图像传感器滤色片用感光树脂组合物和使用该组合物的图像传感器滤色片的制作方法

文档序号:2727165阅读:200来源:国知局

专利名称::图像传感器滤色片用感光树脂组合物和使用该组合物的图像传感器滤色片的制作方法
技术领域
:本发明涉及一种图像传感器滤色片用感光树脂组合物。
背景技术
:图像传感器是一种由几百万个光电元件组成的设备。图像传感器接收光,并根据光的强度将光转换成电信号。这种图像传感器应用于数字输入设备,使图像能够在数字化之前转变成数字图像。随着近来科技的快速发展,对用于各种安全系统和数码相机的图像传感器的需求呈指数增长。图像传感器包括像素列阵,即,多个像素排列为二维矩阵形式,每个图像传感器包括光电探测器和传输/信号输出装置。根据图像传感器中使用的传输/信号输出装置的种类,图像传感器通常分为两种类型,即电荷耦合器件(CCD)图像传感器和互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器。CMOS图像传感器的结构如图1所示。图像传感器的滤色片所起的作用是将外部入射光分为红色光(R)、绿色光(G)和蓝色光(B),并根据像素,将分幵的光传输到相应的光电二极管。用于液晶显示器滤色片的、可以用碱性水溶液显影的感光树脂组合物已经得到了广泛的研究和发展。但是,很少有研究来开发用于图像传感器滤色片的感光树脂组合物。目前通常将像素的一边长度从3-5微米减小到1微米,以提高图像处理设备,特别是数码相机的图像品质。在这种情况下,像素材料的重大改进是十分必要的。图像传感器的滤色片及其制备方法在很多专利公告中已有描述(例如,韩国特许公报2002-039125、日本特许公报平10-066094、韩国特许公报51998-056215、日本特许公报平7-235655、韩国特许公报2003-056596、日本特许公报2005-278213、韩国特许公报2003-002899和日本特许公报平11-354763)。关于图像传感器的滤色片用组合物的专利公告包括韩国特开2006-0052171以及日本特许公开公报2004-341121和特开平9-021910。韩国特开2006-0052171和日本特许公开公报2004-341121是关于尺寸约为2.0微米x2.0微米图案的制备方法。这些方法的特征是用染料替代颜料作为着色剂,以形成高密度的像素。然而,由于染料的固有特性,染料极易受到光和热的影响,精细像素的长期可靠性很差。虽然这些专利公告声称该染料具有确保的耐热性和耐光性,但是通过1小时到最多20小时的试验得到的与染料的特性有关的数据来看,可靠性有限。日本特开平4-172032是关于一种精细像素的形成方法,该方法使用黑色矩阵(bkckmatrk)以防止红、绿和蓝像素之间的色混合和像素错位。这种方法的缺点是需要附加步骤以形成黑色矩阵。这种方法的其它缺点是,黑色矩阵基本上不可能精细地形成,同时黑色矩阵的引入会降低开口率。
发明内容本发明提供一种用于滤色片的感光树脂组合物,该组合物能够利用丙烯酸树脂和含有作为分散剂的丙烯酸树脂的颜料分散体,该组合物能够用于形成超精细像素。本发明进一步提供一种用于图像传感器滤色片的感光树脂组合物,该组合物含有耐热性和耐光性高的颜料作为着色剂,所述组合物可以用于形成超精细像素的图案(pattern),该图案的形状是尺寸约为不大于1.0微米Xl.O微米的方形,并且未暴露的部分没有残留物质。根据本发明的一方面,提供了一种用于滤色片的感光树脂组合物,该组合物含有(a)丙烯酸树脂、(b)可光聚合的丙烯酸单体、(c)光聚合引发剂、(d)颜料分散体、和(e)溶剂,其中,所述丙烯酸树脂为烯键式不饱和单体的共聚物并且含有约10-40摩尔%的具有羧基基团的烯键式不饱和单体。本发明的具体实施方式中,该感光树脂组合物含有(a)大约0.5-20重量Q/^的丙烯酸树脂、(b)大约0.5-20重量%的可光聚合的丙烯酸单体、(c)大约0.1-10重量%的光聚合引发剂、(d)大约0.1-10重量%的颜料分散体、以及(e)平衡量的溶剂。本发明的实施方式中,丙烯酸树脂可以是由至少一种具有羧基基团的烯键式不饱和单体和至少一种烯键式不饱和单体作为重复单元构成的共聚物。本发明的示范性实施方式中,所述含有羧基基团的烯键式不饱和单体可以选自由丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、亚甲基丁二酸、反丁烯二酸所组成的组中。