专利名称：：复合陶瓷及其制法的制作方法
技术领域：
：本发明涉及高强度、高韧性、且耐磨损性高的复合陶瓷及其制法，特别是适于被使用作为各种结构体或其部件的复合陶瓷及其制法。
背景技术：
：近年来，陶瓷从其优异的机械特性和耐腐蚀性等的理由出发，被适用于各种的结构体和其部件。例如，有各种的刃具类和工具类、轴承等的机构部件，或者人体关节等的生物体用构件等。作为适用于如上用途的陶瓷,在专利文献1中公开有一种氧化锆系复合陶瓷，其含有由Ce02和￥203稳定化的氧化锆结晶相和氧化铝结晶相。该复合陶瓷以氧化锆结晶相为主，由正方晶构成，其强度和韧性等的机械特性和耐热水劣化性等优异。另外，在下述专利文献2中公开有一种高韧性的氧化铝一氧化锆复合陶瓷，其以氧化铝和氧化锆为主成分，对于该主成分含有碱土类金属氧化物及氧化硅。专利文献1:特公平7-64631号公报专利文献2:专利2910020号公报专利文献1所述的氧化锆系复合陶瓷，是单位稳定化氧化锆中含有360重量％的氧化铝的富氧化锆的烧结体，平均结晶粒径为3pm以下，虽然其弯曲强度、韧性及耐热水劣化性高，但是硬度低，不利于作为耐磨损性的材料。另一方面，专利文献2所公开的氧化铝一氧化锆复合陶瓷虽然韧性高，但是由于氧化铝结晶相异常粒成长，因此机械强度低，特别是耐热水性低，存在热水劣化试验后的抗折强度很大地降低这样的缺点。
发明内容因此，本发明的目的在于，提供一种弯曲强度、韧性及耐热水性(耐热水劣化性)优异，并有着高硬度，作为耐磨损性材料有用的复合陶瓷及其制法。根据本发明可提供一种复合陶瓷，其由块状的氧化铝结晶相(A)、块状的氧化锆结晶相(B)及含有碱土类金属和铝元素的复合氧化物的柱状晶(c)构成。在本发明的复合陶瓷中，优选为(1)所述复合氧化物的柱状晶(C)具有比3大的长宽比，(2)氧化铝结晶相(A)和氧化锆结晶相(B)以65/3590/10的质量比(A/B)存在，(3)氧化铝结晶相(A)的平均结晶粒径为1.5pm以下，氧化锆结晶相(B)的平均结晶粒径为0.5pm以下，(4)形成所述柱状晶(C)的复合氧化物是从如下群中选择的至少1种Ca3Ti8Al12037、SrTi3Al8019、Ba3TiAl10O20、CaAl12019、SrAl12Oi9及BaAl120(5)维氏硬度为1600以上，破坏韧性值在4.5以上，且热水劣化试验后的抗折强度为1050MPa以上，(6)对剖面进行电子显微镜观察时，在4.5iimX6.(Him大小的面积中，所述柱状晶(C)相对于氧化铝结晶相(A)及氧化锆结晶相(B)的合计面积的面积比例为120%。根据本发明，还提供一种复合陶瓷的制法，包括将平均粒径为2pm以下的氧化铝粉末和含有碱土类金属元素的粉末进行混合的工序；对所述混合粉末进行预烧达到氧化铝粉末和含有碱土类金属元素的粉末粘合程度的工序；在预烧过的粉末中混合平均粒径为0.5pm以下的氧化锆粉末而调制成形用粉末的工序；以及将所述成形用粉末成形为规定形状后，在1600'C以下的氧化性气氛中进行煅烧的工序。在本发明的制法中，优选为(1)作为含有所述碱土类金属元素的粉末，使用碳酸锶粉末、碳酸钙粉末、碳酸钡粉末中的至少一种，(2)将含有所述碱土类金属元素的粉末和氧化钛粉末混合在氧化铝粉末中，(3)相对于氧化铝粉末和预烧后混合的氧化锆粉末的合计量100质量份，使用所述氧化钛粉末的量为0,2质量份以上，使用含有所述碱土类金属元素的粉末的量为0.2质量份以上，(4)在所述煅烧工序后，再进行1500'C以下的热静水压煅烧。