专利名称：玻璃基板刻划方法
技术领域：
本发明涉及玻璃基板刻划方法，特别是涉及对在表面形成有強化层的强化玻璃进行刻划的玻璃基板刻划方法。
背景技术：
作为在玻璃基板上形成用于分割的刻划槽的方法，有使用激光来形成的方法。此时，通过沿着刻划预定线来照射激光而使基板的一部分溶解、蒸发，来形成刻划槽。但是，在该方法中，有时被溶解、蒸发的基板的一部分附着在基板表面上，伴随而来的是质量的恶化。另外，在被溶解、蒸发的部分上形成的斑痕成为降低基板端面強度的原因。 作为其他的刻划槽形成方法，存在如在专利文献I或2中公开的方法。此处，在作为玻璃基板的刻划槽起点的地方，形成有初始龟裂，对该初始龟裂照射激光。由此，在激光照射部分产生热应カ，龟裂发展而形成刻划槽。另外，在专利文献3中公开有用于改善被分割的基板的截面处的直角度及直进性的激光刻划方法。此处，在沿着刻划预定线在基板上形成刻划槽时，在刻划预定线的终端附近，形成没有形成有刻划槽的区域。专利文献专利文献I日本特开平3-489号公报专利文献2日本特开平9-1370号公报专利文献3日本再公表特许2007/094348号公报但是，最近的FPD (平板显示器)业界强调基板端面的強度，因此作为玻璃基板，主要使用在表面形成有强化层的化学強化玻璃。该化学強化玻璃具有通过离子交換处理而使表面具有压缩应カ的层(强化层)，最近，特别是在要求端面強度的触摸面板等防护玻璃中应用。如上所述的强化玻璃，耐久性高且很难受损。因此，很难在強化玻璃的端面上稳定地形成初始龟裂并形成刻划槽。例如，在初始龟裂的深度浅时，不会形成刻划槽。并且，相反，当初始龟裂过深吋，不能使初始龟裂沿着刻划预定线发展，不能形成期望的刻划槽。另外，如上所述的强化玻璃在表面具有很强的压缩应力，在内部具有拉伸应力。因此，当利用以往的方法对强化玻璃照射激光而形成刻划槽时，龟裂主要是以在激光的扫描开始侧的基板端面上形成的刻划槽(龟裂)为起点，在整个厚度方向上发展的情况较多。如上所述，当龟裂在基板的整个深度上形成时，基板沿着刻划线自然地被分离(以下，将基板通过刻划而被完全分割的情况记为“全切”)。在如上所述的情况中，交叉刻划エ序、即沿着与之前的刻划线垂直的刻划线形成刻划槽的エ序变得非常困难。
发明内容
本发明的目的在干，能够比较容易且稳定地对表面被強化的強化玻璃形成期望的刻划槽。
本发明的另一目的在于，在对表面被強化的強化玻璃形成刻划槽时能够防止全切，而容易地将玻璃基板分割为期望的形状。第I发明的对强化玻璃进行刻划的玻璃基板刻划方法,该强化玻璃的表面具备带有压缩应力的强化层，其中，所述刻划方法包括第I步骤和第2步骤。在第I步骤中，在强化玻璃的表面，去除強化层而形成初始龟裂。在第2步骤中，在对初始龟裂照射激光进行加热的同时，对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展。此处，在強化玻璃的表面上，形成超过强化层深度的初始龟裂。之后，对初始龟裂照射激光进行加热，并且对被加热的区域进行冷却。由此，初始龟裂沿着刻划预定线发展。此处，形成超过强化层深度的初始龟裂，从而能够比较容易、稳定地形成期望的刻划槽。第2发明的玻璃基板刻划方法是在第I发明的刻划方法中，在第I步骤中，初始龟裂的深度为强化玻璃的强化层厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。此处，在初始龟裂的深度不足強化玻璃的强化层厚度的I. 14倍时，強化层会残留，即使进行后续步骤中的基于激光照射的加热处理及冷却处理，龟裂也不会发展，很难形成刻划槽。另ー方面，在初始龟裂的深度超过强化层厚度的I. 67倍时，通过后续步骤中的加热及冷却，龟裂会在期望之外地向不同于形成有刻划线方向的方向进展，很难形成期望的刻划槽。