本发明的另一示范性实施方式中,所述烯键式不饱和单体可以选自由以下物质所组成的组中苯乙烯,包括苯乙烯、ct-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、和乙烯基苄基甲基醚;不饱和羧酸酯,包括丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸-2-羟基乙酯、甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、丙烯酸-2-羟基丁酯、甲基丙烯酸-2-羟基丁酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯、丙烯酸苯酯、和甲基丙烯酸苯酯;不饱和羧酸氨烷基酯,包括丙烯酸-2-氨基乙酯、甲基丙烯酸-2-氨基乙酯、丙烯酸-2-二甲氨基乙酯、和甲基丙烯酸-2-二甲氨基乙酯;羧酸乙烯酯,包括乙酸乙烯酯、安息香酸乙烯酯;不饱和羧酸縮水甘油酯,包括丙烯酸縮水甘油酯和甲基丙烯酸縮水甘油酯;丙烯腈化合物,包括丙烯腈和甲基丙烯腈;不饱和酰胺,包括丙烯酰胺和甲基丙烯酰胺。本发明的又一实施方式中,所述丙烯酸树脂可以是烯键式不饱和单体的共聚物,并可以含有大约20-30摩尔%的具有羧基基团的烯键式不饱和单体。本发明的另一实施方式中,所述光聚合引发剂可以选自由三嗪化合物、乙酰苯化合物、二苯甲酮化合物、噻吨酮化合物和二苯乙醇酮(benzoin)化合物所组成的组中。本发明的示范性实施方式中,所述光聚合引发剂可以是三嗪化合物,该光聚合物引发剂的最大吸收波长(;W^)可以为大约340-380纳米。本发明的另一示范性实施方式中,三嗪化合物可以是由下式1-4中的一个所表示的化合物-.<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>本发明的另一实施方式中,该树脂组合物还可以含有选自丙二酸、3-氨基-l,2-丙二醇和氟化表面活性剂的至少一种添加剂。根据本发明的另一方面,提供了一种图像传感器滤色片,该滤色片包括通过使用所述感光树脂组合物而形成的图案。通过以下结合附图的详细描述,将更清楚地理解本发明的以上和其它目的、特点及其它优点,其中图i是表示CMOS图像传感器结构的横截面示意图,该CMOS图像传感器为通过使用本发明所的感光树脂组合物而制备的示范性图像传感器;图2为本发明实施例1中使用滤色片用感光树脂组合物制备的像素的照片;图3是本发明对比例1中使用滤色片用感光树脂组合物制备的不良像素的照片。具体实施例方式以下通过本发明下面的详细描述,对本发明进行更充分的说明,但是并没有描述本发明的所有实施方式。实际上,本发明可以用很多不同的形式进行实施,而不限于在此阐述的实施方式,提供了这些实施方式,因此本发明的公开满足相关法规的规定。本发明提供了一种用于滤色片的感光树脂组合物,该组合物含有(a)丙烯酸树脂、(b)可光聚合的丙烯酸单体、(c)光聚合引发剂、(d)颜料分散体、和(e)溶剂,其中,所述丙烯酸树脂为烯键式不饱和单体的共聚物并且含有大约10-40摩尔%的具有羧基基团的烯键式不饱和单体作为重复单元。所述丙烯酸树脂(a)可以是含有具有羧基基团的烯键式不饱和单体作为必须重复单元的共聚物,其具有以下化学结构<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>烯键式不饱和单体的基团A、B和C可以彼此相同或不同,均不是羧基基团。以共聚物的总摩尔数为基准,所述具有羧基基团的烯键式不饱和单体在丙烯酸树脂(a)中的含量约为10-40摩尔%,例如,约20-30摩尔%。所述丙烯酸树脂的分子量(Mw)可以为约10000-70000,例如,约20000-50000。所述具有羟基基团的烯键式不饱和单体可以选自由丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、亚甲基丁二酸和反丁烯二酸所组成的组中。