专利名称：：用于燃料电池的具有M/MN<sub>x</sub>和MO<sub>y</sub>N<sub>z</sub>层的不锈钢隔板及其制造方法
技术领域：
：本发明涉及一种用于燃料电池的不锈钢隔板及其制造方法，更具体地，涉及一种用于燃料电池的具有金属/金属氮化物层和金属氮氧化合物层的不锈钢隔板及其制造方法。
背景技术：
：隔4反和MEA(membraneelectrodeassembly,膜电才及纟且4牛)是燃并牛电池的主要组成部分，并且所述隔板执行各种功能，诸如，作为MEA和气体扩散层(GDL)的结构支撑，采集和传输电流，传输和去除反应气体和反应产物，传输用于消除反应热的水冷却剂等等。因此，隔板材料需要具有极好的导电和导热性、气密性、化学稳定性等等。一般来说，石墨基材料以及由树脂和石墨混合物构成的复合石墨材料被用作隔板材料。但是，石墨基材料的强度和气密性低于金属材料，并且当被应用于制造隔板时，其制造成本较高且生产率较低。近来，人们积极研制金属隔板，以克月l石墨基隔板的这些问题。当用金属材料制成隔板时，在下述方面存在很多优点，通过隔板厚度的减小可以实现燃^F电池堆的体积和重量的减小，以及可以通过冲压等过程生产隔板，这便于隔板的大量生产。但是，在这种情况下，金属材料可能在燃料电池的使用期间被腐蚀，导致MEA的污染和燃料电池堆的性能降低，并且由于燃料电池的长期使用会在金属材料的表面上形成厚的氧化膜，导致燃料电池内阻增大。不锈钢、钛合金、铝合金、镍合金等被推荐为燃料电池的隔板的候选材料。在这些材料中，不锈钢由于其较低的价格和良好的抗腐蚀性而受到关注，但是仍需要进一步提高其抗腐蚀性和导电性。参照图l,日本专利特许/^开申请No.2003-277133/>开了一种在金属隔4板上的钝化膜2中散布相对便宜的碳粉3以提高金属隔板的导电性的技术。但是，当将所公开的这种燃料电池应用于车辆时，由于车辆行驶时产生的震动等使碳粉3倾向于分离，并且，在未经合适的预处理的情况下，金属隔板的不锈钢1表现出高接触电阻，使得难以使用所述用于燃料电池的隔板。参照图2,日本专利特许公开申请No.2000-353531公开了一种通过钛的高温氮化作用在不锈钢1上形成氮化钛薄膜2的技术。但是，由于此过程需要长周期的处理，并且必须在真空下进行，因此难以构成批量生产过程并且制造成本高。
发明内容技术问题本发明是考虑到传统技术的上述问题而提出的，并且本发明的一方面是提供一种用于燃料电池的具有优异的导电性和抗腐蚀性的不锈钢隔板。本发明的另一方面是提供这种不锈钢隔板的制造方法。技术方案根据本发明的一个实施例，通过提供一种用于燃料电池的不锈钢隔板可以实现上述和其它方面，所述不锈钢隔板包括不锈钢片；在不锈钢片表面上的包括金属/金属氮化物膜(M/MNX)(0.5<x《l)的第一涂布层；以及包括金属氮氧化合物膜(MOyNz)(0.05《y《2,0.25《z《1.0)的第二涂布层。根据本发明的另一个实施例，一种用于燃料电池的不锈钢隔板的制造方法包括在氩气气氛中，用金属靶进行溅射以形成第一涂布层的金属膜；在氩气和氮气的混合气氛中，进行溅射以形成第一涂布层的金属氮化物膜(当形成包括多层金属/金属氮化物膜(M/MNX)的第一涂布层时，在交替氩气气氛以及氩气和氮气的混合气氛的同时重复溅射)；以及在氮气和氧气的混合气氛中，进行溅射以在第一涂布层上形成包括金属氮氧化合物膜(MOyNz)的第二涂布层。根据本发明的又一个实施例，一种用于燃料电池的不锈钢隔板的制造方法包括在氩气气氛中，用金属靶进行溅射以形成第一涂布层的金属层(M);在氩气和氮气的混合气氛中，进行溅射以形成第一涂布层的金属氮化物膜(MN)(当形成包括多层金属/金属氮化物膜(M/MN)的第一涂布层时，在交替氩气气氛以及氩气和氮气的混合气氛的同时重复'賊射)；以及在氧气气氛中，热处理具有包括金属/金属氮化物膜(M/MN)的第一涂布层的不锈钢片，以通过热氧化或等离子体氧化形成第二涂布层，所述热氧化或等离子体氧化将最外层的金属氮化物膜的一部分转化为金属氮氧化合物膜(MOyNj。