因此，在本发明中，使初始龟裂的深度成为强化玻璃的强化层厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。因此，能够稳定地形成期望的刻划槽。第3发明的玻璃基板刻划方法是在第2发明的刻划方法中，在第I步骤中，初始龟裂的深度不超过強化玻璃的整个厚度的5. 4%。如上所述，即使初始龟裂的深度为强化层的I. 14 I. 67倍，在玻璃基板整体的厚度薄的情况下，当初始龟裂形成得很深吋，龟裂有时也不会沿着刻划预定线来发展。因此，在本发明中，使初始龟裂的深度不超过強化玻璃的整个厚度的5. 4%。因此，能够稳定地形成期望的刻划槽。第4发明的对强化玻璃进行刻划的玻璃基板刻划方法，该强化玻璃的表面具备带有压缩应力的强化层，其中，所述刻划方法包括第I步骤和第2步骤。在第I步骤中，在刻划预定线的扫描开始侧的玻璃基板端面内侧的规定距离处的强化玻璃的表面，形成初始龟裂。在第2步骤中，在除了扫描开始侧的端部区域，从初始龟裂沿着刻划预定线照射激光进行加热的同时，对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展。此处，在強化玻璃的表面形成初始龟裂，之后对初始龟裂照射激光进行加热，并且冷却被加热的区域。由此，初始龟裂沿着刻划预定线发展。此时，从刻划预定线的扫描开始侧的玻璃基板端面到内侧的规定距离处的强化玻璃的表面，形成初始龟裂，从该初始龟裂开始激光的照射。即，在从激光的扫描开始侧的玻璃端面到初始龟裂为止的端部区域，不进行基于激光的加热及加热区域的冷却处理。如以上所述，由于在激光的扫描开始侧的端部区域上不照射激光，因此能够避免在使用以往方法来对强化玻璃进行刻划时产生的基板的自然分离。因此，容易进行例如交叉刻划等之后的加工步骤。
第5发明的玻璃基板刻划方法是在第4发明的刻划方法中，在強化玻璃的表面，反射激光的反射膜形成于刻划预定线的扫描开始侧的端部区域。并且，第2步骤是对形成有反射膜的強化玻璃的表面执行处理在形成不照射激光的区域吋，能够通过使激光振荡的接通/断开控制与光学系统等的移动同步来形成。但是，如本发明所示，通过在不照射激光的区域上形成反射膜，从而能够更容易地实施第2步骤。另外，作为反射膜，可以考虑反射激光的金属图案膜、ITO膜
坐寸o第6发明的玻璃基板刻划方法是在第4或第5发明的刻划方法中，在第2步骤中，从刻划预定线的扫描结束侧的玻璃基板端面到内侧的规定距离处为止的端部区域，停止基于激光照射的加热及加热区域的冷却。此处，除了扫描开始侧的端部区域以外，对扫描结束侧的端部区域也不照射激光。因此，能够更可靠地避免基板的自然分离。第7发明的玻璃基板刻划方法是在第6发明的刻划方法中，第2步骤是通过在刻划预定线的扫描开始侧及扫描结束侧的端部区域，形成反射激光的反射膜来实施。此处，与上述同样地，通过在不照射激光的区域上形成反射膜，从而能够更容易地实施第2步骤。第8发明的玻璃基板刻划方法是在第4至第7发明的任意ー个的刻划方法中，在第I步骤中，初始龟裂的深度为强化玻璃的强化层厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。此处，与第2发明同样，能够稳定地形成期望的刻划槽。第9发明的玻璃基板刻划方法是在第8发明的刻划方法中，在第I步骤中，初始龟裂的深度不超过強化玻璃的整个厚度的5. 4%。此处，与第3发明同样，能够稳定地形成期望的刻划槽。发明效果如以上所述，在本发明中，能够比较容易地稳定地对表面被強化的強化玻璃形成期望的刻划槽。另外，在另ー观点的发明中，在对表面被強化的強化玻璃形成刻划槽时能够防止全切，而容易地将玻璃基板分割为期望的形状。
