技术特征:
技术总结
本公开提供了半导体器件。一种半导体器件包括:在基板上的第一鳍型图案;在基板上的第二鳍型图案,平行于第一鳍型图案;以及在第一鳍型图案和第二鳍型图案上的外延图案。外延图案可以包括在第一鳍型图案和第二鳍型图案上的共用半导体图案。共用半导体图案可以包括与第一鳍型图案相邻的第一侧壁和与第二鳍型图案相邻的第二侧壁。第一侧壁可以包括第一下晶面、在第一下晶面上的第一上晶面、以及连接第一下晶面和第一上晶面的第一连接曲面。第二侧壁可以包括第二下晶面、在第二下晶面上的第二上晶面、以及连接第二下晶面和第二上晶面的第二连接曲面。
技术研发人员:金锡勋;金东明;申东石;李承勋;李峭蒑;李炫姃;张星旭;赵南奎;崔珉姬
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2018.08.29
技术公布日:2019.03.05