显示基板及其制作方法以及显示装置的制造方法_2

文档序号:9218649阅读:来源:国知局
二遮光层;3_第一钝化层;4_树脂层;5_像素电极;6_公共电极;7_第二钝化层;8-源极;9-漏极;11_半色调掩膜;12_全色调掩膜。
【具体实施方式】
[0091]为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点,下面结合附图和【具体实施方式】对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0092]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明,但是,本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施,因此,本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
[0093]如图2所示,根据本发明一个实施例的显示基板,包括:
[0094]薄膜晶体管,在薄膜晶体管中设置有有源层1,其中,有源层I的材料可以是IGZO ;
[0095]遮光层2,设置在有源层I之上,用于遮挡射向有源层I的光线。
[0096]通过在有源层I之上设置遮光层2,可以有效避免外界光线照射到薄膜晶体管中的有源层1,从而避免有源层I受到外界光照影响造成的薄膜晶体管性能不稳定。
[0097]其中遮光层2可以接触式地设置在有源层I之上,也可以非接触式地设置在有源层I之上,具体结构可以根据需要设置。
[0098]优选地,还包括:
[0099]第一钝化层3,设置在有源层I之上;
[0100]树脂层4,设置在第一钝化层3之上;
[0101]像素电极5,设置在树脂层4之上,材料为金属氧化物,
[0102]其中,遮光层2与像素电极位5于同一层,由像素电极5中的金属氧化物还原形成。
[0103]例如像素电极5的材料为ITO,那么可以通过对ITO进行还原反应,得到金属铟(即In),由于金属铟是不透光的,因此可以有效遮挡射向有源层I的光线。
[0104]其中遮光层2直接从像素电极5中生成,无需为形成遮光层2单独形成层结构,简化了制作遮光层2的工艺。其中树脂层4可以为像素电极提供平坦化条件。
[0105]如图3所示,优选地,还包括:
[0106]第一钝化层3,设置在有源层I之上;
[0107]树脂层4,设置在第一钝化层3之上;
[0108]公共电极6,设置在树脂层4之上,材料为金属氧化物,
[0109]其中,遮光层与公共电极6位于同一层,由公共电极6中的金属氧化物还原形成。
[0110]例如公共电极6的材料为ITO,那么可以通过对ITO进行还原反应,得到金属铟(即In),由于金属铟是不透光的,因此可以有效遮挡射向有源层I的光线。
[0111]并且遮光层直接从公共电极6中生成,无需为形成遮光层2单独形成层结构,简化了制作遮光层2的工艺。
[0112]如图4所示,优选地,还包括:
[0113]第一钝化层3,设置在有源层I之上;
[0114]树脂层4,设置在第一钝化层3之上;
[0115]公共电极6,设置在树脂层4之上,材料为金属氧化物;
[0116]第二钝化层7,设置在公共电极6之上;
[0117]像素电极5,设置在第二钝化层7之上,
[0118]其中,遮光层2包括:
[0119]第一遮光层21,与公共电极6位于同一层,由公共电极6中的金属氧化物还原形成,
[0120]第二遮光层22,与像素电极5位于同一层,由像素电极5中的金属氧化物还原形成。
[0121]本实施例中的遮光层2包括两层遮光结构,相对于一层遮光结构,可以更有效地遮挡射向有源层I的光线。并且可以根据需要调整两层遮光层的宽度,将两层遮光层的宽度设置为相同或不同。
[0122]并且第一遮光层21直接由公共电极6中的金属氧化物还原形成,第二遮光层22直接由像素电极5中的金属氧化物还原形成,无需再微第一遮光层21或第二遮光层22形成额外的层,简化了制作遮光层的工艺。
[0123]本实施例中的显示基板可以是ADS或IPS模式的显示基板,其中公共电极6和像素电极5都设置在阵列基板上。