图I是用于实施本发明的第I实施方式的刻划方法的装置的示意结构图。图2是用于实施本发明的第2实施方式的刻划方法的装置的示意结构图。图3是表示在通过以往方法实施了刻划时，基板自然分离的样子的图。图4是表示在实施了基于本发明的一个实施方式的刻划方法时的评价的图。图5是表示用于对厚度为0. 55mm的强化玻璃形成初始龟裂的挤压负载与初始龟裂之间的关系及刻划结果的图。图6是形成有初始龟裂的强化玻璃的一部分的放大剖面图。图7是表示用于对厚度为0. 7mm的强化玻璃形成初始龟裂的挤压负载与初始龟裂之间的关系及刻划结果的图。图8是表不用于对厚度为I. Imm的强化玻璃形成初始龟裂的挤压负载与初始龟裂之间的关系及刻划结果的图。
符号说明I :刻划装置；G :玻璃基板；LB :激光光束；LS:光束点；
SLl SL5 :刻划预定线；CP :冷却点；RCl RC4:反射膜。
具体实施例方式[装置结构]图I是表示用于实施本发明的一个实施方式的方法的刻划装置的示意结构的图。刻划装置I是例如用于将母玻璃基板分割为在FPD(平板显示器)中使用的多个玻璃基板的装置。关于此处的玻璃基板，主要使用表面形成有强化层的化学強化玻璃。如上所述，该化学強化玻璃具有通过离子交換处理而在表面具有压缩应力的强化层。刻划装置I具有向玻璃基板G照射激光光束的照射部2、冷却部3、及未图示的移动部。冷却部3通过喷嘴4喷射从未图示的制冷剂源供给的制冷剂，形成冷却点CP。移动部使照射部2及冷却部3的喷嘴4沿着设定于玻璃基板G的刻划预定线SLl SL5，与玻璃基板G之间进行相对移动。照射部2具有激光振荡器(例如，CO2激光器)，其照射激光光束LB,通过光学系统将该激光光束LB照射在玻璃基板G上形成光束点LS。另外，此处虽然未图示，但是设置有初始龟裂形成単元，其用于在玻璃基板G的端部形成作为刻划起点的初始龟裂。作为初始龟裂形成単元，虽然使用压头或刀轮等机械エ具，但是也可以通过激光消融加工来形成初始龟裂。[刻划方法]-第I实施方式_首先，如图I所示，使用刀轮等初始龟裂形成単元，在玻璃基板G的端部形成作为刻划起点的初始龟裂TR。此时，初始龟裂的深度被设为去除了形成在強化玻璃表面的具有压缩应力的强化层程度的深度。具体地讲，初始龟裂的深度被设为强化层厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下的深度。接着，从照射部I对玻璃基板G照射激光光束LB。该激光光束LB作为光束点LS照射到玻璃基板G上。并且，使得从照射部I射出的激光光束LB沿着刻划预定线SL与玻璃基板G相对移动。通过光束点LS玻璃基板G被加热到比玻璃基板G的软化点低的温度。另外，使冷却点CP追随在光束点LS的移动方向的后方。由此，虽然在通过激光光束LB的照射而被加热的光束点LS的附近产生了压缩应力，但是由于在刚产生压缩应カ之后，通过制冷剂的喷射而形成冷却点CP，因此产生对垂直裂痕的形成有效的拉伸应力。通过该拉伸应力，以形成在玻璃基板G端部的初始龟裂TR为起点，形成沿着刻划预定线SL的垂直裂痕，形成期望的刻划槽。-第2实施方式-
首先，如图2所示，准备在4边端部区域形成有反射激光的反射膜RCl RC4的玻璃基板G。反射膜RCl形成于在执行沿着刻划预定线SL1、SL2来形成刻划槽的处理(以下，记为刻划处理)时激光照射的扫描开始侧的端部区域。反射膜RC2形成于在沿着刻划预定线SL1、SL2执行刻划处理时激光照射的扫描结束侧的端部区域。另外，反射膜RC3形成于在沿着刻划预定线SL3、SL4、SL5执行刻划处理时激光照射的扫描开始侧的端部区域，反射膜RC4形成于在沿着刻划预定线SL3、SL4、SL5执行刻划处理时激光照射的扫描结束侧的端部区域。另外，形成在扫描开始侧的端部区域的反射膜RC1、RC3的宽度优选为3mm 5mm。另外，形成在扫描结束侧的端部区域的反射膜RC2、RC4的宽度优选为8mm 20mm。接着，使用刀轮等初始龟裂形成単元，在玻璃基板G的端部形成作为刻划起点的初始龟裂TR。此时，初始龟裂的位置与反射膜邻接且位于其内側。