根据本发明，还提供一种使用所述复合陶瓷而成形的滑动构件生物体用构件。还有，在本发明中，所谓块状的结晶相是指例如通过电子显微镜照片算出的、作为结晶的长径和短径的比的长宽比为3以下的结晶粒子，结晶相的形状不具有指向性。该结晶相的长宽比是剖面中出现的结晶粒子的最长径和以其垂直方向为短径而求得的最长径/短径比。本发明的复合陶瓷，因为氧化铝结晶相和氧化锆结晶相均是块状，所以为高强度、高硬度，且耐磨损性优异。另外，在块状的氧化铝结晶相和氧化锆结晶相之间形成有含有碱土类金属和铝元素的复合氧化物的柱状结晶，因此为高韧性，耐热水性也高，例如热水劣化试验后的抗折强度的降低被有效地抑制。具有这样特性的本发明的复合陶瓷，可用作各种结构体及其部件，例如各种刃具类和工具类，或者轴承等的机构部件，人体关节等的生物体用构件，特别是用作滚珠轴承(ballbearing)和人体关节等的滑动构件。图1是表示本发明的复合陶瓷的构造的概略图。具体实施方式以下基于附图所示的具体例详细地说明本发明。(复合陶瓷的构造)以图1为参照，本发明的复合陶瓷，具有作为结晶相均为块状的氧化铝结晶相1和氧化锆结晶相3，在这些结晶相之间具有柱状晶5，该柱状晶5由含有碱土类金属和铝元素的复合氧化物构成。艮p，本发明的复合陶瓷，形成在烧结体中成为结晶相的主体的氧化铝结晶相1及氧化锆结晶相3为没有指向性的块状的组织，在这样的块状的结晶相之间形成有由规定的复合氧化物构成的柱状晶5，所以氧化铝结晶相和氧化锆结晶相的粒成长受到抑制，从而能够避免粒成长带来的烧结体的强度降低，实现高强度化，此外不仅能够使韧性、抗折强度、硬度等的机械特性提高，也能够使耐热水性提高。氧化铝结晶相1及氧化锆结晶相3如根据图1所理解的那样，本发明的复合陶瓷基本上优选为富氧化铝，例如，氧化铝结晶相1和氧化锆结晶相3的质量比优选处于如下的范围氧化铝结晶相/氧化锆结晶相=65/3590/10特别是75/2585/15如此通过使组成成为富氧化铝，在实现高硬度化、使耐磨损性提高上是有利的。另外，氧化铝结晶相1因为其粒成长被抑制，所以通常其平均结晶粒径在1.5pm以下，特别是处于0.61.3pm的范围内，由此能够达成高强度化和高韧性化。另一方面，优选为氧化锆结晶相3的平均结晶粒径比氧化铝的平均结晶粒径小，特别是在0.5iim以下，优选处于0.10.4pm的范围。艮卩，在本发明中，不仅在氧化铝结晶相l中，即使在氧化锆结晶相3中也具有粒成长被有效抑制的组织结构，因此通过微粒化或高密度化，能够实现高强度化和高韧性化。此外，在本发明的复合陶瓷中，如上述优选富氧化铝且氧化锆结晶相3的平均粒径比氧化铝结晶相1小，但是在这样的形态中，构成为以氧化铝结晶相1作为母材，氧化锆结晶相3分散在这样的氧化铝母材中，通过来自氧化铝母材的压縮应力而稳定化。即，即使氧化锆结晶相3中所含的稳定剂为少量，但氧化锆结晶相3作为正方晶而稳定化，因此单斜晶和立方晶的析出被抑制，其结果是强度(例如抗折强度)和韧性提高，此外硬度也提高。例如，若稳定剂大量存在，则应力诱发相变将难以发生，抗折强度、韧性降低，但是在本发明中，能够避免这样的稳定剂造成的机械特性的降低。