各超声清洁得到洗净的玻璃基板,然后室温下浸入到乙酸铜乙醇溶液中,10s后取出,空气中自然干燥;然后将其置于100℃中退火1min,...
  • 涉及纳米微复合材料领域。本发明抽出单根半导体纳米线,并通过电子束诱导沉积技术使其表面包裹一层非晶碳层,形成纳米线和非晶碳层的“核壳结构”,再对其加载偏压,电流产生的焦耳热使纳米线熔化并将其驱赶出纳米管,同时焦耳热也使得非晶碳转化成层状多晶,最终得到单根碳纳米管。本发明可以精确控制碳纳米管的长度、直...
  • 本发明公开了,属于无机纳米材料的制备领域。本方法包括以下步骤制备基底-配制前驱体溶液-制备衬底-生长ZnO纳米线。本发明的特点在于选用纸作为基底材料,具有原料丰富、价格低廉、易折叠、可降解等优点。而且反应温度比较低(95℃),实验条件容易满足。制备过程中未使用任何分散剂、络合剂或表面活性剂,对环境...
  • 本发明涉及制造微针阵列的方法,其包括如下步骤选择包括一组限定微针几何形状的细微切口的软生产模具,所述软生产模具能够提供结合到基板中的微针阵列;使用填充材料充分地填充软生产模具的细微切口,从而产生结合到基板中的具有预定几何形状的微针阵列;其中选择水基陶瓷或醇基陶瓷或聚合物-陶瓷浆料作为所述填充材料。...
  • 本发明涉及一种金属纳米球碗阵列结构的制备方法,包括如下步骤1)对基片进行亲水性处理;2)选择直径大小均匀一致的纳米球乳胶溶液,利用旋涂法或提拉法在步骤1)中经过亲水性处理的基片上自组装单层紧密排列的纳米球阵列;3)在步骤2)所得到的纳米球阵列上,镀金属膜;4)利用具有粘性的材料将步骤3)中表面镀金...
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