专利名称：标量机器人的臂的制作方法
技术领域：
本发明涉及标量机器人(スカラロボツト)的臂，特别是搬送半导体基板或者玻璃基板等薄型基板的标量机器人的臂。
背景技术：
图8～图14是表示与现有例相关的标量机器人的臂的构造，图8是沿第1、第2臂的臂长方向的垂直剖面图，图9是第1臂的俯视图，图10是第1臂取下底盖状态的仰视图，图11是第1臂沿臂宽方向的垂直剖面图，图12是第2臂的俯视图，图13是第2臂取下底盖状态的仰视图，图14是第2臂沿臂宽方向的垂直剖面图。
在图8～图14中，1表示手，2表示第1臂，3表示第2臂，4表示机座。机座通过图中未示的驱动装置可水平回转。
第2臂3在根部具有固定皮带轮5，固定皮带轮5通过安装配件6被安装固定在机座4上。从机座4向上方延伸出的回转轴7可自由转动地穿插在固定皮带轮5的中央孔中。转轴7通过图中未示的驱动装置被正转、逆转。第2臂的构架8通过安装配件9被安装固定在转轴7上。第2臂3在前端部具有可动皮带轮10。可动皮带轮10通过固定轴12可自由转动地保持，该固定轴12通过安装配件11被安装固定在构架8上。在固定皮带轮5与可动皮带轮10之间架设着同步皮带13，同步皮带13的张力通过张紧轮15来调整，该张紧轮15通过安装配件14被安装固定在构架8上。
第1臂2在根部具有固定皮带轮16，固定皮带轮16被安装固定在从第2臂3的先端部向上方延伸出的固定轴(第2固定轴)17上。第1臂2在先端部具有可动皮带轮18。可动皮带轮18由固定轴(第1固定轴)21可自由转动地保持，该固定轴21通过安装配件20被安装固定在构架19上。在固定皮带轮16与可动皮带轮18之间架设着同步皮带22，同步皮带22的张力通过张紧轮24来调整，该张紧轮24通过安装配件23被安装固定在构架19上。还有，图中的符号25表示真空吸附用的空气管及传感器的电气配线。
而且，众所周知，如上所述的具有臂2、3的标量机器人，通过正转、逆转机座4内部的驱动装置(图未示)的马达使第2臂3及第1臂2分别水平摇动，手1在水平直线轨道上往复运动。
但是，现有的臂2、3，由于构架8、19兼用为外观盖，构架8、19，为了具有作为可将各种部件安装固定的构架的机能而使其具有足够的厚度的同时，为了具有作为覆盖各种部件的外观盖的功能遍及侧面一周及上面全域而形成，由于重量变大，不仅招致臂而且使机器人全体的重量的增大。因此，在搬送速度受到限制的同时由于惯性大存在容易发生动态的振动的问题。
发明内容
本发明的标量机器人的第1臂，被配置于手与第2臂之间，具有可动皮带轮、固定皮带轮、同步皮带，该可动皮带轮被安装固定在前述手上，该固定皮带轮被安装固定在前述第2臂上，该同步皮带被架设在前述可动皮带轮与固定皮带轮之间，其特征在于，包括具有对应于前述由同步皮带围成的假想平面领域的平面形状的构架、分别组装固定着自由转动地保持前述可动皮带轮的第1固定轴及从前述第2臂延伸出的安装固定着前述固定皮带轮的第2固定轴的构架；即覆盖上述构架的轻量的外观盖。
本发明的标量机器人的第2臂，被配置于第1臂与机座之间，具有可动皮带轮、固定皮带轮、同步皮带，该可动皮带轮被安装固定在前述第1臂上，该固定皮带轮被安装固定在前述机座上，该同步皮带被架设在前述可动皮带轮与固定皮带轮之间，其特征在于，包括具有适应前述由同步皮带围成的假想平面领域的平面形状的构架、分别安装固定着可自由转动地保持前述可动皮带轮的固定轴及从前述机座延伸出的可自由转动地被穿插在前述固定皮带轮的中央孔中的转轴的构架；即覆盖前述构架的轻量的外观盖。
在此，在前述构架上一体形成张紧轮安装部。
还有，前述外观盖由合成树脂材料或者薄壁的金属材料制成。
前述构架及前述外观盖分别朝臂长方向被分割结合。
