着色感光性树脂组合物的制作方法

专利名称：：着色感光性树脂组合物的制作方法
技术领域：
：本发明涉及着色感光性树脂组合物等。
背景技术：
：人们都知道，为了提高滤色器的对比度，采用染料作为着色感光性树脂组合物中的^fe剂。例如，在专利文献l中，记载了含有VALIFASTRed1308或VALIFASTRed1360作为染料的,感光性树脂组合物。专利文献1..日本特开2003-295427号公报
发明内容但可看出，在用含有以前的染料的着色感光性树脂组合物形成的滤色器中，对比度还有改善綠本发明人为了找出倉娜解决上述问题的着色感光性树脂组合物，反复进行探讨，结果发现，含有某些化合物的着色感光性树脂组合物能够提高滤色器的对比度。艮P，本发明是着色感光性树膨且^t)，其包含着色剂(A)、粘结剂用树脂(B)、光聚合性化合物(C)、光聚合引发剂(D)及溶剂(F)，其中,齐U(A)是包含式(A-I)所示化合物的着色剂。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>作为战碳原子数为18柳旨肪族烃基具体地说，可以歹U举甲基乙基正丙基、异丙基正丁基、仲丁基叔丁基正戊基正己基、正庚基正辛基癸與f牛Wk基)、l鍾甲基丁基、U,3,3鍾四甲基丁基、1,5-二甲基战、1,6-二甲基庚基2-乙基QS及U,5，5-四甲基己基。作为烷基部分的碳原子数为14的^^F己基，可以举出2-甲己基、2-乙,己基、2-正丙,己基、2-异丙,己基、2-正丁基环己基、4-甲fflF己基、4-乙基环战、4-正丙餅战、4-异丙餅战、4-正丁餅己基等。作为碳原子数为215的烷氧基烷基，可以举出甲氧基甲基、甲織乙基甲氧基-正丙基甲氧基-正丁基、甲氧蟇正戊基、1-乙氧基-正丙基、2-乙氧基-正丙基1-乙氧基-异丙基2-乙氧基-异丙基1-异丙氧基-正丙基2-异丙氧基-正丙基1-异丙氧基-异丙基2-异丙氧基-异丙基辛基氧基-正丙基、3-乙氧基-正丙基、3-(2-乙基己氧萄丙基等，4她l-乙氧基-正丙基辛基氧基-正丙基、3-乙氧基-正丙基、3-(2-乙基己氧萄丙基。-1131-0>0^32及-1131-0-0)-113,31^^碳原子数为18的2价脂肪族烃基1132^^碳原子数为18的1价脂肪族烃萄是由具有羧基的碳原子数为29柳旨肪族烃基和具有羟基的碳原子数为18柳旨肪族烃I^7纖合而得至啲具有酯键的碳原子数为410的基团、或由具有羟基的碳原子数为18柳旨肪族烃基和具有羧基的碳原子数为29棚旨肪族烃船K縮合而得到的具有酯键的基团。-R31-CO-0-R32A-R31-OCOR32的碳原子数为410。作为具有羧基的碳原子数为29柳旨肪族烃，可以举出乙酸、丙酸、丁酸、异丁酸、戊酸、异戊酸、己酸、庚酸、辛酸、壬酸等，雌列举乙酸、丙酸、乍为战具有羧基的碳原子数为29柳旨肪族烃基，可以举出从战具有羧基的碳原子数为29的脂肪族烃除去1个氢原子得到的基团。作为战具有羟基的碳原子数为18的脂肪族烃，可以举出甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、异丁醇、仲丁醇、叔丁醇、正戊醇、1-甲基-正丁醇、2-甲基-正丁醇、3-甲基-正丁醇、正己醇、正庚醇、正辛醇等，列举甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、异丁S享、仲丁醇、叔丁醇。战具有羟基的碳原子数为18柳旨肪族烃基可以列举/AJl述具有羟基的碳原子数为18糊旨肪族烃除去一个氢原子得到的基团。作为由上述具有羧基的碳原子数为29柳旨肪族烃凝唭有羟基的碳原子数为18棚旨肪族烃脱7鄉合而得的具有酉離的碳原子数为410的基团，可以举出乙酸丙基、乙酸丁基、乙鹏基乙酸战、乙,基丁酸乙基、丁酸异丙基、丁酸丁基、丁酸戊基丁酸己基、丁,基、丁酸辛基、戊酸甲基、戊酸乙基戊麟丙基、戊,丁基、戊酸戊基、戊酸己基、戊,基己酸甲基、己酸乙基、己酸丙基、己酸丁基己酸战、庚酸甲基、庚酸乙基、庚酸异丙基、庚酸异丁基、庚酸戊基、辛酸甲基、辛酸乙基、辛酸丙基、辛酸异丙基、辛酸丁基、辛酸异丁基、壬酸甲基、壬酸乙基、壬酸丙基、壬酸异丙基等，im列举乙酸丙基乙酸丁基、丁酸乙基丁酸丁基、丁酸戊基、乙酸己基、戊酸甲基、戊酸乙基、戊麟丙基、戊麟丁基。此外，在战具有羧基的碳原子数为29柳旨肪族烃基或具有羧基的碳原子数为29柳旨肪族烃中，舰把该羧基置换为-CO-Cl基也可以与具有羟基的碳原子数为19柳旨肪族烃或具有羟基的碳原子数为19的脂肪族烃基脱盐酸縮合而得到具有酯键的碳原子数为410的基团。作为碳原子数为710的芳烷基，可以举出节基、苯乙基及l-甲基-3-苯基丙基。