配线基板及配线基板的制造方法_3

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方向侧和X轴负方向侧设置空间的理由如下。S卩,在从贯穿孔IlOH的上方将电容芯片200配置在贯穿孔IlOH的内部时,可以容易地将电容芯片200插入贯穿孔IlOH的内部。另外,还可以防止电容芯片200卡在贯穿孔IlOH的X轴正方向侧和X轴负方向侧的内壁上。
[0079]例如,在核层110的上方沿X轴方向搬送电容芯片200以将其配置在贯穿孔IlOH的内部的情况下,电容芯片200的位置即使相对于贯穿孔IlOH沿X轴方向发生了一点偏移,也可以确实地将2个电容芯片200配置在贯穿孔IlOH的内部。
[0080]接下来,参照图4A至图6C对本实施方式的配线基板100的制造方法进行说明,并且参照图7对在配线基板100上实装LSI (Large Scale Integrated circuit)芯片的步骤进行说明。
[0081]图4A至图6C是表示本实施方式的配线基板100的制造步骤的图。以下所示的截面是与图1A、图2B、图3B相对应的截面。
[0082]首先,如图4A、图4B所示,准备一形成了配线层IllA和贯穿电极120A、120B的核层110,并进行激光加工,以形成贯穿孔110H(参照图2A、图2B)。
[0083]例如,如图4A、图4B所示,通过对激光束的直径和输出功率进行调整,以使I次激光照射就可形成孔部I 1Hl。如图4A所示,孔部110H1例如具有贯穿孔IlOH的Y轴方向的宽度的大约1/3左右的直径,并具有比核层110的厚度的一半还深一点的深度。另外,如图4B所示,孔部110H1具有随着深度的增加开口逐渐变小的截面形状。这样的孔部110H1的形状可通过激光加工实现。
[0084]这样,在形成贯穿孔IlOH的区域内,通过如图4A中虚线圆所示的那样连续地移动激光照射的位置,然后,再使核层110上下颠倒并进行同样的激光照射,就可形成贯穿孔
IlOHo
[0085]此时,在从核层110的两面进行激光照射时,如果对激光束的直径和输出功率进行调整,以使贯穿孔IlOH的内壁留下突出部110A,则还可在核层110内形成具有突出部IlOA的贯穿孔IlOHo
[0086]需要说明的是,这里尽管示出了在形成了配线层IllA和贯穿电极120A、120B的核层110内形成贯穿孔IlOH的步骤,然而,也可以先在核层110上形成贯穿孔110H,然后再形成配线层IllA和贯穿电极120A、120B。
[0087]接下来,如图5A所示,对核层110进行上下倒转,并在核层110的形成了配线层IllA的面上贴附临时胶带300。临时胶带300在图5A中的上表面具有黏着层。临时胶带300例如为PET等树脂膜制。
[0088]之后,如图5B所示,在核层110的贯穿孔IlOH的内部插入2个电容芯片200,并使电容芯片200的电极202卡合在Y轴正方向侧的突出部IlOA的顶部110A1和Y轴负方向侧的突出部IlOA的顶部110A1之间(参照图3A至图3C)。另外,在该状态下,电容芯片200贴附在临时胶带300上,据此,可对电容芯片200进行临时固定。
[0089]接下来,如图5C所示,将加热溶融后的树脂材料填充至贯穿孔IlOH的内部,并使其覆盖核层110、贯穿电极120A、120B及电容芯片200。具体为,以覆盖贯穿孔IlOH的方式在核层110之上积层(形成)树脂膜,并对其进行加热溶融。然后,对树脂材料进行加热和加压,并使其热硬化,据此,形成绝缘层130B。
[0090]在该步骤中,由于电容芯片200被突出部IlOA所支撑,并且还被临时胶带300进行了临时固定,所以,可防止2个电容芯片200的位置偏移。因此,可防止2个电容芯片200之间的接触,进而可维持电容芯片200之间的绝缘性。
[0091]另外,由于配线层IllA在平面视图中为矩形环状,并包围贯穿孔IlOH的开口,所以,可防止绝缘层130B进入配线层IllA的外侧。需要说明的是,在绝缘层130B的所述进入(乱入)不成问题或不会发生所述进入(乱入)的情况下,也可不设置包围贯穿孔IlOH的开口的配线层111A。
