一种柔性基板的吸附装置的制作方法

文档序号:14677881发布日期:2018-06-12 21:45阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种面板制程装置,尤其是涉及一种柔性基板的吸附装置。该吸附装置,包括吸附支架,吸附支架下方设有吸附面朝下的吸附平台,吸附平台上设有若干通孔,若干通孔内均设有用于吸附柔性基板上端面的吸嘴,吸附平台上方设有调节装置。通过在吸附支架下方设有吸附面朝下的吸附平台,吸嘴从柔性基板的上表面吸附,柔性基板无需翻面,蒸镀制程后直接点灯测试,可以极大缩短测试时间;通孔均匀分布在吸附平台中部,吸嘴设置在通孔内,避免因柔性基板中间垂落导致吸附时间过长;通过第一柱体和第二柱体的相对运动,及第一气柱和第二气柱内气压的变化,控制吸嘴吸附或松开柔性基板,以及吸嘴在通孔内的伸缩运动,可以实现单个吸嘴的独立运动。

技术研发人员:颜圣佑
受保护的技术使用者:苏州精濑光电有限公司
技术研发日:2017.10.27
技术公布日:2018.06.12

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