作为D表示的1价金属阳离子，可以举出锂、钠、钾等。作为D表示的具有P占吨骨架的化合物的1价阳离子，可以举出式(A-H)表示的阳离子作为碳原子数为16柳旨肪族烃基，可以举出甲基、乙基正丙基异丙基正丁基异丁基仲丁基叔丁基正戊基、2-甲晷正丁基基2,2-二甲基正丙基正战、2-甲基-正戊基、3-甲基-正戊基、4-甲基正戊基、1,1-二甲基-正丁基、U-二甲基-正丁基1，3-二甲基正丁基2,2-二甲基正丁基、2,3-二甲基-正丁基3,3-二甲基-正丁基1-乙基-正丁基2-乙基正丁基3-乙基-正丁基、1,1,2-三甲基-正丙基1,2;三甲基-正丙基等，雌列举甲基、乙基正丙基异丙基正丁基异丁基仲丁基叔丁基正戊基、正战。作为可以被取代的碳原子数为610的芳香族烃，可以举出苯基、邻甲苯酷基、间甲苯酰基、对甲苯酰基、萘基等。式(A-n)中，！^R"可以任意组合，im列举R"及R^为氢原子、R"及R"为乙基、R"为甲基的组合，R"及R^为氢原子、R"及R"为乙基、R"为乙基的组合。述各取代基等可以任意组合形成式(A-I)所示的色素，式(A-I)所示的色素中，作为的色素可以列举以下物质。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>着色剂(A)的含量，相对于着色感光性树脂组合物中的固体成分，按质量百分率计，4爐为2560质*%，更,2755质4%，进一步,3050质4%。若着色剂(A)的含量在上述范围，则用作滤色器时，色浓度充分，而且由于可以使组^tl中含有必要量的粘结齐拥树脂(B)，因此可以形^t几械纟贩充分的图案，因此^im的。其中，着色感光性树脂组合物中的固体成分是指除去^感光性树脂组合物中所含蹄啲成分的总量。着色齐U(A)中用式(A-I)表示的化合物含量，相对于着色剂(A)按质量百分率计，雌为10100质fi0/。，更雌15100质S0/。，进一步雌20100质量%。本发明的着色感光性树脂组合物含有粘结齐,树脂(B)。Ji^粘结齐,树脂(B)tt^含有从(甲蜀丙烯酸衍生的结构单元。其中，(甲萄丙烯,示丙烯酸和/或甲基丙烯酸。上述从(甲基)丙烯酸衍生的结构单元的含量，以构成粘结齐,树脂(B)的鄉结构单元的^i十摩尔数为100摩尔％时，按摩尔百分率计，20081为1640摩尔％，更^^1838摩尔％。若从(甲萄丙烯酸衍生的结构单元的含量在上述范围，贝ij显影时非像素部的溶解性良好，而且显影后的非像素部有不易残留歹的倾向，因此是的。作为衍生从(甲萄丙烯酸衍生的结构单元以外的粘结齐,树脂结构单元的其它单体，例如，可以举出芳香族乙烯基化合物、不饱和羧酸酯类、不饱和羧酸氨基烷基酯类、不饱和羧酸縮水甘油酯类、羧酸乙烯酯类、不饱和醚类、丙烯腈化合物、不饱和,安类、不饱和酰亚胺类、月旨肪族共轭二烯类、在聚合物分子链末端具有单丙烯酰基或单甲基丙烯酰基的大分子单体类、可以在侧filh弓l入聚合性不饱和键的化合物等。作为可以在侧《肚弓l入聚合性不饱和键的化合物，可以举出弓l入用式(B-I)表示的单元的化合物以及弓l入用式(B-m)表示的单元的化合物等。丙烷-l-酮的低聚物等，雌列举2-甲基-2-吗啉代-1-(4-甲基苯硫萄丙烷-1-酮等。，活性自由基发生剂ii5i光的照射发生活性自由基。作为上述活性自由基发生剂，可以举出例如苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、噻吨酮系化合物、三嗪系化合物、肟系化合物等。作为，苯偶姻系化合物，可以举出，例如，苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙^il、苯偶姻异丁基H等。作为战1甲酮系化合物，可以举出，例如，J甲酮、邻苯甲酰基安息香酸甲酯、4-苯基_=^甲酮、4-苯甲酰^4'-甲基1基硫醚、3,3',4,4'四(叔丁基过織萄二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等。作为上述噻吨酮系化合物可以举出，例如，2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻卩屯酮、2,4-二氯噻吨酮、l-氯4-丙氧基噻吨酮等。