[0092]接下来,取下临时胶带300,然后,如图所示,再使核层110上下颠倒。
[0093]接下来,如图5E所示,以覆盖核层110、配线层111A、贯穿电极120A、120B及电容芯片200的上表面的方式形成绝缘层130A。绝缘层130A可通过对与绝缘层130B相同的树脂材料进行加热和加压,并使其热硬化的方式形成。
[0094]需要说明的是,在该步骤中,由于电容芯片200被突出部I1A和绝缘层130B所支撑,所以,可防止出现2个电容芯片200的位置偏差。因此,可防止2个电容芯片200之间的接触,进而可维持电容芯片200之间的绝缘性。另外,在图5C?图5E的步骤中,还由绝缘层130A和130B对电容芯片200进行了密封。
[0095]接下来,如图6A所示,形成通路孔131A、131B。就通路孔131A而言,可在之后要形成通孔140A1?140A6的位置,例如通过激光加工来形成该通路孔131A。对通路孔131B而言,使核层110上下颠倒后,可在之后要形成通孔140B1?140B6的位置,例如通过激光加工来形成该通路孔131B。
[0096]接下来,如图6B所示,形成通孔140A1?140A6和140B1?140B6、以及、配线层150A1 ?150A6 和 150B1 ?150B6。
[0097]通孔140A1?140A6和140B1?140B6可分别在通路孔131A、131B的内部例如采用半进加(sem1-additive)法来形成。这里,通孔140A1?140A6是同时形成的,并且,通孔140B1?140B6也是同时形成的。
[0098]另外,就配线层150A1?150A6和150B1?150B6而言,可在电镀形成了通孔140A1?140A6和140B1?140B6之后马上再采用半加法,以使这些配线层分别与这些通孔一体形成。
[0099]接下来,如图6C所示,形成阻焊层160A和160B。
[0100]阻焊层160A可通过如下方式形成,S卩,在绝缘层130A和配线层150A1?150A6之上整面地形成阻焊材料之后,再通过曝光?显影等,使配线层150A1?150A6中的要被用作为端子的部分从表面露出来。需要说明的是,阻焊材料为感光性环氧树脂制或感光性丙烯树脂制。
[0101]同样,阻焊层160B可通过如下方式形成,S卩,在绝缘层130B和配线层150B1?150B6之上整面地形成阻焊材料之后,再通过曝光.显影等,使配线层150B1?150B6中的要被用作为端子的部分从表面露出来。
[0102]至此,完成了本实施方式的配线基板100的制作。
[0103]图7是表示在配线基板100上实装了 LSI芯片400的状态的图。
[0104]如图7所示,在配线层150A1?150A6中的作为端子使用的部分,可介由凸块(bump) 401实装LSI芯片400。LSI芯片400之下可填充底部填充树脂402。
[0105]根据本实施方式可知,2个电容芯片200通过被卡合在贯穿孔IlOH的内壁的突出部IlOA上以被进行了定位后,才开始形成绝缘层130A、130B至阻焊层160A、160B。
[0106]这样,可防止出现沿X轴方向并排排列的2个电容芯片200的位置偏差的问题,进而可防止出现电极202之间接触所导致的短路、以及、电极202和通孔140A2?140A5、140B2?140B5的连接不良的问题。
[0107]因此,能提供一种在将2个电容芯片200配设在I个贯穿孔IlOH的内部时可提高电气可靠性的配线基板100及配线基板100的制造方法。
[0108]这里,需要说明的是,在配线基板100上安装CPU等工作在高频下的半导体芯片的情况下,为了提高电气特性,一般需要内置多个电容芯片200。
[0109]如果I个贯穿孔IlOH内仅可设置I个电容芯片200,则在需要内
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