可以与具有羧基基团的烯键式不饱和单体共聚的烯键式不饱和单体的例子包括苯乙烯,包括苯乙烯、(X-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯和乙烯基节基甲基醚;不饱和羧酸酯,包括丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸-2-羟基乙酯、甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、丙烯酸-2-羟基丁酯、甲基丙烯酸-2-羟基丁酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯;不饱和羧酸氮烷基酯,包括丙烯酸-2-氨基乙酯、甲基丙烯酸-2-氨基乙酯、丙烯酸-2-二甲氨基乙酯和甲基丙烯酸-2-二甲氨基乙酯;羧酸乙烯酯,包括乙酸乙烯酯和安息香酸乙烯酯;不饱和羧酸縮水甘油酯,包括丙烯酸縮水甘油酯和甲基丙烯酸縮水甘油酯;丙烯腈化合物,包括丙烯腈和甲基丙烯腈;不饱和酰胺,包括丙烯酰胺和甲基丙烯酰胺。所述丙烯酸树脂的典型例子包括甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯共聚物、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯共聚物、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸-2-羟基乙酯共聚物、和甲基丙烯酸/甲基丙烯酸苄酯/苯乙烯/甲基丙烯酸-2-羟基乙酯共聚物。所述丙烯酸树脂(a)是决定像素分辨率的重要因素。以最终组合物的总量为基准,丙烯酸树脂(a)的用量可以为约0.5-20重量%。当组分(a)的存在量小于约0.5重量%时,该组合物不能在碱性显影液中显影;同样,当组分(a)的存在量大于约20重量%时,交联性变弱,使表面粗糙增加、分辨率降低。所述可光聚合的丙烯酸单体(b)可以为通常用于制备常规的滤色片用感光树脂组合物的可光聚合的丙烯酸单体。例如,可以使用选自由下列物质所组成的组中的单体作为可光聚合的丙烯酸单体乙二醇双丙烯酸酯、三甘醇双丙烯酸酯、1,4-丁二醇双丙烯酸酯、1,6-己二醇双丙烯酸酯、新戊二醇双丙烯酸酯、季戊四醇双丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇双丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、双酚A丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、酚醛环氧丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二甘醇二甲基丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、丙二醇二甲基丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯和1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、及它们的混合物。以最终组合物的总量为基准,所述可光聚合的丙烯酸单体(b)的用量可以为约0.5-20重量%。当可光聚合的丙烯酸单体的用量小于约0.5重量%时,形成的像素边缘可能是不规则的;同时,当可光聚合的丙烯酸单体的用量大于约20重量%时,该组合物不能在碱性显影液中显影。所述光聚合引发剂(c)可以是通常用于制备常规感光树脂组合物的光聚合引发剂。例如,可以使用选自由三嗪化合物、乙酰苯化合物、苯甲酮化合物、噻吨酮化合物和二苯乙醇酮化合物所组成的组中的化合物作为光聚合引发剂。可以用做光聚合引发剂的合适的三嗪化合物的具体例子包括2,4,6-三氯均三嗪、2-苯基-4,6-二(三氯甲基)均三嗪、2-(3,,4,-二甲氧苯乙烯基)-4,6-二(三氯甲基)均三嗪、2-(4,-甲氧萘基)-4,6-二(三氯甲基购三嗪、2-(对甲氧基苯基)-4,6-二(三氯甲基)均三嗪、2-(对苯乙烯基)-4,6-二(三氯甲基)均三嗪、2-对苯基-4,6-二(三氯甲基)均三嗪、二(三氯甲基)-6-苯乙烯基均三嗪;2-(l-萘酚)-4,6-二(三氯甲基购三嗪、2-(4-甲氧基-1-萘酚)-4,6-二(三氯甲基)均三嗪、2-4-三氯甲基(胡椒基)-6-三嗪和2-4-三氯甲基(4,-甲氧苯乙烯基)-6-三嗪、及它们的混合物。