有益效果根据本发明的不锈钢隔板表现出优异的抗腐蚀性、导电性和相对于气体扩散层(GDL)的接触特性。另外，用于根据本发明的不锈钢隔板的表面涂布方法避免金属离子在不锈钢隔板的使用期间被洗脱，由此防止电解质膜和电极被污染，并因此保证了燃料电池优异的长期性能。此外，用于根据本发明的不锈钢隔板的表面涂布方法防止在不锈钢隔板的使用期间在涂布层上产生会导致燃料电池具有高电阻的氧化物，由此防止燃料电池的内阻增大，并因此保证了燃料电池优异的长期性能。图l是包括钝化膜和导电粉末的传统金属隔板的视图。图2是另一种传统金属隔板的视图，所述金属隔板具有形成在其表面上的氮化钛膜。图3是图示根据本发明一个实施例的不锈钢隔板的制造方法的流程图。图4至图7是图3所示的各个步骤中的不锈钢隔板的剖面图。图8是接触电阻测试器的剖面图，所述接触电阻测试器用于测试根据本发明的不锈钢隔板的接触电阻。图9是描述在距利用实例制成的各个不锈钢隔板的第二涂布层的表面10nm深度处，腐蚀电流与[O/N]的原子比之间的关系的图表。图10是描述在距利用实例制成的各个不锈钢隔板的第二涂布层的表面10nm深度处，接触电阻与的原子比之间的关系的图表。图11是描述在距利用实例制成的各个不锈钢隔板的第二涂布层的表面50nm深度处，接触电阻与的原子比之间的关系的图表。图12是描述在距利用实例制成的各个不锈钢隔板的第二涂布层的表面100nm深度处(接近第一接触层和第二接触层的分界面)，接触电阻与的原子比之间的关系的图表。图13是描述在模拟燃料电池环境中实例4的接触电阻与时间的关系的图表。图14是描述实例4和对比性实例1的燃料电池性能的评估结果的图表，其中，在对燃料电池作用恒定电流(lA/cm2)后，测量实例4和对比性实例1中的燃料电池电压。具体实施例方式图3是图示根据本发明一个实施例的不锈钢隔板的制造方法的流程图，4至图7是图3所示的各个步骤中的不锈钢隔板的剖面图。为了制造根据本发明一个实施例的不锈钢隔板，如图4所示，首先准备不锈钢片(S310)。在此实施例中，不锈钢片400是奥氏体不锈钢，诸如易于在市场中获得的SUS316L0.2t等。尽管在图4中示出的不锈钢片400在其表面上没有薄膜，但是不锈钢片400的表面上可具有钝化膜。作为选择，可以通过蚀刻从不锈钢片400的表面上完全除去钝化膜，或者可通过蚀刻从钝化膜中选择性地除去铁和镍成分。此外，考虑到与随后的涂布层的结合力，可使不锈钢片400的表面具有预定的粗糙度。执行该操作是为了保证随后的涂布正常地进行，并且该操作可包括利用酸性或碱性的脱脂剂从不锈钢片400的表面中除去杂质。然后，如图5所示，在不锈钢片的表面上形成第一涂布层405(1)(S320)。第一涂布层405(1)包括金属膜(M)410(1)和金属氮化物膜(MNJ420(1)。这里，在形成第一涂布层的过程期间，杂质不可避免地#1加入到第一涂布层中。第一涂布层405(1)的金属膜(M)可以选自导电性和抗腐蚀性优异的过渡金属，优选地，选自Cr(铬)，Ti(钛)和Zr(锆)。第一涂布层405(1)可通过诸如溅射或电弧离子镀的物理气相沉积来形成，但是本发明不限于这些过程。在本实施例中，用Cr作为第一涂布层405(1)的金属，利用反应溅射过程来形成第一涂布层405(1),从而保证涂布表面的优良的物理特性和易于控制的过程。在这点上，应该注意，可以用其它过渡金属替代Cr作为第一涂布层405(1)的金属，并且，可以用其它过程替代溅射。再次参照图5，用Cr作为賊射靶以形成第一涂布层405(1)。优选地，Cr靶是由99.999%或纯度更高的Cr形成的高纯度靶。为了形成第一涂布层405(1),利用装载在溅射腔中的不锈钢片400和Cr靶，在氩气气氛中进行溅射以在不锈钢片400的表面上形成铬膜(相当于图5中的410(1))。铬膜410(1)的厚度可在5~500nm的范围内。接着，作为一个连续的过程，通过向腔中的氩气(Ar)中额外地供应氮气(N2),在铬膜410(1)上形成氮化铬膜(CrN)420(1)。