另外，初始龟裂的深度被设为去除了形成在強化玻璃的表面的具有压缩应力的强化层程度的深度。具体地讲，初始龟裂的深度被设为强化层厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下的深度。 接着，从照射部I对玻璃基板G照射激光光束LB。该激光光束LB作为光束点LS照射到玻璃基板G上。并且，使得从照射部I射出的激光光束LB沿着各刻划预定线SLl SL5而与玻璃基板G相对移动。此时，由于在扫描开始侧及扫描结束侧的端部区域形成有反射膜RCl RC4，因此在这些端部区域中，激光光束LB被反射而不会照射到玻璃基板G。因此，在形成有这些反射膜RCl RC4的区域中，玻璃基板G不会被加热。在未形成反射膜RCl RC4的区域中，玻璃基板G被光束点LS加热到比玻璃基板G的软化点低的温度。另外，通过使冷却点CP追随在光束点LS的移动方向的后方，从而对被加热的区域进行冷却。由此，虽然在通过激光光束LB的照射而被加热的光束点LS的附近产生压缩应力，但是由于在刚产生压缩应カ之后，通过制冷剂的喷射而形成冷却点CP，因此产生对垂直裂痕的形成有效的拉伸应力。通过该拉伸应力，以形成在玻璃基板G的端部的初始龟裂TR为起点，形成沿着刻划预定线SL的垂直裂痕，形成期望的刻划槽。并且，在没有照射激光光束LB的端部区域中，龟裂不进展，或者即使龟裂进展也仅是很浅的区域。在如上所述的刻划方法中，龟裂不会从初始龟裂开始在玻璃基板G的整个深度上发展，能够防止基板自然而然地分割开来。[与玻璃基板的分割有关的验证]〈现有例的实验例〉图3中示出了现有的方法，即不形成反射膜而从刻划预定线的开始端到结束端进行了激光加热及冷却时的例子。基板是整体厚度为0. 7mm、强化层的厚度为18 y m的强化玻璃。另外，激光光束的条件是激光输出为200W、扫描速度为200mm/sec。另外，在图3中，没有示出玻璃基板的端部区域。图3 (a)是刚刻划之后的状态。此处，刻划线(刻划槽)处于不在基板的整个深度上发展的状态(以下，将该状态记为“半切”)，在图中用细线来表示。图3(b)是从刻划处理开始起5秒之后的状态。此处，从刻划的开始点侧(图中的右側)到图的中央附近为止刻划线被全切(在图中用粗线表示)。图3(c)是从刻划处理开始起20秒之后的状态。此处，在图中表示的所有部分，刻划线被全切(在图中用粗线表示)。如上所述，在从刻划预定线的开始端到结束端为止的所有位置进行了激光加热及冷却时,基板会自然而然地被分割(被全切)。〈实施例及比较例〉图4示出了包含利用第2实施方式的刻划方法来进行了刻划处理的例子的验证结果。此处，作为对象的玻璃基板与图3所示的比较例相同。另外，激光光束的条件也与图3所示的比较例相同。在图4中，“基板开始边缘”意味着刻划(扫描)开始侧的基板端部，“基板结束边缘”意味着刻划(扫描)结束侧的基板端部。另外，“遮蔽”意味着反射膜。“n/5”表示进行5次刻划处理，n次实现不全切而是半切的刻划处理。另外，在这些例子中，初始龟裂形成在位于刻划(扫描)开始侧的基板端面的内侧 IOmm的位置处。并且，遮蔽的条件如下。“基板开始边缘当遮蔽初始龟裂吋，由于龟裂不发展，因此遮蔽了从刻划(扫描)开始侧的基板端面开始5mm的范围，以不遮蔽初始龟裂。“基板结束边缘遮蔽了从刻划(扫描)结束侧的基板端面开始IOmm的范围。另夕卜，关于结束侧的遮蔽，在宽度为5mm程度吋，龟裂有时会自然而然地发展到端面部，从此处开始成为全切。因此，优选不成为全切的刻划(扫描)结束侧的遮蔽宽度为8mm以上。在该图4的实验中，通过将铝带附到基板表面来作为反射膜。以如上所述的条件，对从玻璃基板的端部到端部为止的整条线照射了激光光束。<实验例及比较例的总结>从图4的验证可知，在至少不对刻划开始侧的端部区域照射激光光束(使得激光光束进行反射)时，能够以40%的概率来实现半切的刻划。