适合的乙酰苯化合物的具体例子包括2,2,-二乙氧基乙酰苯、2,2'-二丁氧基乙酰苯、2-羟基-2-甲基苯丙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、苯甲酮、4-氯苯乙酮、4,4,-二甲基氨基二苯甲酮、4,4,-二氯二苯甲酮、3,3'-二甲基-2-甲氧基二苯甲酮、2,2,-二氯-4-苯氧基苯乙酮、2-甲基-l-(4-(甲硫基傳基)-2-吗啉小丙酮、2-苯甲基-2-二甲氨基-l-(4-吗啉基苯基)-l-丁酮、及它们的混合物。适合的苯甲酮化合物的具体例子包括苯甲酮、苯甲酸苄酯、甲基苯甲酸苄酯、4-苯基苯甲酮、羟基苯甲酮、丙烯酸化苯甲酮、4,4'-二(二甲氨基)苯甲酮、4,4,-二(二乙氨基)苯甲酮、及它们的混合物。适合的噻吨酮化合物的具体例子包括噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、及它们的混合物。适合的二苯乙醇酮化合物的具体例子包括二苯乙醇酮、二苯乙醇酮甲基醚、二苯乙醇酮乙基醚、二苯乙醇酮异丙基醚、二苯乙醇酮异丁基醚、苯甲基二甲基缩酮、及它们的混合物。除了这些化合物以外,咔唑化合物、硼酸锍化合物、重氮基化合物和双咪唑化合物都可以用于本发明。所述光聚合引发剂可以是最大吸收波长(U大约为340-380纳米的三嗪化合物。三嗪化合物的有代表性的例子具有如下结构以最终化合物的量为基准,光聚合引发剂的量可以为约0.1-10重量%。当光聚合物引发剂的用量小于约0.1重量%时,在形成图案的过程中,在光照的条件下,所述单体不能够充分地光聚合;同时,当光聚合引发剂的用量大于约10重量%时,在光聚合反应后,残留的未反应光聚合引发剂能够使透射率降低。所述颜料分散体(d)可以是其中颜料、丙烯酸分散剂、具有羧基基团的丙烯酸树脂分散体分散在溶剂中的溶液。典型的颜料包括红色颜料、绿色颜料、蓝色颜料、黄色颜料和紫色颜料。所述颜料可以是蒽醌颜料、稠多环颜料(例如,二萘嵌苯颜料)、酞菁颜料和偶氮颜料,这些颜料可以单独使用或混合使用。两种或两种以上颜料的混合物有利于调节最大吸收波长、交叉点(crosspoint)和串扰性(crosstalk)。所述颜料的初级粒子直径可以为约10-70纳米。使用初级粒子直径小于约10纳米的颜料时,分散体的稳定性较差;使用初级粒子直径大于约70纳米的颜料时,使像素的光分辨率降低。对所述二级粒子直径没有特别的限定,考虑到像素的光分辨率,所述二级粒子直径可以为小于约200纳米。所述分散剂可以用于将颜料均匀地分散在溶剂中。所述分散剂可以是各种非离子分散剂、阴离子分散剂或阳离子分散剂。分散剂的具体例子包括聚烷撑二醇及其酯、聚乙二醇、多羟基醇酯、烯化氧加合物、醇烯化氧加合物、磺酸酯、磺酸盐、羧酸酯、羧酸盐、烷基酰胺烯化氧加合物和烷基胺。这些分散剂可以单独使用或结合使用。所述分散剂与丙烯酸树脂(a)结合使用可以提高颜料分散体的稳定性,同时能够增强像素形成图案的能力。溶剂可以选用乙二醇乙酸酯、乙基溶纤剂、丙二醇甲基醚醋酸酯、乳酸乙酯、聚乙二醇、环己酮、丙二醇甲基醚等。以最终化合物的总量为基准,所述颜料分散体的用量可以为约0.1-50重量%。当颜料分散剂在组合物中的含量低于约O.l重量%时,颜料的着色效果可以忽略不计,当颜料分散剂在组合物中的含量高于约50重量%时,组合物的显影性很差。例如,所述溶剂(e)可以选用乙二醇乙酸酯、乙基溶纤剂、丙二醇甲基醚醋酸酯、乳酸乙酯、聚乙二醇、环己酮、或丙二醇甲基醚。这些溶剂可以单独使用或混合使用。以最终组合物的总量为基准,所述溶剂(e)的用量可以为约20-卯重量%。如果需要,还可以在组合物中加入选自丙二酸、3-氨基-l,2-丙二醇和氟化表面活性剂的至少一种添加剂,以防止在涂布过程中形成斑点和污迹、控制流平性并防止由于组合物未完全显影而产生残渣。以最终组合物的量为基准,所述添加剂的含量可以为约0.1-0.5重量%。本发明的滤色片用感光树脂组合物可以以约0.5-1微米的厚度施用到图像传感器滤色片的晶片上。采用适当的涂布技术来进行施用,例如,旋转涂布或狭缝式涂布(slitcoating)。施用后,进行光照射,以形成制备图像传感器滤色片所必须的图案。可以选用365纳米的I-line作为照射光源。涂层可以用碱性显影液显影,以溶解掉涂层中未暴露的部分,从而形成制备图像传感器滤色片所必须的图案。可以根据的红色、绿色和蓝色的数量重复进行该操作,从而得到具有所需图案的滤色片。此时,显影后形成的图案可以通过用光化射线照射来另外进行加热或固化,以进一步提高滤色片的物理特性,例如,抗龟裂性和耐溶剂性。