一种柔性基板的吸附装置的制作方法

技术特征：

1.一种柔性基板的吸附装置，包括吸附支架(1)，其特征在于：所述吸附支架(1)下方设有吸附面朝下的吸附平台(2)，所述吸附平台(2)上设有若干通孔(3)，若干所述通孔(3)内均设有用于吸附柔性基板(5)表面的吸嘴(4)，所述吸附平台(2)上设有若干与吸嘴(4)一一对应的调节装置，所述调节装置与吸嘴(4)弹性连接，所述调节装置用于控制吸嘴(4)吸附或松开柔性基板(5)，以及吸嘴(4)在通孔(3)内的伸缩运动；

所述调节装置包括第二柱体(63)和设置在第二柱体(63)内的第二气柱(64)，以及连通所述第二气柱(64)和气泵的导气管(66)，所述第二气柱(64)下端通过弹性部件(65)与吸嘴(4)连通。

2.根据权利要求1所述的柔性基板的吸附装置，其特征在于：所述第二气柱(64)下端通过波纹管与吸嘴(4)连通。

3.根据权利要求1所述的柔性基板的吸附装置，其特征在于：所述柔性基板的吸附装置具有第一状态和第二状态，且所述柔性基板的吸附装置处于第一状态时，所述第二气柱(64)下端与吸嘴(4)下端的距离为D1，所述柔性基板的吸附装置处于第二状态时，所述第二气柱(64)下端与吸嘴(4)下端的距离为D2，其中D1大于D2。

4.根据权利要求1所述的柔性基板的吸附装置，其特征在于：所述调节装置还包括第一柱体(61)及设置在第一柱体(61)内的第一气柱(62)，所述第二柱体(63)套设在第一气柱(62)内，且与第一气柱(62)间隙配合，所述第一气柱(62)与第二气柱(64)通过导气管(66)连通。

5.根据权利要求4所述的柔性基板的吸附装置，其特征在于：所述柔性基板的吸附装置具有第三状态和第四状态，所述柔性基板的吸附装置处于第三状态时，所述第一气柱(62)的高度为H1，所述柔性基板的吸附装置处于第四状态时，所述第一气柱(62)的高度为H2，其中H1大于H2。

6.根据权利要求5所述的柔性基板的吸附装置，其特征在于：所述柔性基板的吸附装置自第三状态向第四状态转变时，所述导气管(66)内气流方向为第一方向，所述柔性基板的吸附装置自第四状态向第三状态转变时，所述导气管(66)内气流方向为第二方向，所述第一方向与第二方向的气流流向相反。

7.根据权利要求1所述的柔性基板的吸附装置，其特征在于：若干所述通孔(3)均匀分布在吸附平台(2)中部，且若干所述通孔(3)的分布呈中心对称图形。

8.根据权利要求7所述的柔性基板的吸附装置，其特征在于：所述中心对称图形为圆形、菱形或正多边形。

9.根据权利要求1-8任一项所述的柔性基板的吸附装置，其特征在于：所述吸附平台(2)上设有若干气孔(7)。