还有，作为氧化锆的稳定剂，通常使用的￥203是3价的氧化物，若在作为4价氧化物的氧化锆(Zr02)中固溶，则形成氧空位，由于水对该氧空位发生作用，氧化锆的结合会发生切断，引起热水劣化。即，若使用￥203作为氧化锆结晶相3的稳定剂而使氧化锆稳定化为正方晶，则耐热水性显著降低，例如热水劣化试验后的抗折强度很大地降低。然而，在本发明的复合陶瓷中，不使用￥203这样的稳定剂也能够使氧化锆结晶相3稳定化，因此能够有效地避免由Y203造成的耐热水性的降低。如根据上述的说明所理解的那样，在本发明的复合陶瓷中，优选不添加稳定剂或者即使添加也是极其微量。即，上述的氧化锆结晶相3的稳定剂量，优选单位氧化锆(Zr02)中有2molM以下。还有，为了增加烧结后的氧化锆结晶相3的正方晶相的稳定性，也可以添加少量的其他稳定剂(例如Sc、Ce、Yb等的氧化物)，另外，这样的其他稳定剂也可以以最终成为氧化物的形态(盐、醇盐(alkoxide)等)添加。柱状结晶相5在本发明中，极其重要的是在上述的氧化铝结晶相1和氧化锆结晶相3的晶界，存在有含有碱土类金属和铝元素的复合氧化物的柱状晶5。艮口，在煅烧时碱土类金属与氧化铝反应，由此含有碱土类金属及氧化铝的复合氧化物生成为长宽比为3以上的柱状晶5。通过这样的柱状晶5的生成，氧化铝结晶相1和氧化锆结晶相3的粒成长被抑制，其结果是，这些结晶相l、3形成为长宽比在3以下的块状，粒成长造成的强度降低受到抑制，从而能够实现高强度化。另外在本发明中，由于柱状晶5的形成，也能够提高靭性。例如，上述这样的柱状晶5不存在时，裂纹的偏向难以发生，由于裂纹的传播成为直线性的，因此破坏韧性降低。另外，氧化铝结晶相的粒成长容易发生，尽管韧性得到维持，但是抗折强度和耐磨损性降低，特别是耐热水性降低，热水劣化试验后的抗折强度很大地降低。这样的柱状晶5，其硬度比上述的氧化铝结晶相1低，因此若大量存在则会发生硬度降低，此外若以大的形状存在，则导致强度降低。因此，优选不带来硬度降低和强度降低，适度大小的柱状晶5析出，例如，对该复合陶瓷的剖面进行电子显微镜观察时，在4.5nmX6.0pm大小的面上，氧化铝结晶相1和氧化锆结晶相3的单位合计面积中，柱状晶5所占的面积为120%，特别是柱状晶5以处于110%的范围这样的量存在，在提高韧性、抗折强度、硬度等的机械特性方面为优选。在本发明中，作为用于构成这种柱状晶5的复合氧化物的形成所使用的碱土类金属，没有特别限定，例如Ca、Sr、Ba等都可以，不过特别优选Sr。采用Sr来形成复合氧化物的柱状晶5时，通过更少量的Sr的使用，不但有机械强度提高的效果，而且还有低温下的液相的生成被抑制，从而能够有效地抑制粒成长，且成分的毒性也低这样的优点。还有，虽然先前只进行了简单地阐述，由复合氧化物构成的柱状晶5来自作为助剂使用的碱土类金属化合物，例如将碱土类金属化合物及根据需要添加的钛化合物与氧化铝及氧化锆混合并煅烧，由此碱土类金属与氧化铝的一部分反应，含碱土类金属及Al的复合氧化物的柱状晶5析出。构成这样的柱状晶5的复合氧化物作为代表由下式表示-Ca3Ti8Ali2037、SrTi3Al8019、Ba3TiAl10O20、CaAl12019、SrAl12019、或BaAl120i9。