此时，氮化铬膜420(1)可具有与铬膜410(1)相同或相近的厚度。当形成铬膜410(1)时，在氩气气氛中进行溅射，当形成氮化铬膜420(1)时，在氩气和氮气的混合气氛中进行溅射。接着，如图6所示，通过在腔中在氩气气氛中再次进行濺射而在氮化铬膜420(1)上形成铬膜410(2),并且，通过在氩气和氮气的混合气氛中再次进行賊射而在铬膜410(2)上形成氮化铬膜420(2)。照这样，通过重复形成铬膜/氮化铬膜的过程而形成第一涂布层405(n)(S330)。参照图6，第一涂布层405(n)包括总计n层铬/氮化铬膜。这里，构成第一涂布层405(n)的铬/氮化铬膜的数量为2~200层，优选地为5~100层。这样，为了通过防止在第一涂布层405(n)中形成通孔来提高抗腐蚀性的目的，通过沉积多层铬/氮化铬膜来形成第一涂布层405(n)。此外，交替地沉积铬膜和氮化铬膜而不是形成具有单层铬膜410或单层氮化铬膜420的第一涂布层405(a)的原因是防止当仅沉积铬膜410时所产生抗腐蚀性降低，并且防止当仅沉积氮化4各膜420时所产生的导电性降低。在按上述方法形成的第一涂布层405(n)中，优选地单层铬/氮化铬膜的厚度在第一涂布层405(n)的总厚度的1/2001/60的范围内。最后，如图7所示，在第一涂布层405(n)上形成第二涂布层430(S340)。第二涂布层430是金属氮氧化合物膜(MOyNz),并且厚度大于Onm小于等于100nm,优选地为10100nm(0.05<y《2,0.25《z<1.0)。在形成第一涂布层之后，通过向腔中同时供应氮气(N2)和氧气(02)以便连续地进行溅射来形成金属氮氧化合物膜(MOyNz)。或者，可通过氧气的扩散替代沉积来形成金属氮氧化合物膜(MOyNz)。换言之，金属氮氧化合物膜(MOyNz)可通过热氧化或等离子体氧化来形成，通过热氧化或等离子体氧化，在氧气气氛中热处理其上形成有第一涂布层405的不锈钢片，以使氧气扩散入金属氮化物膜中。优选地，在300900。C下进行热氧化。为了保证简易的过程和金属氮氧化合物膜(MOyNz)430的优良的特性，优选地，在形成第一涂布层后，通过连续溅射形成金属氮氧化合物膜(MOyNz)430。换言之，在形成第一涂布层405后，当在氮气和氧气被供应到腔中的状态下通过连续地进行溅射形成金属氮氧化合物膜(MOyNz)时，形成金属氮氧化合物膜(CrOyNz),以增加朝向第一涂布层405的表面供应的氧浓度。在本实施例中，当形成第一涂布层450(l)405(n)和第二涂布层430时，利用氩气。但是，本发明不限于此，也可以利用诸如氦气(He)、氖气(Ne)等任何惰性气体。此时，当第二涂布层的厚度为100nm时，在距第二涂布层表面515nm深度处的的原子比为0.2-8，并且，鉴于良好的导电性，优选地，在距其表面4555nm深度处的的原子比为0.5或小于0.5。构成第二涂布层430的金属氮氧化合物膜(CrOyNz)表现出优良的抗腐蚀性和与金属氮化物膜420相近的导电性。仅当金属氮氧化合物膜(CrOyNz)的厚度为如上所述的100nm或小于100nm时，才可以获得金属氮氧化合物膜(CrOyNz)的这些特性。当金属氮氧化合物膜(CrOyNz)的厚度超过lOOnm时，不论其导电性多好，金属氮氧化合物膜(CrOyNz)的导电性也会降低到所需值以下。通过上述本发明的方法制造的用于燃料电池的不锈钢隔板具有10mQcm2或小于10mQcm2的4妄触电阻和1/iA/cm2或小于1/iA/cn!的腐蚀电流。不锈钢隔板的这些数值满足能源部(DOE)建议的标准水平，即接触电阻设置为10mQcm2或小于10mQcm2,腐蚀电流设置为1//A/cn1或小于1/iA/cm2。在下文中，将参照实例进行描述，在所述实例中，通过4艮据本发明实施例的方法制造的用于燃料电池的不锈钢隔板具有优异的导电性和抗腐蚀性。细节，因此本文省略对其的描述。1.