作为上述三嗪系化合物可以举出，例如，2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯萄-l,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲萄-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲萄_6_(4_甲氧基苯乙烯萄_1,3,5_三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1，3,5_三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯蜀-1,3,5-三嗪、2,4_双(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯蜀-l,3,5-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯萄乙烯基]-l,3,5-三嗪等。作为上鄉亏系化合物，可以举出，例如，0-酰基J3亏系化合物。作为其具体的示例，可以举出l-(4-苯基硫烷基-苯基)-丁烷-l,2-二酮2-月亏-0-苯甲酸酯、1-(4-苯基硫烷基-苯基)-辛烷-l，2-二酮2-月亏-0-苯甲酸酯、l-(4-苯S^烷蟇苯基)-辛烷-l-酮躬-O乙酸酯、l-(4-苯基硫烷基-苯萄-丁烷-l-酮躬-0-乙酸酯等。作为其市售商品，可以举出OXE-01(于"-X个:^U亍'亇S力Jl/;C社fliJ)等。作为战示例以外的活性自由基发生剂，也可以4顿例如2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、2,2'-双(邻氯苯基M,4',5,5'-四苯基l,2'-联二咪唑、10-丁蟇2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、二苯甲酰、9,10-菲醌、樟脑醌、苯基乙醛酸甲酯、二細七合物等。作为上述酸发生剂可以举出，例如，4-羟基苯基二甲基锍对甲苯磺酸盐、4-羟基苯基二甲基锍六氟锑M&、4-乙酰氧基苯基二甲基锍对甲苯磺,、4-乙酰氧基苯基甲基节基锍六氟锑酸盐、三苯基锍对甲苯磺酸盐、三苯基锍六氟锑■、二苯基碘絲、对甲苯磺酸盐、二苯基碘镥六氟锑^&，盐类、和硝基节基甲苯磺酸酯类、苯偶姻甲苯磺酸酯类等。财卜，作为上述活性自由基发生剂，在上述化合物中，也有在发生活性自由基的同时发生酸的化合物，例如，三嗪系光聚合引发齐吔用作離生剂。光聚合弓l发齐U(D)的含量，相对于粘结剂聚合物(B)及光聚合性化合物的总量，按质量百分比计，雌0.120质量份，更雌115质*%。若光聚合引发剂的含量在上述范围，则灵敏度提高，曝光时间縮短，生产效率提高，另一方面，由于有不会因灵,过高而导致分辨线和间隔(line&space)的图案的最小线宽中线宽不会变得i:粗的倾向，所以^tit的。本发明的着色感光性树脂组合物，也可以还含有光聚合引发助剂(G)。光聚合弓1发助齐IJ(G)M常与光聚合弓l发剂(D)组合^ffl、^M过光聚合弓l发剂开始聚合的光聚合性化合物(C)的聚合的化合物。作为光聚合弓I发助齐J(G)，可以举出胺系化合物、烷氧基蒽系化合物、噻吨酮系化合物等。作为JJ^胺系化合物，可以举出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺、4-二甲基氨基安息香酸甲酯、4-二甲基氨基安息香酸乙酯、4-二甲基氨基安息香麟戊酯、安息香酸2-二甲基氨基乙酯、4-二甲基氨基安息香酸2-乙基己酯、N^N-二甲基对甲苯胺、4,4'-双(二甲基氨萄二苯甲酮(通称米希勒酮蜀、4,4'-双(二乙基氨萄二苯甲酮、4,4'-双(乙基甲基氨萄1^甲酮等，其中雌4,双(二乙基氨基)二苯甲酮。作为J^烷氧基蒽系化合物，可以举出例如，9,10-二甲氧基蒽、2-乙基9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。作为上述噻吨酮系化合物，可以举出，例如，2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、l-氯4-丙氧基噻吨酮等。光聚合引发助齐J(G)既可以斜射柳，也可以2种以上组合4OT。此外，作为光聚合引发助齐《G)，也可以^OT市售品。作为市售的光聚合引发助齐1J(G)，可以举出，例如，商品名为"EAB-F"(保土谷化学工业(株)制造)等。作为本发明的着色感光性树脂组合物中的光聚合弓l发剂(D)及光聚合弓l发助齐U(G)的组合可以举出，例如，二乙氧基乙酰欺4,4'双(二乙基氨萄二苯甲酮、2-甲基-2-吗啉代-l-(4-甲基苯硫萄丙烷-l-ll/4,4'-双(二乙基氨萄二苯甲酮、2-羟基_2_甲基-1-苯基丙烷-1-酮/4,4'-双(二乙基氨萄二苯甲酮、节基二甲醛缩苯乙酮/4,4'-双(二乙基氨萄二苯甲酮、2-羟基-2-甲基-1-[4-(2-羟基乙氧蜀苯蜀丙烷-1-D/4,4'-双(二乙基氨蜀二苯甲酮、l-羟基环己基苯基,4,4'-双(二乙基氨萄二苯甲酮、2-羟基2-甲基-l-[4-(l-甲基乙烯萄苯闺丙烷-l-酮的低聚物/4,4'-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-节基-2-二甲基氨基-l-(4-吗啉代苯基)丁烷-l-酵4，4'-双(二乙基氨基)二苯甲酮等，雌2-甲基-2-吗啉代-l-(4-甲基苯硫萄丙烷-l-醇4,4'-双(二乙基氨蜀二苯甲酮。