在本发明的复合陶瓷中，由这样的复合氧化物构成的柱状晶5为了满足上述的面积比，优选氧化铝结晶相和氧化锆结晶相的合计量的每IOO质量％，含有碱土类金属(Ca、Sr、Ba)以氧化物换算至少为0.24质量％以上，特别优选将钛(Ti)和碱土类金属(Ca、Sr、Ba)，作为氧化物合计在0.4质量％3质量％的范围含有。其他成分还有，本发明的复合陶瓷，除了上述各成分以外，也可以含有来自碱土类金属化合物以外的烧结助剂的成分(例如Si02、MgO等)，这种氧化物成分一般存在于各结晶相的晶界，但其一部分也会固溶在结晶相中。如上述，本发明的复合陶瓷，有效地避免了由于氧化铝的增量引起的强度降低，强度和韧性优异，例如显示出1600以上的维氏硬度，4.5以上的破坏韧性值，且即使在热水劣化试验后仍显示出1050MPa以上的抗折强度。具有如此特性的本发明的复合陶瓷，极其适于用作各种结构用部件，例如各种刃具类和工具类，或者滚珠轴承等的轴承构件和人造关节等为代表的滑动用构件的用途。(复合陶瓷的制造)本发明的复合陶瓷可根据如下方法进行制造以满足上述组成的方式，准备成为氧化铝结晶源、氧化锆结晶源、碱土类金属元素和氧化铝的复合氧化物的柱状晶源的各种原料粉末。以规定的量比混合此原料粉末而调制成形用混合粉末，接着进行成形及煅烧。原料粉末作为氧化铝结晶源，使用氧化铝粉末，不过该氧化铝粉末的平均粒径在2pm以下，特别在lpm以下，最优选为0.6nm以下。这是由于若使用平均结晶粒径大的粗大的粉末，则烧结温度变高，并且氧化铝结晶相1的平均结晶粒径大，发生强度降低。另外，还优选这种氧化铝粉末的纯度为99.9质量％以上。作为氧化锆结晶源，使用市场销售的氧化锆粉末。这种氧化锆优选不含稳定剂，不过含有稳定剂的也能够使用。作为稳定剂，优选￥203，不过这种稳定剂如前选阐述的，为单位氧化锆(Zr02)中有2摩尔°/。以下，这在避免耐热水性的降低上为优选。另外，这种氧化锆粉末的平均粒径可以为0.5pm以下，优选为0.4pm以下。若使用平均粒径大的粉末，则氧化锆结晶相3的平均结晶粒径变大，促进从正方晶氧化锆向单斜晶氧化锆相变，由氧化锆的添加带来的高韧性化有可能不充分。还有，这样的氧化锆粉末虽然会含有二氧化铪(Hf02)等不可避免的杂质，但通常优选其纯为99.9质量％以上。在本发明中，上述的氧化铝粉末和氧化锆粉末，以使氧化铝结晶相l和氧化锆结晶相3成为前述范围的质量比的方式，按照65/3590/10，特别是75/2585/15的质量比使用。另外，作为与上述的氧化铝粉末和氧化锆粉末一起使用的成为柱状结晶源的粉末，使用碱土类金属化合物的粉末。这样的碱土类金属化合物如果是通过煅烧而能够成为氧化物的则没有特别限制，例如能够使用氧化物以外的形态的化合物，但优选使用碳酸盐，最优选使用碳酸锶(SrC03)。这是由于碳酸锶作为碳酸化合物有着低吸湿性，在环境方面也稳定，在预烧和煅烧时易于分解，且通过更少量的添加就有机械强度提高的效果，另外若使用锶，则低温下的液相的生成被抑制，能够抑制粒成长，此外还有成分的毒性低这样的优点。另外，为了使柱状晶快速地析出，最优选将氧化钛(Ti02)粉末与上述的碱土类金属化合物的粉末并用。为了以均一分散的状态使微细的柱状晶5析出，上述的碱土类金属化合物粉末及氧化钛粉末优选其平均粒径为lpm以下，特别优选在0.5pm以下。