在下文中,将通过以下实施例对本发明作更加详细的说明,然而,给出以下实施例只是为了描述的目的而不应当理解为对本发明范围的限制。实施例实施例1(1)丙烯酸树脂5克(A')/(B,)=25/75(重量/重量),分子量(Mw)=25000(A'):甲基丙烯酸(B'):甲基丙烯酸苄酯(2)可光聚合的丙烯酸单体二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA)4.1克(3)光聚合引发剂TPP(从CibaSpecialty获得)0.2克(4)颜料分散体46.8克红色颜料(BT-CF,CibaSpecialty)6.2克黄色颜料(2RP-CF,CibaSpecialty)2.8克分散剂2.4克丙烯酸树脂分散体(同(l))5.4克溶剂(丙二醇甲基醚醋酸酯)30克(5)溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯20克乙氧基丙酸乙酯(ethylethoxypropionate)23.8克(6)添加剂氟化表面活性剂(F-475)0.1克依照以下操作,采用上述组分制备感光树脂组合物。(1)将光聚合引发剂溶解于溶剂(5)中,并将该溶液在室温下搅拌2小时。(2)将具有羧基基团的丙烯酸粘合剂树脂和光聚合单体加入到所述溶液中,随后在室温下搅拌2小时。(3)将颜料分散体加入到步骤(2)得到的混合物中,随后在室温下搅拌1小时。(4)将表面活性剂加入到步骤(2)得到的混合物中,随后在室温下搅拌1小时。(5)将步骤(4)所得到的混合物过滤三次,以除去其中存在的杂质。使用旋转涂布机(lH-DX2,Mikasa生产)将制备好的组合物涂布于6"-晶片上,然后在IO(TC下干燥180秒。用适合形成各种尺寸图案并配备有标线的I-line光学步进曝光机(NSRilOC,Nikon,日本)对所得结构曝光250毫秒,然后在室温下用2.38%的四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液中显影120秒。清洗显影后的结构,在20(TC的板上干燥300秒,以形成图案。在光学显微镜下观察该图案,以测定该样品的分辨率。用扫描电镜(scanningelectronmicroscopy,SEM)观察样品的截面。涂层厚度使用ST4000-DLX(MAC)进行测定。结果如表l所示。实施例2-10重复实施例1的操作,不同的是,使用具有如表1所示酸值、分子量和单体含量的丙烯酸共聚物,光聚合引发剂的变化如表1所示。结果如表1所示。对比例1-3重复实施例1的操作,不同的是,所用的丙烯酸共聚物的分子量和酸值与实施例1所用的丙烯酸共聚物不同(对比例1),使用肟化合物(Irgacure369)作为光聚合引发剂(对比例2),使用低、ax值的三嗪化合物作为光聚合引发剂(对比例3)。结果如表l所示。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>注'分辨率表示可识别的最小像素尺寸。1)截面的评价用扫描电镜观察通过使用适量的照射剂量而形成的像素样品(l微米X1微米)的截面。基于以下标准评价图案的截面O—像素接近于方形A—像素为微圆形X—像素接近于圆形2)残余物用扫描电镜观察通过使用适量照射剂量而形成的像素图案(l微米X1微米)的截面。基于以下标准评价图案O—无残留物残留于未暴露部分A—少量残留物残留于未暴露部分x—可以明显地观察到有残留物残留于未暴露部分从以上描述可以明显看出,由于本发明的感光树脂组合物可以形成超精细像素,因此可以有效地用于制备高分辨率图像传感器的滤色片。根据以上描述的教导,本领域技术人员可以想到本发明的很多改进和其它的实施方式。因此,应当理解,本发明并不限于所公开的特定的实施方式,其改进和其它实施方式应包括在随附权利要求书的范围内。虽然在此使用了特定的术语,但是这些术语仅为一般的描述性意义,而不是为了限制的目的,本发明的范围在权利要求书中进行限定。权利要求1、一种用于滤色片的感光树脂组合物,该组合物含有(a)丙烯酸树脂、(b)可光聚合的丙烯酸单体、(c)光聚合引发剂、(d)颜料分散体、和(e)溶剂,其中,所述丙烯酸树脂包括烯键式不饱和单体的共聚物并含有大约10-40摩尔%的具有羧基基团的烯键式不饱和单体。