4顿这些光聚合引发助齐U(G)时，相对于1摩尔光聚合引发剂(D)，其用量通常为0.0110摩尔，tfcil为0.015摩尔。本发明的着色感光性树脂组合物ite含有交S^4剂(E)。若含有交联isa齐(J，则得到的涂膜耐化学药品性有改善的倾向，所以是的。作为战交^iS剂(E)，可以举出环氧类化合物、蜜胺衍生物等，ifci^举出环氧类化合物。作为i^环氧化合物，可以举出，例如，双酚A型环wr脂、氢ii^x酚A型环^M脂、双酚F型环，脂、氢^^酚F型环氧树脂、酚醛型环ftt对月誇芳香族系环氧树脂、脂环式环氧树脂、杂环环氧树脂、縮水甘油酯型树脂、缩水甘油基胺型树脂、环氧化等的环^M脂、上述各环氧树脂的溴化衍生物、脂肪族化合物的环氧化物、脂环式化合物的环氧化物、芳香族化合物的环氧化合物、丁二烯(共)聚合物的环氧化物、异戊二烯的(共)聚合物的环氧化物、缩7jC甘油與甲萄丙烯酸酯的(共)聚合物、H^7K甘油基异氰酸酯等，^^举出双酚A型环脂、芳香族系环脂、脂环式环脂、杂环环脂。在本发明的^fe感光性树S能且合物中，交iHSt剂(E)的含量，相对于粘结齐,树脂(B)及光聚合性化合物(C)的总量100质量份，通常为2质量份以上，优选4质量份以上，更10质量份以上，特另ij雌20质量份以上。此外，通常为40质量份以下，优选35质量份以下。本发明的着色感光性树脂组合物含有蹄U(F)。作为繊IJ(F)可以举出，例如，麟、芳烃类、酮类、醇类、酯类、醐安类、N-甲基妣咯烷酮、二甲基亚砜等。作为战,，可以举出，例如，四氢呋喃、四氢吡喃、1,4-二氧杂环己烷、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、甲,纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯、苯甲醚、苯乙醚、甲基苯甲醚等。作为战芳烃类可以举出，例如，苯、甲苯、二甲苯、均三甲基苯等。作为，酮类，可以举出，例如，丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲蟇2-戊酮、环戊酮、环己酮等。作为，醇类，可以举出，例如，甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、甘油等。作为，酯类可以举出，例如，乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、乙酸异丁酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、烷基酯类、乳酸甲酯、乳酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、Y-丁内酯等。作为上述醐安类可以举出，例如，N,N-二甲基甲醐安、N,N-二甲基乙醐安等。其中，iM丙二醇单甲基醚乙酸酯和3-乙氧基丙酸乙酯，更雌将它们并用。另外，上述歸嘅可以與刺顿，也可以2种以上组合{細。在着色感光性树脂组合物中，翻U(F)的含量，相对于着色感光性树脂组合物按质量百分率计，，为7095质量％，更优选为7590质量％。若翻U(F)的含量在上述范围，贝臉布时的平坦性良好。此外，形成滤色器时由于不会色浓度不足，有显示特性改善的倾向，所以是的。本发明的着色感光性树脂组合物也可以进一步含有表面活性齐U(H)。作为上述表面活性剂(H)，可以举出选自硅，系表面活性剂、氟系表面活性齐吸具有氟原子的硅織系表面活性齐忡的至少一种。作为J^硅氧烷系表面活性齐阿以举出具有硅氧烷键的表面活性剂等，具体地说，可以列举卜一l/i/U〕一/DC3PA、卜一l/5/'J〕一〉SH7PA、卜一1/'Jn—>DC11PA、卜一-1/v,J〕一〉SH21PA、卜一1/Jn—:>SH28PA、卜一1/-〉D〕一〉29SHPA、卜一1/'Jn—〉SH30PA、聚醚改性硅油SH8400(商品名卜一1/'〉'J〕一〉(株)帝ij)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越-〉U]—/伟!i)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF"4446、TSF4452、TSF4460(^—^f一东芝^U〕一〉(株)审J)等。