另外，这些粉末的使用量应该成为使析出的柱状晶5满足规定的面积比的量。即，如先前阐述的，氧化铝粉末和氧化锆粉末的合计量的单位100质量份，按氧化物换算使用碱土类金属化合物粉末的量为0.24质量份以上，氧化钛粉末按照氧化钛粉末和碱土类金属化合物粉末的合计量为0.43质量份的范围的量使用。.在本明中，为了提高烧结性，根据需要还能够使用Si、Zn、Nb、Ta等的氧化物粉末作为助烧结剂。另外，为了着色能够添加Cr、Mn、Fe、Co、Ni等的氧化物粉末作为着色剂。当然，这样的烧结助剂和着色剂的粉末并不限定于氧化物，也能够以通过煅烧而形成氧化物的化合物的形态，例如氢氧化物、碳酸盐、复合氧化物、醇盐来进行添加。这些烧结助剂和着色剂的粉末的平均粒径一般优选在lpm以下，特别优选在0.5pm以下。还有，作为添加物的Mn、Fe、Co、Ni成分有能够提高瓷器的烧结性的优点。这些烧结助剂粉末和着色剂粉末，其合计量为在氧化锆粉末和氧化铝粉末合计量单位100质量份中有3质量份以下，特别优选在2质量份以下。成形用粉末的调制为了制造本发明的复合陶瓷，首先，在上述的原料粉末之内，按照满足前述的量比的量，混合氧化铝粉末、前述的碱土类金属化合物粉末及根据需要而使用的氧化硅粉末和烧结助剂粉末和着色剂粉末，预烧该粉末。通过此预烧，使碱土类金属化合物和氧化硅粉末与氧化铝粉末粘结。该预烧的温度通常优选为700100(TC的温度范围，预烧时间一般为0.55小时左右。在通过上述这样的预烧而得到的预烧粉末中，混合前述规定量的氧化锆粉末，得到成形用粉末。即，将经过这一预烧而得到的成形用粉末付与以下所述的成形及煅烧工序中，由此能够得到作为目标的复合陶瓷。例如，不进行上述这样的预烧，而将各原料粉末的混合粉末直接进行成形及煅烧时，则不能够抑制氧化铝结晶相1和氧化锆结晶相3的粒成长，另外也不能使希望大小的柱状晶5析出，从而不能提高机械特性和耐热水性。还有，前述的烧结助剂粉末和着色剂粉末，也可以根据情况与氧化锆粉末一起混合在预烧粉末中。成形及煅烧采用上述成形用粉末的成形根据如下方法进行遵循规定方法，根据需要，使用水和有机溶剂等的溶剂、有机粘合剂等来调制黏浆或膏剂(或者调制干燥黏浆或膏剂而得到的粉末)，使用这样的黏浆、膏剂或粉末成形为规定形状。作为成形方法，能够采用挤压成形、浇铸、冷静水压成形、或冷却静水压处理等历来公知的方法。接着，将得到的成形体煅烧，该煅烧在大气气氛等的氧化性气氛中，在1600'C以下，特别以1300155(TC的温度进行。若在需要以上的高温下进行煅烧，则氧化锆结晶相3和氧化铝结晶相1粒成长，抗折强度及硬度降低，另外，若煅烧温度为过低的温度，贝lj难以得到致密的烧结体。另外，若在还原气氛中进行煅烧，则氧化锆被还原，变成锆和氮化物等。另外，所述煅烧通常进行到烧结体的基于阿基米德法的相对密度成为95%以上、特别是98%以上的程度，通常是110小时左右。在本发明中，在上述的煅烧后，以150(TC以下的温度、特别是140(TC以下的温度、最优选为1200135(TC的温度，通常，优选在氩气气氛或氧化性气氛中(例如含有20%的氧的Ar气中)进行热静水压煅烧12小时左右。由此既能够抑制构成复合陶瓷的氧化锆结晶相和氧化铝结晶相的粒成长，又能够进一步实现高密度化，例如能够使烧结体的相对密度提高到99%以上。