实例和对比性实例<实例>在下述条件下，使用4各靶和可从J&L公司获得的PVD(PhysicalVaporDeposition，物理气相沉积)'践射系统涂布316L不锈钢基体。表1示出各个实例的涂布条件表1<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>在衬底温度为200°C、等离子体功率为2.9kW的情况下，当沉积CrNx/CrOyNz时，氩气流量保持在30sccm,但是，如表1所示，当沉积CrOyNz时，氧气流量或氧气和氮气的流量以预定比率变化。在各个实例中，第一涂布层通过在Cr/CrNx涂布条件之间交替时进行25次溅射形成为约ljim厚。在实例1中，第二涂布层形成为约50nm厚，并且，在实例2至5中的每一个中，第二涂布层形成为约100nm厚。<对比性实例>在下述条件下，使用铬靶和可从J&L公司获得的PVD溅射系统涂布316L不锈钢基体。表2示出各个对比性实例的涂布条件表2<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>过在Cr/CrNx涂布条件之间交替时进行25次溅射形成为约lpm厚。在对比性实例l中，第二涂布层形成为约50nm厚，并且，在对比性实例2中，第二涂布层形成为约120nm厚。2.特性的测量(1)利用AES(Augerelectronspectroscopy,俄歇电子能谱)测量取决于第二涂布层厚度的成分比述实例制造的各个不锈钢隔板第二涂布层厚度的氧O与氮N的成分比。(2)测量接触电阻(导电性)图8是接触电阻测试器的剖面图，所述接触电阻测试器用于测量根据本发明的不锈钢隔板的接触电阻。参照图8，为了通过测量不锈钢片500的接触电阻来获得电池组件的优化参数，使用修改的Davies方法测量不锈钢(SS)和两张碳纸之间的接触电阻。基于测量四线电流电压的原理，通过接触电阻测试器(可从Zahner公司获得，型号No,IM6)测量接触电阻。通过在频率为10kHz至lOmHz范围内的情况下，以恒定电流4莫式向测量耙作用2A的直流电流和0.2A的交流电流来进行4妄触电阻的测量。碳纸为可从SGL公司获得的10BB。在接触电阻测试器50中，样品500被放置在两张碳纸520和与电源530及电压检测器540都连接的铜板510之间。安置完样品500后，通过使用电源530(可从Zahner公司获得，型号No.IM6)向样品500提供2A直流电流/0.2A交流电流来测量电压。然后，利用调压器(型号No.5566，可从Instron公司获得，压缩保持测试)从接触电阻测试器50的两个铜板510压缩样品500、碳纸520和铜板510,以形成堆叠结构。使用调压器，将50150N/cm2的压力施加到接触电阻测试器50上。ii测量表1和表2中所示的本发明实例和对比性实例的样品500,即不4秀钢片的"f妄触电阻。(3)测量腐蚀电流使用EG&GModelNo.273A的作为腐蚀电流测试器测量根据本发明的不锈钢片的腐蚀电流。在PEFC(PolymerElectrolyteFuelCell,高分子电解质燃料电池)的模拟环境下进行耐腐蚀性测试。在80。C下用作为蚀刻溶液的O.IN硫酸十2ppm氢氟酸浸过根据本发明的不锈钢片样品后，对其进行1小时的氮气鼓泡，然后在相对于SCE(SaturatedCalomelElectrode,饱和甘汞电极)的-0.25VlV的开路电压(OCV)下测量其腐蚀电流。此外，在相对于SCE的-0.24V的PEFC阳极环境下和在相对于SCE(相对于NHE(normalhydrogenelectrode,标准氬电极)的0.9)的0.658V的PEFC阴极环境下测量物理特性。这里，基于在燃料电池环境的阴极环境中在相对于SCE(相对于NHE的0.9)的0.658V时的腐蚀电流数据评估所测量的特性。阳极环境是这样的环境，在其中氢在穿过MEA时分裂为氢离子和电子，阴极环境是这样的环境，在其中氧在穿过MEA后与氢离子结合生成水。如上所述，由于阴极环境具有高电势并且正是腐蚀环境，因此阴极环境更适于测试抗腐蚀性。