作为战氟系表面活性剂，可以举出具有氟離的表面活性齐轉，具体地说，可以举出7口，一卜'(商品名)FC430、7口5—KFC431(住友又U—工厶(株)制)、乂力'77'乂夕(商品名)F142D、y力'77'乂夕F171、乂力'777夕F172、y力77、乂々F173、y力'77'乂夕F177、乂力'77、乂々F183、乂力'77、乂々R30(大日本O牛化学工业(株)制)、工7卜'乂:/(商品名)EF301、工7卜'乂:/EF303、工7卜'乂7EF351、工7卜":/EF352(新秋田化成(株)制)、廿一7口>(商品名)S381、廿一7口〉S382、廿一7口〉SC101、廿一7口>SC105(旭研子(株)铜J)、E5844((株)夕W年〉7:rO亇S力^研究所审J)、BM-1000、BM國1100(均为商品名，BMChemie社审J)等。作为，具有氟原子的硅氧烷系表面活性剂，可以举出具有硅，舰氟碳链的表面活性剂等，具体地说，可以举出y力'77':/夕〔注册商标)R08、乂力'77'y夕BL20、乂力'77'y夕F475、乂力'77、乂夕F477、乂力77'y夕F443(大日本<>牛化学工业(株)糊。这些表面活性剂既可以单独使用，也可以2种以上组合使用。表面活性齐U(H)的含量，相对于着色感光性树脂组合质量百分比计，优选为0.00050.6质*%，更雌为0.0010.5质4%。若表面活性剂(H)的含量在上述范围，则涂布着色感光性树脂组合物时，所得到的涂膜平坦性有改善的倾向，所以^的。作为使用本发明的^感光性树脂组合物形成滤色器图案的方法，可以举出光刻法和喷墨法等，所述光刻法是将本发明的着色感光性树脂组合物涂布在基板或其他树脂嵐例如，预先在上形成的其他着色感光性树脂组合物层^)上，除去翻轉挥发性成分形臓色层，通过光掩模使该着色层曝光，显影后，M:加热或曝光中的至少任一种方法使其固化；所述喷墨法是用喷墨装置将着色感光性树1薛且合物涂布在或其他树脂层上，除去M」等挥发性成分形自色层，通过加热或曝光中的至少任一种方法使其固化。作为上述涂布中所用的装置，可以举出旋转涂布装置、狭缝涂布装置、幕廉流^^布装置、流延涂布皿、喷墨等。为了除去翻嘮挥发性成分，例如，可以采用加热至所用溶剂的沸点以上，51减压降低蒸汽压力，在沸点以下的温度下加热，即可将其除去。在光刻中，根据所要求的图案微，形鹏光部分和非遮光部分。曝光，例如，采用g射线、h射线、i射线等光源，使用步进器和掩模对齐装置等體进行。曝光后的m层进行显影M，形成图案。显影M使用显影装置进行，通常浸渍在碱性溶液中，或向着色层喷射碱性溶液进行。显影后，通常进行冲洗处理，除去与着色层接触的碱性溶液。冲洗后，通常用干燥机等干燥干燥着色层。千燥后的着色层M:加热或曝光使其固化，得到图案。所得到的图案形成滤色器的红色层，fflil其它途径形成例如绿色层、蓝色层，它们合在一起可以形成滤色器。另外，红色层与其j臓色层的形成，其形成顺序可以不同。得到的滤色器可以例如作为图像传感器或显示装置的滤光器使用。按照本发明，可以形成对比度高的滤色器。实施例下面M31实施例更详细地说明本发明，但本发明不限于这些实施例。合成例1<粘结剂用树脂@1)的合^>向装有搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗及气体导入管的1L的烧瓶中导入丙二醇单甲基醚乙酸酯333g。然后，通过气体导入管向燃阪中导入氮气，把烧瓶内的氛围气体置换为氮气。然后，把^f瓦内的溶液升温至10(TC后，用2小时ail滴液漏斗向^)f瓦中滴加由N-节基马来M胺18.7g(0.10摩尔)、甲基丙烯酸节酯70.5g(0.40摩尔〕、甲基丙烯酸51.7g(0.6摩尔)、甲基丙烯酸甲酯90.0g(0.9摩尔)、偶氮二异丁腈5.2g及丙二醇单甲基醚乙酸酯182g构成的混合物，滴加完鹏，进一步在IO(TC下继续搅拌5小时。搅拌结束后，通过气体导入管向烧瓶内导入空气，把烧瓶内的氛围气体置换为空气后，向烧瓶内加入甲基丙烯酸縮水甘油酯2S.5g、三二甲基氨基甲基苯酚1.3g及氢醌0.165g，反应在11(TC下持续6小时。得到固体成分为31.3%，酸值为80mgKOH/g的树脂Bl。这里，酸值是作为中和具有羧酸等酸根的聚合物lg所必需的氢氧化钾的量(mg)观幌的值，通常可以用浓度已知的氢氧化钾7K溶液滴定求出。所得至啲粘结齐,树脂(B1)用下列条件的GPC法测得的棘乙烯换算重均M量为16,000。