并且，在除刻划开始侧以外，还遮蔽了刻划结束侧时，能够以100%的概率来实现半切的刻划。另ー方面，在不遮蔽刻划开始侧而仅遮蔽了刻划结束侧时，能够实现半切的刻划的概率减少为20%。另外，在没有在双方的端部区域上进行遮蔽的情况下，不能进行半切的刻划，而成为全切，这ー点在图3中也进行了示出。[与初始龟裂有关的研究]接着，在以下示出与初始龟裂的深度有关的实验例。<实验例1>图5示出了对整体厚度为0. 55mm、强化层的厚度为18 y m的强化玻璃形成了刻划槽的实验例I。具体地讲，图5在示出初始龟裂形成时的工具(压头)对玻璃的按压负载与此时的槽深度之间的关系的同时，示出基于之后的激光加热及冷却处理的刻划结果。用于此时的加热处理的激光输出为200W、加工速度为230mm/SeC。另外，冷却条件是，在光束后端的高度为4_的位置处配置冷却喷嘴，将冷却水及空气喷出到被光束点加热的部分。从该实验例I可知，如果初始龟裂的槽深度为19 30 U m(强化层厚度的I. 05 I. 67倍)，则沿着刻划预定线形成期望的刻划槽。并且可知，在槽深度小于19 y m时，龟裂不会可靠地发展(不稳定)，并且当超过30 y m时会发生破损而在刻划预定线以外形成龟裂
另外，图6示出了初始龟裂的槽深度的例子。如该图6所示，将到确保规定面积的最深的部分为止的深度设为“槽深度”，忽视掉一部分急进地到达深部的龟裂。[实验例2]图I示出了对整体厚度为0. 7_且强化层的厚度为21 ii m的强化玻璃形成了刻划槽的实验例2。图的横轴与纵轴的关系与图5相同。另外，用于进行此时的加热处理的激光输出为200W、加工速度为170mm/sec。另外，冷却条件与实验例I相同。从该实验例2可知，如果初始龟裂的槽深度为约24 50iim(强化层厚度的
I.14 2. 38倍)，则沿着刻划预定线形成期望的刻划槽。并且可知，在槽深度小于24 y m时龟裂不会可靠地发展(不稳定)，并且当超过50 y m时会发生破损而在刻划预定线以外形成龟裂。另外，如果挤压负载为约6 24N，则即使槽深度超过50 u m,也能够形成期望的刻划槽，但是当仅关注槽深度时，妥当的初始龟裂的槽深度为约24 50 ii m。[实验例3]图8示出了对整体厚度为I. Imm且强化层的厚度为34 y m的强化玻璃形成了刻划槽的实验例3。图的横轴与纵轴的关系与图5相同。另外，用于进行此时的加热处理的激光输出为200W、加工速度为170mm/sec。另外，冷却条件与实验例I相同。从该实验例3可知，如果初始龟裂的槽深度为约24 60iim(强化层厚度的
0.71 I. 76倍)，则沿着刻划预定线形成期望的刻划槽。并且，在槽深度过浅时龟裂不发展，并且当超过60 y m吋，龟裂发展不稳定。另外，与实验例2相同，如果挤压负载为约6N 24N，则即使槽深度超过60 u m,也能够形成期望的刻划槽，但是仅关注槽深度时，妥当的初始龟裂的槽深度为约24 60 ii m。[总结]从以上可知，为了沿着刻划预定线形成期望的刻划槽，初始龟裂的深度优选为强化玻璃的强化层厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。另外，优选初始龟裂的深度在玻璃板厚为0. 55mm时为30iim(5. 5% )以下、在玻璃板厚为0. 7mm时为50 y m(7. I % )以下、在玻璃板厚为I. Imm时为60 Um(5. 4% )以下。这表示初始龟裂的深度优选为玻璃的板厚的