或者，前述构架及前述外观盖分别朝臂长方向被一体化。
本发明的标量机器人的臂，具有安装着各种部件的构架和覆盖前述安装有着各种部件的构架的轻量的外观盖。
图1是表示本发明的一个实施例的标量机器人的第1、第2臂沿臂长方向的垂直剖面图。
图2是第1臂的取下上盖状态的俯视图。
图3是第1臂的取下底盖状态的仰视图。
图4是第1臂的沿臂宽方向的垂直剖面图。
图5是第2臂的取下上盖状态的俯视图。
图6是第2臂的取下底盖状态的仰视图。
图7是第2臂的沿臂宽方向的垂直剖面图。
图8是表示现有技术的标量机器人的第1、第2臂沿臂长方向的垂直剖面图。
图9是第1臂的俯视图。
图10是第1臂取下底盖状态的仰视图。
图11是第1臂沿臂宽方向的垂直剖面图。
图12是第2臂的俯视图。
图13是第2臂取下底盖状态的仰视图。
图14是第2臂沿臂宽方向的垂直剖面图。
具体实施例方式
图1～图7是表示本发明的一个实施例的标量机器人的臂的构造。图1是第1、第2臂沿臂长方向的垂直剖面图。图2是第1臂的取下上盖状态的俯视图。图3是第1臂的取下底盖状态的仰视图。图4是第1臂的沿臂宽方向的垂直剖面图。图5是第2臂的取下上盖状态的俯视图。图6是第2臂的取下底盖状态的仰视图。图7是第2臂的沿臂宽方向的垂直剖面图。
在图1～图7中，1表示手，2表示第1臂，3表示第2臂，4表示机座。机座通过图中未示的驱动装置可水平回转。
①关于第2臂3第2臂3在根部具有固定皮带轮5，固定皮带轮5通过安装配件6被安装固定在机座4上。从机座4向上方延伸出的转轴7可自由转动地穿插在固定皮带轮5的中央孔中。转轴7通过图中未示的驱动装置被正转、逆转。第2臂3在前端部具有可动皮带轮10。可动皮带轮10由固定轴12可自由转动地保持，该固定轴12通过安装配件11被安装固定在构架8上。在固定皮带轮5与可动皮带轮10之间架设着同步皮带13，同步皮带13的张力通过张紧轮15来调整，该张紧轮15通过安装配件14被安装固定在构架8上。
如图5及图6所示，构架8具有适应由同步皮带13围成的假想平面领域的平面形状。构架8由被分割为基础构架31、机座侧上构架32、第1臂侧上构架33、第1臂侧下构架34的各构件结合而成，该基础构架31位于臂长方向的中央部，该机座侧上构架32被安装固定在基础构架31的机座4侧端部的上面上，该第1臂侧上构架33被安装固定在基础构架31的第1臂2侧端部的上面上，该第1臂侧下构架34被安装固定在基础构架31的第1臂2侧端部的下面上。基础构架31具有底板部35和天板部36。在底板部35上形成着安装固定着张紧轮15的张紧轮安装部37。在底板部35与天板部36之间一体地形成垂直壁部38。如图5及图6所示，由于垂直壁部38具有仅满足将机座侧上构架32、第1臂侧上构架33及第1臂侧下构架34分别通过安装配件39、40、41从上方及下方安装固定于基础构架31上的宽度，可谋求轻量化。机座侧上构架32由安装配件39安装固定在垂直壁部38的机座4侧的上面上。还有，机座侧上构架32通过安装配件42被安装固定在转轴7的上面。机座侧上构架32具有上下方向的贯通孔，在该贯穿孔中固定配置着使空气管及电气配线通过的中空圆筒部件43。另外，在垂直壁部38的机座4侧的下面上由安装配件45安装固定着具有用于穿插回转轴7等的上下方向的贯通孔的密封部件44。第1臂侧上构架33通过安装配件40被安装固定在垂直壁部38的第1臂2侧的上面。第1臂侧上构架33具有上下方向的贯通孔，在该贯通孔中自由转动地穿插着可动皮带轮10。第1臂侧下构架34通过安装配件41被安装固定在垂直壁部38的第1臂2侧的下面上。第1臂侧下构架34自由转动地保持可动皮带轮10并与供空气管及电气配线通过的中空圆筒部件(固定轴)12一体化。