[0124]优选地,薄膜晶体管还包括:
[0125]源极8和漏极9,设置在有源层I之上,
[0126]其中,源极8和漏极9分别遮挡有源层I的部分区域,则遮光层2的面积大于有源层I未被源极8和漏极9遮挡区域的面积。从而保证遮光层2能够良好遮挡射向有源层I的光线。
[0127]优选地,金属氧化物为ITO,遮光层的材料为金属铟。
[0128]本发明还提出了一种显示装置,包括上述任一项的显示基板。
[0129]需要说明的是,本实施例中的显示装置可以为:电子纸、手机、平板电脑、电视机、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。
[0130]如图5所示,根据本发明一个实施例的显示基板制作方法,包括:
[0131]形成薄膜晶体管中的有源层I ;
[0132]在有源层I之上形成遮光层2,以遮挡射向有源层I的光线。
[0133]优选地,还包括:
[0134]在有源层I之上形成第一钝化层3 ;
[0135]在第一钝化层3之上形成树脂层4 ;
[0136]在树脂层4之上形成材料为金属氧化物的像素电极5,
[0137]则形成遮光层2包括:
[0138]对像素电极5的第一区域进行还原处理,以作为遮光层2。
[0139]如图5所示,优选地,形成遮光层2包括:
[0140]Al,在像素电极5的第一区域之上形成半色调掩膜,在像素电极5的其他区域之上形成全色调掩膜;
[0141]A2,对像素电极5所在层进行蚀刻,以得到像素电极5的图案;
[0142]A3,对像素电极5的图案进行灰化工艺,以去除像素电极5的第一区域之上的半色调掩膜;
[0143]A4,对像素电极5的第一区域进行等离子还原处理,以作为遮光层2。
[0144]优选地,还包括:
[0145]在有源层I之上形成第一钝化层3 ;
[0146]在第一钝化层3之上形成树脂层4 ;
[0147]在树脂层4之上形成材料为金属氧化物的公共电极6,
[0148]则形成遮光层2包括:
[0149]对公共电极6的第二区域进行还原处理,以作为遮光层2。
[0150]如图6所示,优选地,形成遮光层包括:
[0151]BI,在公共电极6的第二区域之上形成半色调掩膜11,在公共电极6的其他区域之上形成全色调掩膜12,如图8所示;
[0152]B2,对公共电极6所在层进行蚀刻,以得到公共电极6的图案,如图9所示;
[0153]B3,对公共电极6的图案进行灰化工艺,以去除公共电极6的第二区域之上的半色调掩膜11,如图10所示;
[0154]B4,对公共电极6的第二区域进行等离子还原处理,以作为遮光层2,如图11所示,当然,在形成遮光层2之后还需要去除公共电极6其他区域上的全色调掩膜12,如图12所不O
[0155]优选地,还包括:
[0156]在有源层I之上形成第一钝化层3 ;
[0157]在第一钝化层3之上形成树脂层4 ;
[0158]在树脂层4之上形成材料为金属氧化物的公共电极6 ;
[0159]在公共电极6之上形成第二钝化层7 ;
[0160]在第二钝化层7之上形成材料为金属氧化物的像素电极5,
[0161]则形成遮光层2包括:形成第一遮光层21和第二遮光层22,
[0162]其中,形成第一遮光层21包括:
[0163]对公共电极6的第二区域进行还原处理,以作为第一遮光层21,
[0164]形成第二遮光层包括:
[0165]对像素电极5的第一区域进行还原处理,以作为第二遮光层22。
[0166]如图8所不,优选地,形成第一遮光层21包括:
[0167]Cl,在公共电极6的第二区域之上形成半色调掩膜,在公共电极6的其他区域之上形成全色调掩膜;
[0168]C2,对公共电极6所在层进行蚀刻,以得到公共电极的图案;
[0169]C3,对公共电极6的图案进行灰化工艺,以去除公共电极6的第二区域之上的半色调掩膜;
[0170]C4,对公共电极6的第二区域进行等离子还原处理,以作为第一遮光层21,
[0171]形成第二遮
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