装置HLC-8120GPC，(东V—(株)带J)柱TSK-GELG2000HXL柱温40°C翻，^i^:1.0mL/min受检液固体成分浓度0.0010.01质*%注入量50mL检测器RI校正用标准物质TSKSTANDARDPOLYSTYRENEF40、F4、F國l、A-2500、A棚500(东V—(株)伟iJ)合成例24占结剂用树脂(B2)的合^向装有搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗及气体导入管的1L烧瓶中导入丙二醇单甲基醚乙酸酯333g。然后，通过气体导入管向烧瓶内导入氮气，把^)f瓦内的氛围气体置换为氮气。然后，把^f瓦内的溶液升驢10(TC后，用2小时通过滴液漏斗向^)f瓦中滴加由二环戊基甲基丙烯酸酯(FA-513M，日立化成(株)审J)22.0g(0.10摩尔)、甲基丙烯酸,酯88.0g(0.50摩尔)、甲基丙烯酸34.5g(0.40摩尔)、偶氮二异丁腈3.3g及丙二醇单甲基醚乙酸酯164g构成的混合物，滴加完^iS进一步在10(TC下继续搅拌5小时。搅拌结束后，ffl31气体导入管向^f瓦内导入空气、把^)f瓦内的氛围气体置换为空气后，向烧瓶内加入甲基丙烯酸縮水甘油酯21.5g、三二甲基氨基甲基苯酚0.9g及氢醌0.145g，反应在11(TC持续6小时，得到固体成分为28.7%,酸值为80mKOH/g的树月旨B2。所得到的粘结齐,树脂(B2)用与，相同条件的GPC法观幌的，乙烯换22算重均肝量为25,000。合成例3〈粘结剂用树脂(B3)的合j^向装有搅拌机、纟鹏计、回流冷凝管、滴液漏斗及气体导入管的1L^)f瓦中加入丙二醇单甲基醚乙酸酯333g。然后，M气体导入管向烧瓶内导入氮气，把^)f瓦内的氛围气体置换为氮气。然后，把'^f瓦内的溶液升^^10(TC后，用2小时通过滴液漏斗向^f瓦中滴加由二环戊基甲基丙烯酸酉缺A-513M，日立化成(株)鄉22.0g(0.10摩尔)、甲基丙烯酸节酯79.5g(0.45摩尔)、甲基丙烯酸3S.5g(0.45摩尔)、偶氮二异丁腈3.3g及丙二醇单甲基醚乙酸酯164g构成的混合物，滴加完成后，进一步在IO(TC下继续搅拌5小时。搅拌结束后，M气体导入管向^M内导入空气，把^f瓦内的氛围气体置换为空气后，向烧瓶内加入甲基丙烯酸縮7K甘油酯21.5g，三二甲基氨基甲基苯酚0.9g及氢醌0.145g，在110'C下反应6小时，得到固体成分为28.6%,酸H^105mgKOH/g的柳旨B3。所得到的粘结剂用树脂(B3)用与上述相同条件的GPC法测得的，乙烯换算重均分子量为30,000。本实施例中所用的成分如下，以下有时省略表示。(A画l)熟剂用式(3)标的化合物(OrasolRed3GL，于A'70tJI/亍'<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>(A-2)着色剂用式(4)标的化合物(Oraso1RedG，于"'70中^fM'，5力几t:(株)帝iJ)(A4)着色剂用式(6)表示的化合物(ValifastRed3320，才U工〉卜化学工业(株卿(6)(A-5)熟剂用式(7)表示的化合物(VALIFASTRed1308，才U工〉卜化学工业(株卿(7)(A-6)着色齐U:用式(8)表示的化合物(VALIFASTRed1360，才U工〉卜化学工业(株卿(8)(B-l)合成例1中得到的树脂B1(B-2)合成例2中得到的树脂B2(B-3)合成例3中得到的树脂B3(C-l)光聚合性化合物二季戊四醇六丙烯酸瞰日本化药(株)脚(C-2)光聚合性化合物三羟甲基鹏三丙烯酸酯(日本化药(株)铜J)P-1)光聚合弓l发剂2-甲基-2-吗啉代-l-(4-甲基苯硫蜀丙烷-l-酮P國2)光聚合弓l发剂2,4-双(三氯甲基)-6-胡椒蟇1,3,5-三嗪(D-3)光聚合引发剂0XE4)1(肟系化合物于A'70t几亍'(G-l)光聚合引发助剂4,4，-双(二乙基氨萄二苯甲酮(G-2)光聚合引发助剂2,4-二乙基噻吨酮(E-l)环氧化合物7S工求年vESCN國195XL"80(住友化学(株)帝iJ)(F-1)翻U:丙二醇单甲基醚乙酸職以下简称为PGMEA)(F-2)歸U:丙二醇单甲基,以下简称为PGME)(F-3)綺IJ:乳酸乙酯(F4;)自lj:3-乙氧基丙酸乙酉旨(H-l)流平剂>"777夕F475(大日本寸>牛化学工业(銜制实施例1〔着色感光性树脂组合物1的制备〕(A誦l)9.500质量份(B-l)3.189质量份26(c-i)p-l)CM)(G-l)(F-1)(F-2)(H-l)粉t份t份t份:份:份t份将JJ^物质混合，制得着色感光性树脂组合物i。