5.4%以下。[特征](I)在第2实施方式中，由于不对刻划线的扫描开始侧及扫描结束侧的端部区域照射激光，因此能够实现基板的半切，能够避免基板的自然分离。因此，容易进行交叉刻划等后续的加工步骤。(2)在第2实施方式中，作为使激光光束照射不到的手段，在基板的两端部区域形成反射膜，因此能够容易形成激光光束的非照射区域。(3)在形成初始龟裂吋，由于使初始龟裂的深度为强化玻璃的强化层厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下，因此能够稳定地形成期望的刻划槽。(4)由于使初始龟裂的深度成为强化玻璃的整个厚度的5. 4%以下，因此能够抑制龟裂向不期望的方向发展。[其他的实施方式]本发明不限定于如上所述的实施方式，在不脱离本发明的范围内，能够进行各种变形或修正。在上述第2实施方式中，虽然是在基板上形成反射膜来形成激光光束的非照射区 域，但是也可以是在各端部区域中断开激光振荡来形成激光光束的非照射区域。
权利要求
1.一种对强化玻璃进行刻划的玻璃基板刻划方法，该强化玻璃的表面具备带有压缩应力的强化层，其中，所述刻划方法包括 第I步骤，在所述强化玻璃的表面，去除強化层而形成初始龟裂；以及第2步骤，在对所述初始龟裂照射激光进行加热的同时，对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展。
2.根据权利要求I所述的玻璃基板刻划方法，其中， 在所述第I步骤中，初始龟裂的深度为强化玻璃的强化层厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板刻划方法，其中， 在所述第I步骤中，初始龟裂的深度不超过強化玻璃的整个厚度的5. 4%。
4.一种对强化玻璃进行刻划的玻璃基板刻划方法，该强化玻璃的表面具备带有压缩应力的强化层，其中，所述刻划方法包括 第I步骤，在刻划预定线的扫描开始侧的玻璃基板端面内侧的规定距离处的强化玻璃的表面，形成初始龟裂；以及 第2步骤，在除了所述扫描开始侧的端部区域以外，从所述初始龟裂沿着刻划预定线照射激光进行加热的同时，对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板刻划方法，其中， 在所述强化玻璃的表面，反射激光的反射膜形成于刻划预定线的扫描开始侧的端部区域， 所述第2步骤是对形成有所述反射膜的強化玻璃的表面执行处理。
6.根据权利要求4或5所述的玻璃基板刻划方法，其中， 在所述第2步骤中，在从刻划预定线的扫描结束侧的玻璃基板端面到内侧的规定距离处为止的端部区域，停止基于激光照射的加热及加热区域的冷却。
7.根据权利要求6所述的玻璃基板刻划方法，其中， 在所述强化玻璃的表面上，在刻划预定线的扫描开始侧及扫描结束侧的端部区域分别形成有反射激光的反射膜， 所述第2步骤是对形成有所述反射膜的強化玻璃的表面执行处理。
8.根据权利要求4或5所述的玻璃基板刻划方法，其中， 所述第I步骤中的初始龟裂的深度为强化玻璃的强化层厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。
9.根据权利要求8所述的玻璃基板刻划方法，其中， 在所述第I步骤中，初始龟裂的深度不超过強化玻璃的整个厚度的5. 4%。
全文摘要
本发明提供一种玻璃基板刻划方法。在对表面被强化的强化玻璃形成刻划槽时，能够防止全切而容易地将玻璃基板分割为期望的形状。该刻划方法是对在表面具备带有压缩应力强化层的强化玻璃进行刻划的方法，该方法包括第1步骤和第2步骤。在第1步骤中，在位于刻划预定线的扫描开始侧的玻璃基板端面内侧的规定距离处的强化玻璃表面形成初始龟裂。在第2步骤中，在除了扫描开始侧及扫描结束侧的端部区域以外，从初始龟裂沿着刻划预定线照射激光而加热的同时，冷却被加热的区域，使龟裂沿着刻划预定线发展。
文档编号C03B33/09GK102643019SQ201210034230
公开日2012年8月22日 申请日期2012年2月15日 优先权日2011年2月17日
发明者山本幸司, 苏宇航 申请人:三星钻石工业股份有限公司