还有，若在氩气中进行热静水压挤压，则由于高温下在Zr02中会产生氧缺陷而发黑的情况，因此为了防止氧缺陷的生成，而在热静水压挤压之后在大气中进行热处理，或在含有氧的气氛中进行热静水压挤压，由此能够得到没有着色的烧结体。如以上，能够得到具有前述的组成及特性的本发明的氧化铝*氧化锆的复合陶瓷。(实施例)通过以下的实验例说明本发明的优异的效果。(实验例1)首先，将平均结晶粒径0，3)Lim、纯度99.9质量％的氧化铝粉末和表1所示的各种添加剂进行混合，以80(TC、1小时的条件进行预烧。其次，在该预烧粉末中，按表l所示的比例混合平均结晶粒径0.3pm、纯度99.9质量％的氧化锆粉末，调制成成形用粉末。还有，氧化铝粉末和各种添加剂的混合，以及氧化锆粉末和预烧粉末的混合，均使用高纯度耐磨损氧化铝球和聚乙烯容器，利用以异丙醇(IPA)为溶剂的湿式球磨机混合(混合时间100小时)进行。对上述获得的成形用粉末进行干燥，接着挤压成形，在大气中，以14001550'C进行2小时的煅烧，制作棒状的烧结体试料。接着，按表1所示的条件(气氛及温度)进行热静水压煅烧(HIP)1小时，得到相对密度99.5%以上的致密烧结体(试料No.116)。还有，为了比较，在试料No.l中，完全不使用各种添加剂，在试料No.6中，不进行大气中的煅烧后热静水压煅烧(HIP)，在试料No.l4中不进行预烧，一起混合氧化铝粉末、氧化锆粉末及各种添加剂粉末，调制成成形粉末。研削加工由上述得到的各烧结体，制作4X3X35mm的试料，领fl定其抗折强度，并且用扫描型电子显微镜和透射型电子显微镜进行结晶组织观察，进行柱状晶的组成分析结果及各种特性评价，其结果显示在表2中。在结晶组织观察中，对于沿着电子显微镜照片的对角线上存在的结晶相，求得氧化锆结晶相和氧化铝结晶相的平均结晶粒径和长宽比。这时为结晶相的长径和短径的平均值。另外，长宽比作为长径与短径的比(长径/短径)而求得。此外，长宽比比3大的柱状晶对氧化锆结晶相及氧化铝结晶相的合计面积的面积比，是针对切断面中的任意的点的10处，在4.5pmX6.(^m大小的范围内，利用扫描型电子显微镜观察而求得(倍率2万倍)，显示为其平均值。另外，各特性，基于JIS-R1601的室温下的抗折强度，及热水劣化试验后(120°C、100%RH下进行300小时处理后)的抗折强度，基于JIS-R1607根据SEPB法的破坏韧性值，还有基于JIS-R1610的根据维氏硬度进行，结晶相的鉴定根据XRD进行。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>*表示本发明的范围之外的资料—起全部的原料粉末一寧浪合煅烧。2阶段预先^合烧结助^和氧化铝粉末，进行预烧，将其与氧化锆粉末浪含。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>如*表示本发明外的资料。**:结晶相CTA:Cs3TM豕A!12D37、STA:Sr]'iSA1a0ls、:Ba3TIA，10OjeCA:C3iAl12OlS、SA:SrA"20!a、Ba:BaAi12Oia如表1、2的结果所表明的，在有长宽比比3大的柱状晶生成，氧化铝结晶相的长宽比成为3以下的块状的试料No.212、15、16(本发明例)中，破坏韧性值为4.5GPa以上，维氏硬度为1610以上，抗折强度为1050MPa以上，热水劣化试验后的抗折强度也在700MPa以上，特别是在1010MPa以上。