如上所述的构架8在臂长方向上被分割结合。因此，预先准备每个臂长长度不同的多个基础构架31，通过选择适合于臂长的基础构架31，可以容易地对应臂长不同的多个第2臂3的组装。
在构架8的上面上，与构架8同样地安装固定在臂长方向上被分割结合的上盖(外观盖)46通过安装配件47。上盖46覆盖上面全域(但除去可动皮带轮的上方)及侧面全周。上盖46由合成树脂材料或薄壁的金属材料制成，可谋求轻量化。
另外，在构架8的下面安装固定着底盖48。底盖48比如可由铝材制成。
②关于第1臂2第1臂2在根部具有固定皮带轮16，固定皮带轮16通过安装配件49被安装固定在从第2臂3延伸出的固定轴(第2固定轴)17上。第1臂2在前端部具有可动皮带轮18。可动皮带轮18由固定轴(第1固定轴)21可自由转动地保持，该固定轴21通过安装配件20被安装固定在构架19上。在固定皮带轮16与可动皮带轮18之间架设着同步皮带22，同步皮带22的张力通过张紧轮24来调整，该张紧轮24通过安装配件23被安装固定在构架19上。
如图2及图3所示，构架19具有适应由同步皮带22围成的假想平面领域的平面形状。构架19由被分割为基础构架51、手侧上构架52、手侧下构架53的各构架结合而成，该基础构架51位于从臂长方向的中央部靠近第2臂的位置，该手侧上构架52被安装固定在基础构架51的手1侧端部的上面上，该手侧下构架53被安装固定在基础构架51的手1侧端部的下面上。基础构架51具有底板部54和天板部55。在底板部54上形成着安装固定着张紧轮24的张紧轮安装部56。在底板部54与天板部55之间一体地形成垂直壁部57。如图2及图3所示，由于垂直壁部57具有仅满足将手侧上构架52及手侧下构架53分别通过安装配件58、59从上方及下方安装固定于基础构架51的宽度，可谋求轻量化。手侧上构架52通过安装配件58被安装固定在垂直壁部57的手1侧的上面。手侧上构架52具有上下方向的贯通孔，在该贯穿孔中自由转动地穿插着可动皮带轮18。手侧下构架53通过安装配件59被安装固定在垂直壁部57的手1侧的下面上。手侧下构架53自由转动地保持可动皮带轮18并与供空气管及电气配线通过的中空圆筒部件(第1固定轴)21一体化。
如上所述的构架19在臂长方向上被分割结合。因此，预先准备每个臂长长度不同的多个基础构架51，通过选择臂长合适的基础构架51，可以容易地对应臂长不同的多个第1臂2的组装。
在构架19的上面与构架19同样地通过安装配件61安装固定在臂长方向被分割结合的上盖(外观盖)60。上盖60覆盖上面全域(但除去可动皮带轮的上方)及侧面全周。上盖60由合成树脂材料或薄壁的金属材料制成，可谋求轻量化。
另外，在构架19的下面上安装固定着底盖62。底盖62比如可由铝材制成。
而且，众所周知，如上所述的具有臂2、3的标量机器人，通过正转、逆转机座4内部的驱动装置(图未示)的马达使第2臂3及第1臂2分别水平摇动，手1在水平直线轨道上往复运动。
如以上说明的这样，本实施例的标量机器人的第1臂2是被配置在手1与第2臂3之间的标量机器人的第1臂2，具有可动皮带轮18、固定皮带轮16、同步皮带22，该可动皮带轮18被安装固定在手1上，该固定皮带轮16被安装固定在第2臂3上，该同步皮带22被架设于可动皮带轮18与固定皮带轮16之间，该第2臂2包括具有适应由同步皮带22围成的假想平面领域的平面形状的构架19、即分别安装固定着自由转动地保持可动皮带轮18的第1固定轴21及从第2臂3延伸出的安装固定着固定皮带轮16的第2固定轴17；覆盖构架19的轻量的外观盖60。因此，通过第1臂2的轻量化，可谋求搬送速度的提高、抑制动态的振动等。