在玻璃S^p737，3—二>y社审J)上用旋^i^^布上述得到的着色感光性树脂组合物l后，在100。C下干燥3射中，{鹏发性成分挥发，形成難感光性树脂组合物层。冷却后在该着色感光性树脂组合物层上经过光掩模照谢i射线〔波长365nm〕曝光。用超高压汞灯作为i射线的光源，照射光量设置为150mJ/cm2。曝光后，在22(TC下加热M20併中，得到形成了^^膜的玻璃。用比色仪(OSP-SP-200，OLYMPUS公司审J)测定所得到的玻璃,上的涂膜色度。另外，采用对比度计(彩色色差计bm-5A，卜:/〕:/公司审J)观啶作为颜色特性的Rx颇比度。结^^表1及表2。进一步地，把所得到的玻璃基板上的涂膜浸渍在相对于该涂膜大量过剩的保持在23匸的PGMEA中，放置30併中后，采用比色仪测量色度。求出与浸渍之前的色度的色差。Itk^卜，除将浸渍^f体^J奂为PGME之外，与，同样操作，求出色差。其结果作为PGMEA耐性及PGME耐性，示于表l。在縫为5以下时，涂膜的耐翻帷良好，为510时，涂膜的耐翻帷在实用上尚无问题，超过10时，涂膜的耐丄性不良。实施例2(着色感光性树脂组^tJ2的制备)(A-2)9.500质量份(B曙l)3.189质量份(C-l)4.784质量份(D-l)0.718质量份〔评价〕P"2)0.558质it份(G-l)0.239质ji:份(F-l)27.540质Jt份(F-2)53.460质it份(H-l)0.012质ii份将上述成分混合，制得着色感光性树脂组合物2。与实施例1同样进^i平价，结果示于表l。实施例3(着色感光性树脂组合物3的制备)(A-l)(B-l)(c國i)(E"l)(D誦l)(D"2)(G-l)(F國l)(F-3)(H-l)9.5002.5473.8211.9100.5730.4460.19140.50040.5000.012质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份将Ji^物M^昆合，制得,感光性树脂组合物价，结果示于表i。;。与实施例i同样进衍平实施例4(難感光性树脂组合物4的制备)2)9.500质量份1)2.547质量份1)3.821质量份1)1.910质量份1)0.573质量份28(I>2)0.446(G隱l)0.191(F-l)40.500(F-3)40.500(H國l)0.012将Jl^物质混合，制得着色感光性树脂组合物4。与实施例1同样进^i平价，结果示于表l。实施例5虔色感光性树脂组合物5的制备〕(A-3)9.500(B-l)3.189(C画l)4.784p陽l)0.718(D-2)0.558(G誦l)0.239(F國l)27.540(F画2)53.460(H-l)0.012将上述物质混合，制得着色感光性树臌且合物5。仅京树比度与实施例1同样进4亍i刊介，结^/示于表2。实施例6(熟感光性树脂组合物6的制备)(A"4)9.500质量份(B-l)3,189质量份(c-i)4,784质量份(D誦l)0.718质量份P曙2)0.558质量份(G-l)0.239质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份(F-l)27.540质Jt份(F-2)53.460质it份(H-l)0.012质it份将上述物质混合，制得着色感光性树脂组合物6。仅就对比度与实施例1同样进行i刊介，结果示于表2。实施例7(着色感光性树脂组合物7的制备〕(A-3)9.500(B-l)3.189(C-l)4.784(E4)1.910p-l)0.718p國2)0.558(G-l)0.239(F-l)27.540(F-2)53.460(H國l)0,012将上述物质混合，制得^fe感光性树膨且合物7。仅京比度与实施例1同样进行评价，结^于表2。实施例8(着色感光性树脂组合物8的制备)(A4)9.500质量份(B國l)3.189质量份(c画i)4.784质量份(E"l)1.910质量份P-l)0.718质量份0>2)0.558质量份(G画l)0.239质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份质量份(F-l)27.540质it份(F-2)53.460质it份(H-l)0.012质ii:份将上述物质混合，制得着色感光性树脂组合物8。仅京j^比度与实施例1同样进行i刊介，结果示于表2。比较例1〔对比着色感光性树脂组合物1的制备〕(A-5)9.500质(B曙l)2.547质(C隱l)3.821质(E-l)1.910质(D-l)0.573质(D-2)0.446质(E"l)0.191质(F-l)40.500质(F-3)40.500质(G國l)0.012质将上述物质混合，制得对比着色感光性树脂组合物l。