此外，不锈钢片在相对于SCE(相对于NHE的0.9)的0.658V下，最好具有满足DOE标准的1)uA/cn!或小于1//A/cm2的腐蚀电流。3.特性测量的结果和分析图9是描述在距利用实例和对比性实例制成的各个不锈钢隔板的第二涂布层的表面10nm深度处，腐蚀电流与的原子比之间的关系的图表。这里，腐蚀电流的目标值设置为符合DOE标准的1/iA/cm2。参照图9,当距第二涂布层的表面10nm深度处的原子比约为0.2或大于0.2时，腐蚀电流令人满意地接近目标值，但是，当的原子比小于0.2时，腐蚀电流偏离目标值。图10是描述在距利用实例和对比性实例制成的各个不锈钢隔板的第二涂布层的表面10nm深度处，接触电阻与的原子比之间的关系的图表。这里，接触电阻的目标值设置为符合DOE标准的10mQcm2。参照图10，当距第二涂布层的表面10nm深度处[O/N]的原子比约为8或小于8时，接触电阻令人满意地接近目标值，但是，当的原子比超过8时，4妄触电阻偏离目标1直。图11是描述在距利用实例制成的各个不锈钢隔板的第二涂布层的表面50nm深度处，接触电阻与的原子比之间的关系的图表。接触电阻的目标值也i殳置为符合DOE标准的10mQcm2。参照图11,当距第二涂布层的表面50nrn深度处的原子比约为0.5或小于0.5时，接触电阻令人满意地接近目标值。当的原子比超过0.5时，4姿触电阻偏离目标值。图12是描述在距利用实例制成的各个不锈钢隔板的第二涂布层的表面100nm深度处(接近第一接触层和第二接触层的分界面)，接触电阻与的原子比之间的关系的图表。参照图12,当约100nm深度处的原子比大于0时，接触电阻偏离目标值。换言之，应该理解，在距第二涂布层的表面100nm深度处不存在氧元素对导电性有利。通过这些结果可以了解，第二涂布层的厚度最好为100nm或小于100nm。图13是描述在模拟燃料电池环境中实例4的接触电阻与时间的关系的图表。向在80。C下浸入O.IN硫酸十2ppm氢氟酸溶液的不锈钢隔板作用相对于SCE(相对于NHE的0.9)的0.658V的电势之后，以预定的时间间隔测量才妄触电阻。参照图13,尽管所述接触电阻从浸渍前的9.1mQcn!到1500小时后的约9.3mQcm2,增加了约2.2%，但是接触电阻小于目标值10mQcm2，表示经长时间后实例4的不锈钢隔板具有优良的特性。图14是描述实例4和对比性实例1的燃料电池性能的评估结果的图表。在此图表中，在对各个燃料电池作用恒定电流(lA/cn1)后，测量实例4和对比性实例1中的燃料电池电压。参照图14，实例4和对比性实例1最初都具有0.625V的高电压。但是，在1500小时后，对比性实例1的电压连续降至0.578V，但是实例4的电压即使在1500小时后也为0.623V,表示包含本发明的不锈钢隔板的燃料电池的优良特性可长时间保持。1权利要求1.一种用于燃料电池的不锈钢隔板，其包括不锈钢片；在所述不锈钢片表面上的包括金属/金属氮化物膜M/MNx的第一涂布层，其中0.5≤x≤1；以及包括金属氮氧化合物膜MOyNz的第二涂布层，其中0.05≤y≤2，0.25≤z≤1.0。2.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，所述不锈钢片的所述表面处于选自下述状态的一种状态，在所述不锈钢片的所述表面上形成钝化膜的表面状态，通过蚀刻从所述表面上完全除去所述钝化膜的表面状态，以及通过蚀刻从所述钝化膜中选择性地除去铁和镍成分的表面状态。3.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，所述第一涂布层包括多层金属/金属氮化物膜M/MN。4.根据权利要求3所述的不锈钢隔板，其中，多层铬/氮化铬膜的数量为2-200。5.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，所述第一涂布层的所述金属/金属氮化物膜M/MN包括与所述不锈钢片接触的所述金属膜M和与所述第二涂布层接触的所述金属氮化物膜MN。