还有，本实施例的标量机器人的第2臂3是被配置在第1臂2与机座4之间的标量机器人的第2臂3，具有可动皮带轮10、固定皮带轮5、同步皮带13，该可动皮带轮10被安装固定在第1臂2上，该固定皮带轮5被安装固定在机座4上，该同步皮带被架设在前述可动皮带轮10与固定皮带轮5之间，该第2臂3包括具有适应由同步皮带13围成的假象平面领域的平面形状的构架8、即分别安装固定着自由转动地保持可动皮带轮10的固定轴12及从机座4延伸出的可自由转动地被穿插在固定皮带轮5的中央孔的回转轴7；覆盖构架8的轻量的外观盖46。因此，通过第2臂3的轻量化，可谋求搬送速度的提高、抑制动态的振动等。
还有，由于在构架8、19上一体形成着张紧轮安装部37、56，可以削减部件的件数。
还有，由于外观盖46、60是由合成树脂材料或薄壁金属材料制成，可以容易地成形。
还有，由于构架8、19以及外观盖46、60分别朝臂长方向被分割结合，针对臂长不同的臂可以容易地对应。
还有，构架8、19以及外观盖46、60也可以分别朝臂长方向被一体化。
本发明，通过臂的轻量化，可以谋求搬送速度的提高、抑制动态的振动等。
权利要求
1.一种标量机器人的第1臂，被配置于手与第2臂之间，具有可动皮带轮、固定皮带轮、同步皮带，该可动皮带轮被安装固定在前述手上，该固定皮带轮被安装固定在前述第2臂上，该同步皮带被架设在前述可动皮带轮与固定皮带轮之间，其特征在于，包括具有适应由前述同步皮带围成的假象平面领域的平面形状的构架、即分别安装固定着可自由转动地保持前述可动皮带轮的第1固定轴以及从前述第2臂延伸出的安装固定着前述固定皮带轮的第2固定轴；覆盖前述构架的轻量的外观盖。
2.一种标量机器人的第2臂，被配置于第1臂与机座之间，具有可动皮带轮、固定皮带轮、同步皮带，该可动皮带轮被安装固定在前述第1臂上，该固定皮带轮被安装固定在前述机座上，该同步皮带被架设在前述可动皮带轮与固定皮带轮之间，其特征在于，包括具有适应前述由同步皮带围成的假象平面领域的平面形状的构架、即分别安装固定着可自由转动地保持前述可动皮带轮的固定轴及从前述机座延伸出的可自由转动地被穿插在前述固定皮带轮的中央孔的回转轴；覆盖前述构架的轻量的外观盖。
3.如权利要求1或2所述的标量机器人的臂，其特征在于，在前述构架上一体成形着张紧轮安装部。
4.如权利要求1、2、3中的任一项所述的标量机器人的臂，其特征在于，前述外观盖由合成树脂材料构成。
5.如权利要求1、2、3中的任一项所述的标量机器人的臂，其特征在于，前述外观盖由薄壁的金属材料构成。
6.如权利要求1～5中的任一项所述的标量机器人的臂，其特征在于，前述构架以及前述外观盖分别朝臂长方向被分割结合。
7.如权利要求1～5中的任一项所述的标量机器人的臂，其特征在于，前述构架以及前述外观盖分别朝臂长方向被一体化。
8.一种标量机器人的臂，其特征在于，具有安装着各种部件的构架和覆盖前述安装着各种部件的构架的轻量的外观盖。
全文摘要
第1臂2具有可动皮带轮18、固定皮带轮16和同步皮带22,该可动皮带轮18被安装固定在手1上,该固定皮带轮16安装固定在第2臂3上,该同步皮带22被架设于可动皮带轮18与固定皮带轮16之间。构架19具有适应由同步皮带22围成的假想平面领域的平面形状。在构架19上分别安装固定着可自由转动地保持可动皮带轮18的第1固定轴21及从第2臂3延伸出的安装固定着固定皮带轮16的第2固定轴17。外观盖60是轻量的,并覆盖构架19。
文档编号B25J9/06GK1380238SQ0210580
公开日2002年11月20日 申请日期2002年4月10日 优先权日2001年4月11日
发明者木全一夫, 中森孝雄, 加藤克彦, 中野清宪 申请人:株式会社爱科技