仅京M比度与实施例l同样进行评价，结^于表2。比较例2離感光性树脂组合物2的制备)(A-6)9.500质量份(B画l)2.547质量份(c-i)3.821质量份(E"l)1.910质量份(D-l)0.573质量份(D画2)0.446质量份(E"l)0.191质量份量份量份量份量份量份量份量份量份量份量份31(F-l)40.500质ii份(F-3)40.500质it份(G-l)0.012质it份将上述物质混合，制得对比着色感光性树月旨组合物2。仅京树比度与实施例l同样进行评价，结果示于表2。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>在实施例18以及对比例1及2中，对比作为C正1931的x在相同数值下的对比度的观糧结果，在比较例2中，由于无法制作x值相同的膜，表示在相同的膜](2.0叫)下的xil^t比度值。从表1及表2可以看出，在实施例18所用的難剂中，对比度良好，采用这些着色剂时，可以制作颜色特性优异的滤色器。从表1可以看出，采用含有实施例3及4的熟剂及交^iS剂的着色感光性树脂组合物形成的滤色器中，对比度、耐PGMEA'l4&耐PGME性良好。可以反复涂鮮发明的着色感光性树脂组合物，制作滤色器时是有用的。权利要求1、着色感光性树脂组合物，其包含着色剂(A)、粘结剂用树脂(B)、光聚合性化合物(C)、光聚合引发剂(D)及溶剂(F)，其中着色剂(A)是含有式(A-I)所示化合物的着色剂，式(A-I)中，R1～R18分别独立地表示氢原子、氟原子、氯原子、溴原子，碳原子数为1～5的直链或支链烷基、硝基、苯基、-SO2NHR21或-COOR21；R21表示氢原子、碳原子数为1～8的脂肪族烃基、环己基、烷基部分的碳原子数为1～4的烷基环己基、碳原子数为2～15的烷氧基烷基、-R3-CO-O-R32、-R31-O-CO-R32或碳原子数为7～10的芳烷基；R31表示碳原子数为1～8的2价脂肪族烃基，R32表示碳原子数为1～8的1价脂肪族烃基；R19及R20分别独立地表示氢原子、甲基、乙基或氨基；M表示Cr或Co；D表示氢原子、1价金属阳离子或具有呫吨骨架的化合物的1价阳离子。2、权利要求1记载的着色感光性树脂组合物，其中粘结剂用树脂(B)是侧f肚具有聚合性不饱和键的树脂。3、!5l利要求1或2记载的着色感光性树脂组合物，其还含有^^it剂(E)。4、禾又利要求3记载的着色感光性树脂组合物，其中交^it剂(E)是含有环氧基的化合物。5、滤色器，其包含由权利要求14中任意一项记载的着色感光性树脂组合物形成的图案。6、权利要求14中任意一项记载的着色感光性树脂组合物用于制造滤色器的用途。7、式(A-I)所示的化合物用于制造着色感光性树脂组合物的用途，R12^j13pj20(A-I)式(A-I)中，WR"分别独立itt^原子、氟原子、氯原子、溴原子，碳原子数为15的直链^5:^^基、硝基苯基、-S02NHR21^COOR21;R"表魂原子、碳原子数为18糊旨肪族烃基、环战、織部分的碳原子数为14的烷基环己基、碳原子数为215的烷氧基烷基、-R31-CO-0-R32、^3-0-0>尺32，原子数为710的芳烷基；R31^碳原子数为18的2价脂肪族烃基，R32^^碳原子数为卜8的1价脂臓烃基；W及R"分别^^t也^^原子、甲基乙基或氨基；M表示Cr或Co;d^a原子、1价金属阳离子或具有帖吨骨架的化合物的1价阳离子。全文摘要着色感光性树脂组合物，含有着色剂(A)、粘结剂用树脂(B)、光聚合性化合物(C)、光聚合引发剂(D)及溶剂(F)，着色剂(A)是含有式(A-I)所示化合物的着色剂，式(A-I)中，R¹～R¹⁸分别独立地表示氢原子、氟原子、氯原子、溴原子、碳原子数1～5的直链或支链烷基、硝基、苯基、-SO₂NHR²¹或-COOR²¹；R²¹表示氢原子、碳原子数1～8的脂肪族烃基、环己基、烷基部分的碳原子数为1～4的烷基环己基、碳原子数2～15的烷氧基烷基、-R³¹-CO-O-R³²、-R³¹-O-CO-R³²或碳原子数7～10的芳烷基；R³¹表示碳原子数1～8的2价脂肪族烃基，R³²表示碳原子数1～8的1价脂肪族烃基；R¹⁹及R²⁰分别独立地表示氢原子、甲基、乙基或氨基；M表示Cr或Co；D表示氢原子、1价金属阳离子或具有呫吨骨架的化合物的1价阳离子。文档编号G03F7/027GK101482699SQ20081019088公开日2009年7月15日申请日期2008年12月12日优先权日2007年12月14日发明者白基范申请人:住友化学株式会社