1.硅片脱胶花篮检具，其特征在于，包括本体(1)以及所述本体(1)两侧相连且相对设置的凹字形测试板(2)，所述本体(1)相对的两个端面上对称设置有竖向的凹槽(3)，所述本体(1)端面上设置的凹槽(3)与花篮上的凹槽形状、尺寸以及位置相适应，两个所述测试板(2)之间的距离与所述花篮的长度相适应，每个所述测试板相对应的两个内壁之间的距离与所述花篮的宽度相适应。
2.如权利要求1所述的硅片脱胶花篮检具，其特征在于，所述测试板(2)的内部侧壁与最靠近的所述本体(1)的凹槽(3)之间的距离和所述花篮的侧板外壁与距最靠近的花篮的凹槽之间的距离相适应。