相对于此，在本发明的范围外的试料中，破坏韧性、维氏硬度、抗折强度及热水劣化试验后的抗折强度之中，至少有某一种特性低。权利要求1.一种复合陶瓷，其特征在于，由块状的氧化铝结晶相A、块状的氧化锆结晶相B、及含有碱土类金属和铝元素的复合氧化物的柱状晶C构成。2.根据权利要求1所述的复合陶瓷，其中，所述复合氧化物的柱状晶C具有比3大的长宽比。—3.根据权利要求1所述的复合陶瓷，其中，氧化铝结晶相A和氧化锆结晶相B以65/3590/10的质量比A/B存在。4.根据权利要求1所述的复合陶瓷，其中，氧化铝结晶相A的平均结晶粒径为1.5|im以下，氧化锆结晶相B的平均结晶粒径为0.5|im以下。5.根据权利要求1所述的复合陶瓷，其中，形成柱状晶C的复合氧化物是从如下群中选择的至少1种Ca3Ti8Al12037、SrTi3Al8019、Ba3TiAl10O20、CaAl12019、SrAl12OjBaAl12019。6.根据权利要求1所述的复合陶瓷，其中，维氏硬度为1600以上，破坏韧性值为4.5以上，且热水劣化试验后的抗折强度为1050MPa以上。7.根据权利要求1所述的复合陶瓷，其中，对剖面进行电子显微镜观察时，在4.5pmX6.(^m大小的面上，所述柱状晶C相对于氧化铝结晶相A及氧化锆结晶相B的合计面积的面积比例为120%。8.—种复合陶瓷的制法，其特征在于，包括将平均粒径为2pm以下的氧化铝粉末和含有碱土类金属元素的粉末进行混合的工序；对所述混合粉末进行预烧达到氧化铝粉末和含有碱土类金属元素的粉末粘合的程度的工序；在预烧过的粉末中混合平均粒径为0.5pm以下的氧化锆粉末，调制成形用粉末的工序；以及将所述成形用粉末成形为规定形状后，在160CTC以下的氧化性气氛中进行煅烧的工序。9.根据权利要求8所述的复合陶瓷的制法，其中，作为所述含有碱土类金属元素的粉末，使用碳酸锶粉末、碳酸钙粉末、碳酸钡粉末中的至少一种。10.根据权利要求8所述的复合陶瓷的制法，其中，将所述含有碱土类金属元素的粉末与氧化钛粉末混合在氧化铝粉末中。11.根据权利要求10所述的复合陶瓷的制法，其中，相对于氧化铝粉末和预烧后混合的氧化锆粉末的合计量100质量份，使用所述氧化钛粉末的量为0.2质量份以上，使用所述含有碱土类金属元素的粉末的量为0.2质量份以上。12.根据权利要求8所述的复合陶瓷的制法，其中，在所述煅烧工序后，再进行1500'C以下的热静水压煅烧。13.—种滑动构件，其特征在于，由权利要求1所述的复合陶瓷构成。全文摘要本发明的复合陶瓷，由长宽比为3以下的块状的氧化铝结晶相(A)、长宽比为3以下的块状的氧化锆结晶相(B)、及含有碱土类金属和铝元素的复合氧化物的长宽比比3小大的柱状晶(C)构成。这种复合陶瓷，弯曲强度、韧性优异，硬度也高，此外耐热水性也优异，耐热劣化试验后的抗折强度也高。文档编号C04B35/119GK101107205SQ20068000260公开日2008年1月16日申请日期2006年1月24日优先权日2005年1月27日发明者四方邦英,濑野裕明,王雨丛,鬼塚修吾申请人:京瓷株式会社