6.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，在所述第一涂布层和所述第二涂布层中的金属膜M选自铬、钛和锆中的至少一种。7.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，在所述第一涂布层和所述第二涂布层中的金属膜M选自过渡金属的一种。8.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，所述金属/金属氮化物膜包括铬/氮化铬膜。9.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，所述金属氮氧化合物膜包括CrOyNz，其中0.05《y<2,0.25<z《1.0。10.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，所述第二涂布层的厚度为10100nrn。11.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，当所述第二涂布层的厚度为100nm时，在距所述涂布层的表面515nm深度处0/N的原子比为0.2-8。12.根据权利要求1所述的不锈钢隔板，其中，当所述第二涂布层的厚度为lOOnm时，在距所述涂布层的表面45~55nm深度处O/N的原子比为0.5或小于0.5。13.—种通过賊射制造根据权利要求1所述的用于燃料电池的不锈钢隔板的方法，其包括在氩气气氛中，用金属靶进行'减射以形成第一涂布层的金属膜；在氩气和氮气的混合气氛中，进行溅射以形成所述第一涂布层的金属氮化物膜，其中当形成包括多层金属/金属氮化物膜M/MNx的所述第一涂布层时，在交替所述氩气气氛以及所述氩气和氮气的混合气氛的同时重复所述溅射；以及在氮气和氧气的混合气氛中，进行溅射以在所述第一涂布层上形成包括金属氮氧化合物膜MOyNz的第二涂布层，其中0.05《y《2，0.25<z<1.0。14.一种通过濺射制造根据权利要求1所述的用于燃料电池的不锈钢隔板的方法，其包括在氩气气氛中，用金属靶进行溅射以形成第一涂布层的金属层；在氩气和氮气的混合气氛中，进行溅射以形成所述第一涂布层的金属氮化物膜，当形成包括多层金属/金属氮化物膜M/MN的所述第一涂布层时，在交替所述氩气气氛以及所述氩气和氮气的混合气氛的同时重复所述溅射；以及在氧气气氛中，热处理具有包括金属/金属氮化物膜M/MN的所述第一涂布层的所述不锈钢片，以通过热氧化或等离子体氧化形成第二涂布层，所述热氧化或等离子体氧化将最外层的金属氮化物膜的一部分转化为金属氮氧化合物膜MOyNz,其中0.05《y<2,0.25《z《1.0。15.根据权利要求13或14所述的方法，其冲，在所述第一涂布层和所述第二涂布层中的金属膜M选自铬、钛和锆中的至少一种。16.根据权利要求13或14所述的方法，其中，在所述第一涂布层和所述第二涂布层中的金属膜M选自过渡金属的一种。17.根据权利要求13或14所述的方法，其中，通过反应溅射过程进行所述賊射。18.根据权利要求14所述的方法，其中，在30090(TC下进行所述热处理。全文摘要本发明公开一种用于燃料电池的不锈钢隔板。所述不锈钢隔板包括不锈钢片；在不锈钢片表面上的包括金属/金属氮化物膜(M/MN<sub>x</sub>)(0.5≤x≤1)的第一涂布层；以及包括金属氮氧化合物膜(MO<sub>y</sub>N<sub>z</sub>)(0.05≤y≤2，0.25≤z≤1.0)的第二涂布层。本发明公开一种不锈钢隔板的制造方法。文档编号H01M8/02GK101682049SQ200880019202公开日2010年3月24日申请日期2008年1月28日优先权日2007年6月20日发明者全俞铎,尹甬植,明贤植,朴钟仁,郑景友,金恩英申请人:现代Hysco株式会社