2、根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其中,所述感光树脂组合物含有(a)大约0.5-20重量5^的丙烯酸树脂、(b)大约0.5-20重量%的可光聚合的丙烯酸单体、(c)大约0.1-10重量X的光聚合引发剂、(d)大约0.1-50重量%的颜料分散体、和(e)平衡量的溶剂。3、根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其中,所述丙烯酸树脂为含有以下物质作为重复单元的共聚物i)选自由丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、亚甲基丁二酸和反丁烯二酸所组成的组中的至少一种具有羧酸基团的烯键式不饱和单体;ii)选自由苯乙烯、不饱和羧酸酯、不饱和羧酸氨烷基酯、羧酸乙烯酯、不饱和羧酸縮水甘油酯、丙烯腈化合物和不饱和酰胺所组成的组中的至少一种烯键式不饱和单体。4、根据权利要求3所述的感光树脂组合物,其中,所述苯乙烯选自由苯乙烯、a-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯和乙烯基苄基甲基醚所组成的组中;所述不饱和羧酸酯选自由丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸-2-羟基乙酯、甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、丙烯酸-2-羟基丁酯、甲基丙烯酸-2-羟基丁酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯、丙烯酸苯酯和甲基丙烯酸苯酯所组成的组中;所述不饱和羧酸氨烷基酯选自由丙烯酸-2-氨基乙酯、甲基丙烯酸-2-氨基乙酯、丙烯酸-2-二甲氨基乙酯和甲基丙烯酸-2-二甲氨基乙酯所组成的组中;所述羧酸乙烯酯选自由乙酸乙烯酯和安息香酸乙烯酯所组成的组中;所述不饱和羧酸缩水甘油酯选自由丙烯酸縮水甘油酯和甲基丙烯酸縮水甘油酯所组成的组中;所述丙烯腈化合物选自由丙烯腈和甲基丙烯腈所组成的组中;和所述不饱和酰胺选自由丙烯酰胺和甲基丙烯酰胺所组成的组中。5、根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其中,所述丙烯酸树脂包括烯键式不饱和单体的共聚物并含有大约20-30摩尔%的具有羧基基团的烯键式不饱和单体。6、根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其中,所述光聚合引发剂包括选自三嗪化合物、乙酰苯化合物、苯甲酮化合物、噻吨酮化合物和二苯乙醇酮化合物的引发剂。7、根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其中,所述光聚合引发剂包括三嗪化合物,并且所述光聚合引发剂的最大吸收波长、^约为340-380纳米。8、根据权利要求6所述的感光树脂组合物,其中,所述三嗪化合物包括由下列分子式1-4之一所表示的化合物9、根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其中,该组合物还含有选自丙二酸、3-氨基-l,2-丙二醇和氟化表面活性剂的至少一种添加剂。10、一种图像传感器的滤色片,该滤色片含有通过使用权利要求1所述的感光树脂组合物而形成的图案。全文摘要公开了一种图像传感器滤色片用感光树脂组合物。该感光树脂组合物用碱性水溶液显影。所述感光树脂组合物含有(a)丙烯酸树脂、(b)可光聚合的丙烯酸单体、(c)光聚合引发剂、(d)颜料分散体、和(e)溶剂,其中,所述丙烯酸树脂为烯键式不饱和单体的共聚物并含有大约10-40摩尔%的具有羧基基团的烯键式不饱和单体。由于该感光树脂组合物可以形成超精细像素,因此该感光树脂组合物可以用于制备高分辨率图像传感器的滤色片。文档编号G03F7/004GK101109900SQ20071000325公开日2008年1月23日申请日期2007年2月1日优先权日2006年7月18日发明者李吉成,李昌珉,秋京勋,郑宜濬,金宰贤,金希荣,金智润申请人:第一毛织株式会社
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